Polprevodniki so v vsem, od vaših pametnih telefonov in osebnih računalnikov do katere koli druge vrste elektronskih pripomočkov. Izdelati jih je treba s posebnim postopkom in uporabiti veliko plinov. V nadaljevanju je poudarjen opis številnih vrst plinov, ki jih uporablja le ena industrija, in kako so te visokotehnološke snovi namenjene ustvarjanju stvari, na katere se dejansko zanašamo. Veliko različnih vrst plinov, ki se uporabljajo v svetu proizvodnje polprevodnikov Polprevodniki so oblikovani z uporabo zapletene serije postopkov, kot so jedkanje, nanašanje in čiščenje. Različne lastnosti in uporabe teh plinov se razlikujejo glede na specifične uporabe ali atmosferske razmere, ne glede na to, ali gre za dobavitelje industrijskega plina, znane dobavitelje posebnega polprevodniškega plina ali v laboratoriju, kar zagotavlja obsežen spekter, ki je primeren za vse s potrebnimi kritičnimi lastnostmi. izpolniti nalogo kot namerno zadovoljivo. Za danes na ta račun uvajamo nekaj vodilnih plinov, ki se uporabljajo za postopke izdelave materialov. Silan SiH4: Ta plin je brezbarven in je tudi pomemben elektronski material na osnovi silicija. Znano je, da je zelo dinamično in hitro reagira s kisikom in vodo, da ustvari silicijev oksid SiO in vodikov plin. Silan se lahko uporabi za namestitev materiala na osnovi silicija, kot je SiNx, bodisi hitro ali pri relativno nizki temperaturi. Element dušik N2: Ta plin je inerten in preprečuje oksidacijo. Nenehno se proizvaja in je potreben za čiščenje naprave v procesu vzdrževanja, da se odstrani val O2 in vlage. Takšen plin se bo uporabljal tudi za olajšanje in prenašanje dejavnosti drugih plinov, deloval bo kot nosilni plin pri nanašanju nikroma s paro in plazemsko izboljšanem nanašanju nikroma s paro.
Vodik (H2) – vodik se uporablja kot redukcijski plin z odstranjevanjem nečistoč iz materialov. V proizvodnji polprevodnikov gre za uvozne korake v več procesov, kot sta žarjenje in čiščenje. Poleg tega vodik izdeluje kovinska vrata, ki proizvajajo napredne naprave CMOS.
Stabilni kisik (O2/O) - vnesite čase priprave listov in specifikacij itd. O Plin Medtem ko se kisik uporablja v številnih plazemskih postopkih, kot sta jedkanje in odstranjevanje/pepelenje ]]>, služi tudi kot reaktant za oksidacijo na osnovi silicija materialov v SiOx ali pasiviranje kovinskih površin z oksidacijo.
Klor (Cl2): Klor je rumena ali rdeča kadeča se nekovina z ostrim vonjem kot tekočina. Ta plin, ki je zelo reaktiven z materiali na osnovi silicija, silicijevim dioksidom in številnimi kovinami, kot je aluminij, se je že večkrat uporabljal pri jedkanju polprevodniških struktur.
Dejstvo, da se pri proizvodnji polprevodnikov uporabljajo plini, je privedlo do ustvarjanja elektronike visoke ločljivosti, ki jo proizvajajo povečane zmogljivosti proizvodnje polprevodnikov. Plini imajo tudi številne pomembne uporabe in prednosti v industriji polprevodnikov.
Plini, kot so silan, amoniak in dušik, se uporabljajo za odlaganje silicijevega oksida ali nitrida, ki bosta tanki filmi polprevodnikov. Odlaganje.
Jedkanje: uporablja se za selektivno odstranjevanje neželenih materialov ali vzorcev s polprevodnikov z uporabo plinov, kot so klor, fluor in kisik.
Procesni plini: vodik in dušik sta potrebna za delovanje opreme za čiščenje polprevodnikov (čiščenje), da se zmanjšajo nečistoče, ki lahko vplivajo na delovanje naprave.
Čiščenje: Ena od njegovih glavnih uporab je tam, kjer deluje kot čistilni plin, ko potekajo vzdrževalna dela na opremi, odstranjuje kisik in vlago iz sistema, s čimer ohranja materiale v liniji.
Posledica tega je, da z napredovanjem industrije polprevodnikov ni konca iskanju vedno bolj sofisticiranih materialov in postopkov. Izboljšani plini so bistveni za prihajajoči napredek polprevodnikov. Tukaj je le nekaj teh visokotehnoloških plinov v proizvodnji polprevodnikov:
Fluoroogljiki: Razlog, da so fluorirani plini dobri za izdelavo najsodobnejših modelov vezij, je v tem, da reagirajo agresivno in selektivno na jedkanje (odstranitev kosov) in odlaganje (dodajanje delov).
CO2 – Inertni plin, ki se uporablja za aplikacije, kot so razprševanje, CVD in čiščenje.
Čeprav je treba na to gledati kot na korak naprej v proizvodnji polprevodnikov, zgolj zaradi novih sistemov dostave, ki so danes možni. Proizvajalci vedno iščejo načine za izboljšanje učinkovitosti, zmanjšanje odpadkov in povečanje varnosti. Nekateri najnovejši napredni plini in sistemi za dostavo kemikalij, ki so zdaj na voljo, so navedeni tik spodaj.
Sistem za dovajanje plina (za pline, ki natančno nadzorujejo majhne količine plinastih/tekočih kemikalij, potrebnih v polprevodnikih)
Vir: Advanced Wet Wafer Cleaning Systems ozoonska plazma in vodikov peroksid za najučinkovitejše metode čiščenja nečistoč iz polprevodniškega materiala.
Polprevodniški plini lahko spodbudijo povpraševanje po učinkovitejši elektroniki, vendar predstavljajo tudi nevarne okoljske grožnje. Obstaja nekaj programov za zmanjšanje odpadkov in recikliranje plina med drugim v industriji polprevodnikov. To se ne razlikuje od tega, kako si proizvajalci prizadevajo ublažiti okoljske skrbi, povezane s polprevodniškimi plini;
Prvi in najbolj neposreden je zmanjševanje odpadkov -> Proizvajalci vedno iščejo zmanjšanje količine odpadkov, ki nastanejo med proizvodnjo polprevodnikov. Stvari, kot je zmanjšanje količine uporabljenih kemikalij in plinov, recikliranje, kjer je to mogoče, ali ustvarjanje sistemov zaprte zanke.
Recikliraj ' Recikliranje plinov in kemikalij bo še ena ključna metoda, ki bo pomagala zmanjšati posledice za okolje. Nastajanje odpadkov lahko zelo enostavno zmanjšajo proizvajalci, ki dovolijo predelavo, čiščenje in recikliranje plinov ali kemikalij, uporabljenih med proizvodnjo.
Povzetek: Plini so bistveni za proizvodnjo nekaterih najboljših elektronskih naprav. Proizvajalci so predani izboljšavi naprednih plinov skupaj z rešitvami za dostavo, ki dajejo prednost optimalnim procesom, zmanjšanju količine odpadkov in varnosti skupnosti. Polprevodniški sektor bo prav tako vztrajal po poti porabe plina – in skupni okoljski odtis teh plinov je v zadnjih letih sprožil številne trajnostne kampanje.
AGEM se zaveda, da vsaka stranka potrebuje različne stvari na področju posebnih plinov, kot je kalibracijski plin. Ponujamo prilagojene rešitve za izpolnjevanje posebnih potreb naših strank. Če potrebujete določeno količino čistosti, velikost jeklenke ali možnosti pakiranja, lahko AGEM sodeluje z vami, da svoje izdelke prilagodi vašim natančnim zahtevam. Ta stopnja prilagajanja bo zagotovila, da boste dobili najboljšo kalibracijsko plinsko jeklenko za vaše aplikacije, kar bo izboljšalo splošno učinkovitost in zmogljivost. Paleta izdelkov AGEM ni omejena na kalibracijske pline. Katalog AGEM obsega ogljikovodike, haloogljikovodike, kemične pline in redke pline. Lahko ste prepričani, da ima AGEM točno določeno vrsto plina, ki ga potrebujete.
Puščanje plinov, ki se uporabljajo v proizvodnji polprevodnikov, je velik problem. Za zagotovitev kakovosti vsaj petkrat testiramo tesnjenje. Naše podjetje ponuja celotno proizvodno in preskusno linijo ter uporabo strogega nadzora kakovosti in popoln sistem poprodajnih storitev, da zagotovimo, da stranke prejmejo izdelke vrhunske kakovosti in celotno paleto storitev. Naša predanost zagotavljanju odličnih storitev za stranke in visoke kakovosti je nekaj, na kar smo ponosni. Naša usposobljena ekipa vam je vedno na voljo, da vam pomaga in zagotovi najboljšo storitev za vaše največje zadovoljstvo. Naša storitev 24X7 je tisto, kar nas loči. Tukaj smo za vas ves dan, ves čas.
AGEM ponuja široko paleto kriogenih jeklenk za hlajenje super hladilnih tekočin in plinov, kot sta tekoči kisik in argon. Lahko zadržijo tudi ogljikov dioksid, dušik in dušik. Za zagotavljanje največje učinkovitosti uporabljamo uvožene ventile in instrumente. Uporabite naprave za varčevanje s plinom in dajte prednost uporabi nadtlačnega plina v prostoru plinske faze. Dvojni varnostni ventili zagotavljajo trdno zagotovilo za varno delovanje. Ponujamo široko paleto kriogenih jeklenk, ki lahko sprejmejo tekočine, ki so zelo ohlajene in se uporabljajo v vsakdanjem življenju. Polna prostornina: 80L/100L/175L/195L/210L/232L/410L/ 500L/1000L Delovni tlak: 1.37 MPa/2.3 MPa/2.88 MPa/3.45 MPa Notranja zasnova temperature rezervoarja: +196 Zasnova temperature ohišja posode: 20oC+50oC Izolacija: vakuum z večslojno embalažo Shranjen medij: LO2, LN2, LArLCO2, LNG
AGEM deluje v Tajvanu že več kot 25 let. Imamo obsežno strokovno znanje o raziskavah in razvoju na tem področju in lahko ponudimo edinstveno strokovno znanje na področjih posebnih plinov, plinov v razsutem stanju in kalibracijskih plinov v 6 različnih regijah. Tajvan – mesto Kaohsiung (sedež, center za raziskave in razvoj) Indija – Mumbaj, Vadodara, Coimbatore, Pune, Bengaluru, Delhi, Kitajska - Wuhan, Bližnji vzhod - Dubaj (ZAE) in Savdska kraljevina Arabija Združeno kraljestvo - Cambridgeove rešitve za plin, ki jih ponujamo, vključujejo tehnično svetovanje. Sestavljanje in zagon. Testiranje vzorcev. Pakiranje in pošiljanje. Oblikovanje risb. Proizvodnja.
AIR GAS ELECTRONIC MATERIALS (AGEM) je obrat za proizvodnjo plina in raziskave in razvoj s sedežem v Tajvanu, ki ima neprimerljivo strokovno znanje in izkušnje na področju posebnih, elektronskih, plinov v razsutem stanju in kalibracijskih plinov po vsem svetu v 6 različnih regijah.
Soba 2 in 3, 10. nadstropje, enota 1, faza I, Huazhong International Plaza, Zhuyeshan, Wuhan, Hubei, Kitajska
Copyright © Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd. Pravilnik o zasebnosti
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NE
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ