Pochopte si použitie polovodičových prekursorov v jednom článku
Jako hlavné surové materiály pre proces nanesenia tenkých filmov zahŕňajú polovodičové predkurzory epitaxiu, chemickú parní depozíciu (Chemical Vapor Material, Deposition, označovanú ako CVD) a atomovú vrstvu depozície (Atomic Layer Deposition, označovanú ako ALD), ktoré tvoria rôzne tenké filmové materiály potrebné pre výrobu polovodičov, používané v rôznych oblastiach výroby polovodičov.