- Prehľad
- dotaz
- Súvisiace produkty
C5F8 oktafluórcyklopenten, plyn
Široko používaný v procese leptania pri výrobe polovodičových súčiastok, najmä na veľkosť a selektívne leptanie najmenších geometrických prvkov (ako je šírka prepojovacích čiar, kontaktov, žľabov atď.)