Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd. Slovensko

V tejto rozprávke vedci našli špeciálny plyn, vhodný na leptanie. Plyn je tzv plyn c3f8: "C-tri-F-osem. V skutočnosti hrá veľmi dôležitú úlohu, aby proces leptania správne fungoval. Tento článok pojednáva o použití C3F8 pri miešaní plynu na leptanie, ako aj o jeho výhodách.

Čo je leptanie?

Leptanie: Proces odstraňovania pomocou chemikálií je veľmi podobný širokému popisu leptania. Sú na to rôzne dôvody. Pre ilustráciu, môžeme chcieť urobiť zaujímavé vzory/veľkosti na povrchu alebo ho použiť na leptanie na čistenie niečoho špinavého. Keď chcete niečo dobré vyleptať, často sa používa zmes plynov, pretože odstraňuje hmotu z povrchu rýchlejšie ako ostatné.

Plynné zmesi často obsahujú rôzne plyny, vrátane kyslíka, dusíka a fluóru. Všetky tieto plyny pomáhajú rozkladať materiál, ktorý chceme odstrániť. V týchto plynných zmesiach môže pridanie C3F8 ďalej zlepšiť leptanie [5]. Tento jedinečný plyn zohráva dôležitú úlohu pri urýchľovaní a riadení procesov leptania, čo je pre mnohé priemyselné odvetvia skutočne kľúčové.

Ako pomáha C3F8 leptaniu?

Perfluórpropán (C3F8) je veľmi reaktívny plyn, ktorý rozkladá povrchové chemikálie. Pridanie C3F8 do reaktívnej plynnej zmesi robí odstraňovanie materiálu oveľa efektívnejším. C3F8 tiež zvyšuje proces leptania, a to dôležitým spôsobom zvýšením selektivity.

Selektivita je vymyslený výraz pre schopnosť vyňať jeden druh látky a ponechať iný typ látky. Táto vysoká selektivita je potrebná napríklad na leptanie kovového povrchu, ale stále má navrchu vrstvu fotorezistu. Táto selektivita je dôležitá pri leptaní, pretože nechceme odstraňovať ďalšie potrebné vrstvy a C3F8 túto selektivitu zvyšuje.

Kde sa C3F8 používa?

Používa sa veľa rôznych miest, kde je leptanie veľmi dôležité plyn c3f8. C3F8 má mnoho aplikácií pri výrobe triviálnych malých elektronických zariadení, mikroelektromechanických systémov (MEMS) a solárnych panelov známych aj ako fotovoltaika. Leptanie je dôležitý proces pri výrobe produktov v týchto sektoroch a budete môcť použiť C3F8 na výrazné zvýšenie výkonu leptania.

Nakoniec môžete znížiť vplyv poškodenia nášho povrchu, na ktorom tiež pracujeme, okrem selektívnej pomoci od C3F8. Toto je ešte kritickejšie pre aplikácie, ktoré sa všeobecne považujú za prípady, keď povrch, ktorého sa dotýkate, môže byť nežiaduci v kontakte s akýmikoľvek fyzickými predmetmi. C3F8 umožňuje, aby leptané povrchy, na ktorých pracujeme, zostali nedotknuté.

Má C3F8 význam pre Etcher?

C3F8 je pravdepodobne jedným z najdôležitejších faktorov určujúcich celkový výkon leptania. Preto C3F8 zaisťuje, že zvýšením selektivity a menším poškodením povrchu počas leptania sa proces stane presnejším a opakovateľným. To nám umožňuje vyrábať viac tovaru (vo veľkom, More Good Products) a tiež kvalitnejší tovar v hotových výrobkoch.

Ako funguje C3F8 v leptaní?

Pred objavením vzoru jeho správania v reakčnej zmesi plynov na leptanie je nevyhnutné základné pochopenie užitočnosti C3F8. C3F8 je plyn, ktorý môže ľahko rozkladať chemikálie na povrchu. Vytvára tiež ochrannú fóliu, ktorú môžete použiť na ochranu povrchu predtým, než sa poškodí, keď s ním pracujeme.

Aplikácia C3F8 v kompozíciách reaktívnych plynov, ktoré sa majú použiť na leptanie, nie je triviálna a vyžaduje značnú pozornosť k detailom. Ale so správnymi znalosťami a vysvetlením používania C3F8 to môže byť efektívne riešenie na zvýšenie produktivity a presnosti procesov leptania.

V dôsledku toho, plyn c4f8 a C3F8 môžu mať mimoriadne dôležitú funkciu pri uľahčovaní hladkých a efektívnych procesov leptania. Ako leptací plyn je C3F8 nápomocný v rôznych oblastiach zvýšením selektivity, znížením poškodenia povrchov a zvýšením celkovej účinnosti a presnosti leptania. AGEM je špecialista na čisté a vysoko čisté zmesi plynov, vrátane reaktívnych zmesí plynov na leptanie. Zákazníci sa môžu spoľahnúť na know-how a špecializáciu AGEM pri výrobe vynikajúcej, nepretržitej výroby špičkových konečných produktov.