EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Газы высокой чистоты для электроники Моногалогенометан 99.999% FC41 UN 2454 Галогенсодержащий углеводород 41 Метилфторид CH3F
- Обзор
- Запрос
- Связанные продукты
Газы высокой чистоты для электроники Моногалогенометан 99.999% FC41 UN 2454 Галогенсодержащий углеводород 41 Метилфторид CH3F
AGEM производят и продают газ моногидрофторметана высокой чистоты (CH3F) для использования в процессе производства полупроводниковых чипов.
Фторометан, также известный как метилфторид, Фреон 41, Галокарбон-41 и ХФК-41, является нетоксичным, легко сжижаемым газом при нормальной температуре и давлении. Он состоит из углерода, водорода и фтора. Название происходит от того, что это метан (CH4), в котором атом фтора заменяет один из атомов водорода. Используется в процессах производства полупроводников как газ для травления в плазменных реакторах травления.
Фторометан, более известен как метилфторид (MeF) или Галокарбон 41 — это нетоксичный газ, который можно перевести в жидкое состояние, и он используется при производстве полупроводников и электронных продуктов. В присутствии радиочастотного поля он распадается на фторид-ионы для выборочной травления пленок из соединений кремния.
Применение :CH3F является специальным газом, используемым в процессе производства микросхем для травления нитридной пленки с целью микрообработки. CH3F主要用于 производстве чипов памяти, включая NAND флеш-память и DRAM, где требуется технология микрообработки. Поскольку его выборочность травления выше, чем у других газов, CH3F подходит для микрообработки многослойной структуры 3D NAND флеш-памяти. Спрос на CH3F увеличивается в последнее время из-за запуска многих линий по производству 3D NAND флеш-памяти.
