EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
НЕТ
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Газы особой чистоты для монофторметана 99.999% электроники ФК41 УН 2454 галоидуглерода 41 метилового фторида КХ3Ф
- Обзор
- Написать
- ПОДОБНЫЕ ТОВАРЫ
Газы особой чистоты для монофторметана 99.999% электроники ФК41 УН 2454 галоидуглерода 41 метилового фторида КХ3Ф
ДРАГОЦЕННЫЙ КАМЕНЬ производить и продавать газообразный монофторметан высокой чистоты (CH3F), который будет использоваться в процессе производства полупроводниковых чипов.
фторметан, также известный как метилфторид, фреон 41, галогенуглерод-41 и HFC-41, представляет собой нетоксичный сжижаемый газ при стандартной температуре и давлении. Он состоит из углерода, водорода и фтора. Название происходит от того, что это метан (СН4) с атомом фтора, замещенным одним из атомов водорода. Он используется в процессах производства полупроводников в качестве травильного газа в реакторах плазменного травления.
фторметан, более известный как метилфторид (MeF) или галогенуглерод 41, представляет собой нетоксичный сжижаемый газ, используемый в производстве полупроводниковых и электронных изделий. В присутствии радиочастотного поля он диссоциирует на ионы фтора для селективного травления пленок соединений кремния.
Процесс подачи заявки:Ч3Ф представляет собой специальный газ, используемый в процессе производства полупроводниковых чипов для микрообработки нитридной пленки путем травления. CH3F в основном используется в производстве микросхем полупроводниковой памяти, включая флэш-память NAND и DRAM, для которых требуется технология микрообработки. Поскольку его селективность травления выше, чем у других газов, CH3F подходит для микрообработки многослойной структуры флэш-памяти 3D NAND. Спрос на CH3F в наши дни растет из-за запуска множества линий по производству флэш-памяти 3D NAND.
