EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
НЕТ
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Ранг особой чистоты 99.999% электронный для полупроводникового газа Октафторциклобутан газа пользы К4Ф6 Россия
- Обзор
- Написать
- ПОДОБНЫЕ ТОВАРЫ
Сухое травление Материалы на основе оксидов Сжатые сжиженные газы Перфтор-2-бутин H 2316 Перфтор-2-бутин C4F6
Гексафтор1,3-бутадиен — токсичный, бесцветный, без запаха, легковоспламеняющийся сжиженный сжатый газ.
Многолетние исследования показали, что C4F6 (H-2316) дает ряд преимуществ при сухом травлении материалов на основе оксидов:
Он имеет более высокую скорость и селективность травления, чем октафторциклобутан (c-C4F8 – H318), еще один широко используемый травитель для оксида кремния. В отличие от C4F8 (H318), у C4F6 (H2316) травится только диэлектрическая подложка. Травленая структура имеет более высокое соотношение сторон, что приводит к более узким траншеям по сравнению с c-C4F8. Выбросы ЛОС сокращаются: C4F6 (H2316) имеет низкий потенциал глобального потепления, поскольку у него гораздо более короткое время жизни в атмосфере.
Применение:
Следующее поколение материалов сердцевины, необходимых в процессах производства БИС для минимизации ширины и глубины линий схемы. Сухой травильный газ используется в процессе травления микроконтактных отверстий. Для специальных газов, основанных на химической формуле CxFy, чем меньше значение F/C, тем больше групп CF2 образуется. По сравнению с C2F6 C3F8, C4F6 имеет меньшее соотношение F/C и образует больше групп CF2, что, в свою очередь, травит больше оксидной пленки. Следовательно, C4F6 обладает более высокой селективностью по отношению к оксидной пленке и обеспечивает более равномерное травление.
