RU
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
- Обзор
- Запрос
- Связанные продукты
Газ Высокой Чистоты 99.999% C116 Гексафторэтан C2F6 является продуктом премиум-класса, который очень тщательно изготовлен для соответствия отраслевым стандартам наивысшего уровня. Благодаря своей чистоте, этот превосходный газ не содержит примесей и загрязнителей, которые могут повлиять на производительность и безопасность.
Одной из ключевых особенностей Газа Высокой Чистоты 99.999% C116 Гексафторэтан C2F6 является его исключительная стабильность. Этот газ сохраняет свои свойства при различных условиях и давлениях, что делает его идеальным для использования в сложных приложениях, где точность и точность критически важны, в отличие от других газов.
Этот бензин обычно очень универсален благодаря своей безопасности и чистоте. Он может использоваться для множества целей, включая использование как охлаждающего агента, растворителя и пропеллента. Его уникальные свойства делают его особенно подходящим для использования в полупроводниковой промышленности, где он широко применяется в производстве электронных устройств и микросхем.
Одной из ключевых особенностей этого продукта является его минимальное воздействие на окружающую среду, что делает его более экологичным по сравнению с другими газами, то есть он содержит меньше токсичных веществ, что может быть приемлемо для многих.
Что касается удовлетворенности и надежности, AGEM — это просто название, которому доверяет отрасль. Мы просто тщательно следим за тем, чтобы наши продукты и услуги соответствовали самым высоким стандартам качества и безопасности. Именно поэтому мы производим наши газы в современных установках с использованием последних технологий и оборудования. Наша приверженность превосходству означает, что вы можете быть уверены: газ High Purity 99.999% C116 Hexafluoroethane C2F6 обеспечит удовлетворенность и стандарт, которые вы хотите.
воде и слабо растворимый в спирте. Это чрезвычайно мощный и долгоживущий парниковый газ.
Физические свойства [редактировать]
Твердая фаза гексафторэthane имеет два полиморфных модификации. В научной литературе указаны разные температуры перехода между фазами.
Согласно последним исследованиям, она составляет 103 К (−170 °C). Ниже 103 К он имеет слегка неупорядоченную структуру, а выше точки перехода
точка, она имеет телецентрированную кубическую структуру.[1] Критическая точка находится при 19.89 °C (293.04 K) и 30.39 бар.[2]
Таблица плотностей:
Состояние, температураПлотность (кг·м−3)жидкость, −78.2 °C16.08газ, −78.2 °C8.86газ, 15 °C5.84газ, 20.1 °C5.716газ, 24 °C5.734пар
плотность равна 4.823 (воздух = 1), относительная плотность при 21 °C равна 4.773 (воздух = 1), удельный объем при 21 °C равен 0.1748 м³/кг.
Применение[редактировать]
Гексафторэтан используется как универсальный травящий состав в производстве полупроводников. Его можно использовать для селективной травки металлических
силицидов и оксидов по отношению к их металлическим субстратам, а также для травления диоксида кремния над кремнием. Основные производители алюминия и
производство полупроводников являются основными источниками выбросов гексафторэthane, используя процесс Холла-Эро.
Вместе с трифторметаном он используется в хладагентах R508A (61%) и R508B (54%).
Он используется как тампонада для помощи в повторном прикреплении сетчатки после витреоретинальной хирургии.[3]
Воздействие на окружающую среду[править]
Временной ряд гексафторэтана на различных широтах.
Из-за высокой энергии связей C-F, гексафторэтан практически инертен и таким образом действует как крайне устойчивый парниковый газ, с
атмосферным временем жизни 10 000 лет (другие источники: 500 лет).[4] У него есть потенциал глобального потепления (ПГП) 9200 и потенциал разрушения озона (ПРО) 0. Гексафторэтан включен в список парниковых газов МГЭИК.
Гексафторэтан не существовал в значительных количествах в окружающей среде до промышленного производства. Атмосферная
концентрация гексафторэthane достигла 3 пптв в начале XXI века.[5] Его поглощающие полосы в инфракрасной части
спектра вызывают радиационное принуждение около 0,001 Вт/м2.
Риски для здоровья[править]
Из-за его высокой относительной плотности, он собирается в низинах, и при высоких концентрациях может вызывать асфиксиию. Другие
риск для здоровья
влияние на здоровье схоже с тетрафторметаном.
C2F6, также известный как Галокарбон 116, является нашим продуктом наивысшей чистоты для применения в полупроводниковой промышленности и технологиях МЭМС для травления и МЭМС
очистки камер. Галокарбон 116 — это бесцветный, без запаха, жидкий газ.
|
Название продукта
|
Высокая чистота 99.999% C116 Гексафторэтан C2F6 газ |
Чистота
|
99.9~99.999%
|
|
CAS No
|
76-16-4
|
Номер EINECS
|
200-939-8
|
|
Ручная фокусировка (MF)
|
C2F6
|
Молярная масса
|
76-16-4.mol
|
|
Номер ООН
|
2193
|
Класс опасности
|
2.2
|
|
Внешний вид
|
Бесцветный, негорючий
|
Запах
|
Без запаха
|
|
Пункт проверки
|
единица
|
Требование
|
Результат проверки
|
|
Внешний вид продукта
|
/
|
Прозрачный и бесцветный
|
Прозрачный и бесцветный
|
|
Запах продукта
|
/
|
Без запаха
|
Без запаха
|
|
Чистота,%,≧
|
м/м
|
99.9
|
99.99
|
|
Влажность,%,≦
|
м/м
|
0.001
|
0.0004
|
|
Кислотность (как HCL), ≦
|
м/м
|
0.0001
|
<0.00001<>
|
|
Остаток после испарения, %, ≦
|
м/м
|
0.01
|
0.001
|
|
Применение
|
Типичное применение гексафторэтана
|
|
Полупроводники и микроэлектроника
|
Используется как плазменный таймерный газ, агент для очистки поверхности устройства
|
|
охлаждение
|
производство волокна и криогенная рефрижерация
|
|
Размер упаковки
|
Баллон 40 л
|
Цилиндр 500 л
|
|
|
Объем заполнения/цилиндр
|
42КГ
|
520 кг
|
|
|
КОЛИЧЕСТВО ЗАГРУЖЕНО В 20-ФУТОВЫЙ КОНТЕЙНЕР
|
170 ЦИЛИНДРОВ
|
15 ЦИЛИНДРОВ
|
|
|
Общий объем
|
7.14 ТОНН
|
7.8 ТОНН
|
|
|
Клапан для гексафторэthaneа
|
QF-2
|
||
