EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
- Обзор
- Запрос
- Связанные продукты
Информация о продукте:
Тетрафторид углерода является криогенным рефрижерантом, который относительно инертен при нормальных условиях, вытеснителем кислорода и также используется в различных процессах травления пластин.
CF4 в настоящее время является наиболее широко используемым газом плазменного травления в микроэлектронной промышленности. Он может широко применяться для травления тонкопленочных материалов, таких как кремний, двуокись кремния, нитрид кремния, фосфосиликатное стекло и вольфрам, а также для очистки поверхности электронных устройств и солнечных батарей. Он также широко применяется в производстве лазерных технологий, газовой фазовой изоляции, низкотемпературного охлаждения, средств обнаружения утечек, управления ориентацией космических ракет и дезактивации агентов в производстве печатных плат.
В связи с химической устойчивостью тетрафторида углерода, его можно использовать в металлургии и пластиковой промышленности
