- Обзор
- Запрос
- Связанные продукты
Для полупроводникового процесса плазменного нанесения газа и травления 99,9% C318 перфторциклогексан охлаждающий газ C4F8
При производстве полупроводниковых материалов и устройств октафторцикlobутан используется как газ для нанесения и травления. Также он исследовался как охлаждающее вещество в специализированных приложениях, как замена озоноразрушающим хлорфторуглеродным охлаждающим веществам. Используя его летучесть и химическую инертность, октафторцикlobутан может использоваться в некоторых аэрозольных продуктах питания. Он включен в Кодекс Алиментариус под номером 946 (E946 для ЕС). Исследуется как возможная замена шестифтористому серу как диэлектрический газ.