Полупроводники есть во всем: от смартфонов и персональных компьютеров до любых других электронных гаджетов. Их необходимо производить с помощью определенного процесса и использовать множество газов. Ниже приводится описание многих типов газов, которые используются только в промышленности, и того, как эти высокотехнологичные вещества предназначены для создания вещей, на которые мы действительно полагаемся. Множество различных типов газа, используемых в производстве полупроводников Полупроводники изготавливаются с использованием сложной серии процессов, таких как травление, осаждение и очистка. Различные свойства и области применения этих газов различаются в зависимости от конкретного использования или атмосферных условий, будь то поставщики промышленных газов, известные поставщики специальных полупроводниковых газов или лаборатории, обеспечивая обширный спектр, подходящий для всех из них, с необходимыми критически важными характеристиками. выполнить задание как намеренно удовлетворительное. На сегодняшний день, по этой причине, мы вводим некоторые из ведущих газов в процессы изготовления материалов. Силан SiH4: Этот газ бесцветен и также представляет собой важный электронный материал на основе кремния. Известно, что он очень динамичен и быстро реагирует с кислородом и водой с образованием оксида кремния SiO и газообразного водорода. Силан можно использовать для нанесения материала на основе кремния, такого как SiNx, либо быстро, либо при относительно низкой температуре. Элемент азота N2: Этот газ инертен и предотвращает окисление. Он производится непрерывно и необходим для продувки устройства в процессе технического обслуживания, чтобы удалить выбросы O2 и влаги. Такой газ будет использоваться для облегчения и транспортировки активности других газов, а также в качестве газа-носителя при осаждении нихрома из паровой фазы и плазменно-усиленном осаждении нихрома из паровой фазы.
Водород (H2) – Водород используется в качестве восстановительного газа для удаления примесей из материалов. В производстве полупроводников идет импортный этап нескольких процессов, таких как отжиг и очистка. Кроме того, водород производит металлические затворы, которые используются в производстве современных КМОП-устройств.
Стабильный кислород (O2/O) — укажите сроки изготовления листов и спецификаций и т. д. O Газ Хотя кислород используется во многих плазменных процессах, таких как травление и полоска/зола o ]]>, он также служит реагентом для окисления кремниевых материалов. материалов до SiOx или пассивации металлических поверхностей посредством окисления.
Хлор (Cl2): Хлор представляет собой жидкий дымящий неметалл желтого или красного цвета с резким запахом. Этот газ, который очень реагирует с материалами на основе кремния, диоксидом кремния и многими металлами, такими как алюминий, нашел ряд применений при травлении полупроводниковых структур.
Тот факт, что газы используются в производстве полупроводников, привел к созданию высокоточной электроники, производимой благодаря расширению возможностей производства полупроводников. Газы также имеют несколько важных применений и преимуществ в полупроводниковой промышленности.
Такие газы, как силан, аммиак и азот, используются для осаждения оксида или нитрида кремния, которые образуют тонкие пленки полупроводников. Депонирование.
Травление: используется для выборочного удаления нежелательных материалов или узоров из полупроводников с использованием таких газов, как хлор, фтор и кислород.
Технологические газы: Водород и азот необходимы для работы оборудования для очистки (очистки) полупроводников, чтобы уменьшить количество примесей, которые могут повлиять на производительность устройства.
Очистка: одно из основных применений — когда он действует в качестве продувочного газа во время работ по техническому обслуживанию оборудования. Это позволяет удалить кислород и влагу из системы, тем самым сохраняя материалы в линии свободными.
Как следствие, поиск все более сложных материалов и процессов не видит конца по мере развития полупроводниковой промышленности. Улучшенные газы необходимы для будущих достижений в области полупроводников. Вот лишь некоторые из этих высокотехнологичных газов в производстве полупроводников:
Фторуглероды. Причина, по которой фторированные газы хороши для изготовления современных схем, заключается в том, что они агрессивно и избирательно реагируют как на травление (удаление деталей), так и на осаждение (добавление деталей).
CO2 — инертный газ, используемый для таких применений, как напыление, CVD и очистка.
Хотя это следует рассматривать как шаг вперед в производстве полупроводников, исключительно благодаря новым системам доставки, возможным сегодня. Производители всегда ищут способы повысить эффективность, уменьшить количество отходов и повысить безопасность. Ниже перечислены некоторые из новейших усовершенствованных газов и систем доставки химикатов, доступных в настоящее время.
Система подачи газа (для газов, которая точно контролирует небольшие количества газовых/жидких химикатов, необходимых в полупроводниках)
Источник: Advanced Wet Wafer Cleaning Systems озоновая плазма и перекись водорода для наиболее эффективных методов очистки полупроводниковых материалов от примесей.
Полупроводниковые газы могут стимулировать спрос на более эффективную электронику, но также представляют собой опасную угрозу для окружающей среды. Помимо прочего, в полупроводниковой промышленности действуют некоторые программы по сокращению отходов и переработке газа. Это ничем не отличается от того, как производители работают над смягчением экологических опасений, связанных с полупроводниковыми газами;
Первый и самый прямой – это сокращение отходов. Производители всегда стремятся сократить количество отходов, образующихся при производстве полупроводников. Такие вещи, как сокращение количества используемых химикатов и газов, последующая переработка, где это возможно, или создание систем замкнутого цикла.
Рециркуляция Рециркуляция газов и химикатов станет еще одним важным методом, который поможет снизить воздействие на окружающую среду. Производство отходов может быть легко сведено к минимуму производителями, которые разрешают рекуперацию, очистку и переработку газов или химикатов, используемых в производстве.
Резюме: Газы необходимы для производства лучшей электроники. Производители стремятся улучшить как современные газы, так и решения по доставке, которые способствуют оптимальным процессам, сокращению отходов и безопасности общества. Полупроводниковый сектор также будет двигаться по пути потребления газа, а общее воздействие этих газов на окружающую среду послужило стимулом для многих кампаний по устойчивому развитию в последние годы.
AGEM осознает, что каждому клиенту требуются разные вещи в области специальных газов, таких как калибровочный газ. Мы предоставляем индивидуальные решения для удовлетворения конкретных потребностей наших клиентов. Если вам требуется определенное количество чистоты, размер баллона или варианты упаковки, AGEM может работать с вами, чтобы адаптировать свою продукцию в соответствии с вашими точными требованиями. Такая степень настройки гарантирует, что вы получите лучший баллон с калибровочным газом для ваших задач, что повысит общую эффективность и производительность. Ассортимент продукции AGEM не ограничивается калибровочными газами. Каталог AGEM включает углеводородные газы, галогенуглероды, химические газы и редкие газы. Вы можете быть уверены, что у AGEM есть именно тот вид газа, который вам нужен.
Утечки газов, используемых в производстве полупроводников, являются серьезной проблемой. Мы проверяем на утечки не менее пяти раз, чтобы гарантировать качество. Наша компания предлагает полную производственную и испытательную линию, а также строгий контроль качества и совершенную систему послепродажного обслуживания, чтобы гарантировать, что клиенты получают продукцию высочайшего качества и полный спектр услуг. Наша приверженность обеспечению превосходного обслуживания клиентов и высокого качества – это то, чем мы гордимся. Наша квалифицированная команда всегда готова помочь вам и гарантировать, что вы получите лучший сервис для вашего максимального удовлетворения. Наше круглосуточное обслуживание – это то, что отличает нас. Мы здесь для вас весь день, все время.
AGEM предлагает широкий ассортимент криогенных баллонов для охлаждения переохлаждаемых жидкостей и газов, таких как жидкий кислород и аргон. Они также могут удерживать углекислый газ, азот и азот. Мы используем импортные клапаны и инструменты для обеспечения максимальной производительности. Используйте газосберегающие устройства и отдавайте приоритет использованию газа под избыточным давлением в газовом пространстве. Двойные предохранительные клапаны обеспечивают надежную гарантию безопасной эксплуатации. Мы предлагаем широкий ассортимент криогенных баллонов, в которых можно хранить переохлажденные и используемые в повседневной жизни жидкости. Полный объем: 80 л/100 л/175 л/195 л/210 л/232 л/410 л/ 500л/1000лРабочее давление: 1.37 МПа/2.3 МПа/2.88 МПа/3.45 МПа Расчетная температура внутреннего резервуара: +196 Расчетная температура корпуса резервуара: 20°C+50°C Изоляция: Вакуум с многослойной оберткой Хранящаяся среда: LO2, LN2, LArLCO2, СПГ
AGEM работает на Тайване более 25 лет. Мы обладаем обширным опытом исследований и разработок в этой области и можем предложить уникальные знания в области специальных, калибровочных и калибровочных газов в 6 различных регионах. Тайвань — город Гаосюн (штаб-квартира, центр исследований и разработок) Индия — Мумбаи, Вадодара, Коимбатур, Пуна, Бангалор, ДелиКитай - УханьБлижний Восток - Дубай (ОАЭ) и Королевство Саудовская АравияВеликобритания - КембриджРешения для газа, предлагаемые нами, включают технический консалтинг. Монтаж и ввод в эксплуатацию. Образцовое тестирование. Упаковка и доставка. Рисование дизайна. Производство.
AIR GAS ELECTRONIC MATERIALS (AGEM) — завод по производству и исследованию газа на Тайване, обладающий уникальным опытом в области специальных, электронных, сыпучих и калибровочных газов по всему миру в 6 различных регионах.
Комнаты 2 и 3, 10-й этаж, блок 1, фаза I, Huazhong International Plaza, Чжуешань, Ухань, Хубэй, Китай
Авторские права © Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd. Персональные данные
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
НЕТ
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ