Gaze de înaltă puritate pentru electronice Monofluormetan 99.999% FC41 UN 2454 Halocarbon 41 Fluorura de metil CH3F
BIJUTERIE produc și vinde gaz monofluormetan de înaltă puritate (CH3F) pentru a fi utilizat în procesul de fabricație a cipurilor semiconductoare.
fluorometan, cunoscut și sub numele de fluorură de metil, Freon 41, Halocarbon-41 și HFC-41, este un gaz netoxic, lichefiabil la temperatură și presiune standard. Este format din carbon, hidrogen și fluor. Denumirea provine din faptul că este metan (CH4) cu un atom de fluor înlocuit cu unul dintre atomii de hidrogen. Este utilizat în procesele de fabricare a semiconductorilor ca gaz de gravare în reactoarele de gravare cu plasmă.
fluorometan, numită mai frecvent fluorură de metil (MeF) sau Halocarbon 41 este un gaz lichefiabil netoxic utilizat la fabricarea semiconductoarelor și a produselor electronice. În prezența unui câmp RF, acesta se disociază în ioni de fluor pentru gravarea selectivă a filmelor compuse de siliciu.
Aplicatii:CH3F este un gaz de specialitate utilizat în procesul de fabricație a cipurilor semiconductoare pentru microprelucrarea filmului de nitrură prin gravare. CH3F este utilizat în principal la fabricarea de cipuri de memorie semiconductoare, inclusiv flash NAND și DRAM, care necesită tehnologie de micromachining. Deoarece selectivitatea sa de gravare este mai mare decât cea a altor gaze, CH3F este potrivit pentru microprelucrarea structurii multistrat a blitzului 3D NAND. Cererea pentru CH3F a crescut în aceste zile datorită pornirii multor linii de fabricare a blițului 3D NAND.