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ArF F2 Argônio Mistura Laser Gás Para Alcon Allegretto Wavelight 400Hz Excimer Laser Gás cilindro

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ArF F2 Mistura de argônio Laser Gas para Alcon Allegretto Wavelight 400Hz

As misturas de gases Excimer Laser são uma combinação de gases raros (argônio, criptônio, xenônio ou néon) e gases halogênio (flúor ou cloro). A mistura de gases determina o comprimento de onda da luz DUV produzida. Argônio+flúor+neon (193nm) e Krypton+flúor+neon (248nm) são as duas misturas mais comuns usadas. Em termos de volume; o néon representa aproximadamente 96–97.5% da mistura.

Categoria
Componente (%)
Gás de equilíbrio
Gás de mistura de laser He-Ne
2~8.3 Ne
He
Gás de mistura de laser CO2
0.4H2+ 13.5CO2+ 4.5Kr
/
0.4 H2+ 13CO2+ 7Kr+ 2CO
0.4 H2+ 8CO2+ 8Kr+ 4CO
0.4 H2+ 6CO2+ 8Kr+ 2CO
0.4 H2+ 16CO2+ 16Kr+ 4CO
0.4 H2+ 8~12CO2+ 8~12Kr
Gás de mistura de laser Kr-F2
5 Cr+ 10 F2
/
5 Cr+ 1~0.2 F2
Gás laser de feixe selado
18.5N2+ 3Xe+ 2.5CO
/
Excimer Laser
25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 1F2
Ar
25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 5F2
He
25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 0.2F2
He
25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 5HCl
A
   Gases Excimer para modelos parciais
Marcas
Wavelength
Cilindro
Valve
COERENTE
193nm
20 L
DIN 8
B&L
193nm
20 L / 50 L
DIN 8/ DIN 14
ZEISS
193nm
10L/20L
DIN 8
VISX
193nm
16 L
CGA 679
NIDEK
193nm
16 L
CGA 679
MIRA LASER
193nm
10 L
CGA 679
Alcon
193nm
16 L
CGA 679
SCHWIND
193nm
20 L
DIN 8/ DIN 14
SUMMIT
193nm
16 L
CGA 679

Outras aplicações do laser ArF incluem a produção de circuitos integrados semicondutores. Também facilita a análise in situ de amostras minerais com base no processo de ablação.

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