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Gases de Alta Pureza para Eletrônicos Monofluorometano 99.999% FC41 UN 2454 Halocarbono 41 Metil Fluoreto CH3F
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Gases de Alta Pureza para Eletrônicos Monofluorometano 99.999% FC41 UN 2454 Halocarbono 41 Metil Fluoreto CH3F
AGEM produz e vende gás Monofluorometano de alta pureza (CH3F) para ser usado no processo de fabricação de chips de semicondutores.
Fluorometano, também conhecido como metil fluoreto, Freon 41, Halocarbono-41 e HFC-41, é um gás liqueficável e não tóxico à temperatura e pressão padrão. Ele é composto de carbono, hidrogênio e flúor. O nome deriva do fato de ser metano (CH4) com um átomo de flúor substituindo um dos átomos de hidrogênio. É usado em processos de fabricação de semicondutores como gás de etching em reatores de etching a plasma.
Fluorometano, mais comumente chamado de metil fluoreto (MeF) ou Halocarbono 41 é um gás liqueficável e não tóxico utilizado na fabricação de produtos semicondutores e eletrônicos. Na presença de um campo RF, ele se dissocia em íons de flúor para o etching seletivo de filmes de compostos de silício.
Aplicação :CH3F é um gás especializado usado no processo de fabricação de chips de semicondutores para micromachinamento do filme de nitrato por etching. CH3F é主要用于生产需要 tecnologia de micromachinamento de chips de memória de semicondutores, incluindo NAND flash e DRAM. Como sua seletividade de etching é maior que a de outros gases, o CH3F é adequado para o micromachinamento da estrutura multicamada de 3D NAND flash. A demanda por CH3F tem aumentado nos últimos dias devido ao início de muitas linhas de produção para fabricação de 3D NAND flash.
