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O Tetrafluoreto de Silício é um gás incolor, corrosivo, não inflamável e tóxico. Ele tem um cheiro muito forte semelhante ao do ácido clorídrico e é fatal se inalado. O composto químico possui uma base de silício com quatro braços de flúor.
No mundo natural, o SiF4 é o gás principal em algumas plumas vulcânicas. O tetrafluoreto de silício também pode ser produzido pela redução de halogenuretos de silício, pela eletrolise de sílica fundida ou pelo aquecimento de hexafluorosilicato de bário acima de 300° C. Além disso, o tetrafluoreto de silício é um subproduto da produção de fertilizantes.