Semicondutores estão em tudo, desde seus smartphones e computadores pessoais até qualquer outro tipo de gadget eletrônico. Eles precisam ser fabricados por meio de um processo específico e utilizam uma multiplicidade de gases. O seguinte destaca uma descrição dos muitos tipos de gases que apenas uma indústria utiliza e como essas substâncias de alta tecnologia são destinadas a criar as coisas nas quais realmente dependemos. Os Diversos Tipos de Gás Usados no Mundo da Fabricação de Semicondutores. Semicondutores são formados utilizando uma série complexa de processos, como gravação, deposição e limpeza. As várias propriedades e aplicações desses gases variam em usos ou condições atmosféricas específicas, seja ao redor de fornecedores industriais de gás, fornecedores especializados de gás semicondutor famosos, ou no laboratório, proporcionando um espectro extenso adequado a todos eles com as características críticas necessárias para cumprir a tarefa de forma satisfatória intencionalmente. Hoje, neste relato, estamos introduzindo alguns dos principais gases utilizados nos processos de fabricação de materiais. Silano SiH4: Este gás é incolor e também representado como um material eletrônico baseado em silício significativo. É conhecido por ser muito dinâmico e reagir rapidamente com oxigênio e água para formar óxido de silício SiO e gás hidrogênio. O silano pode ser usado para depositar o material baseado em silício, como SiNx, tanto rapidamente quanto a temperaturas relativamente baixas. Elemento Nitrogênio N2: Este gás é inerte e previne a oxidação. Ele é continuamente produzido e necessário para purgar o dispositivo no processo de manutenção, removendo o influxo de O2 e umidade. Esse gás será utilizado para facilitar e transportar as atividades de outros gases também, funcionar como gás transportador na deposição de vapor de níquel e na deposição de vapor de níquel aprimorada por plasma.
Hidrogênio (H2) - O hidrogênio é empregado como um gás redutor, removendo impurezas dos materiais. Na fabricação de semicondutores, é uma etapa importante em vários processos, como anelamento e limpeza. Além disso, o hidrogênio forma portas metálicas usadas na produção de dispositivos CMOS avançados.
Oxigênio Estável (O2/O) - insira folhas e tempos de especificação, etc. Gás O enquanto o oxigênio é utilizado em muitos processos de plasma, como gravação e remoção/combustão, ele também atua como reagente para oxidar materiais à base de silício em SiOx ou passivar superfícies metálicas por meio da oxidação.
Cloro (Cl2): O cloro é um não-metal amarelo ou vermelho fumegante, de cheiro forte quando em estado líquido. Este gás, que é muito reativo com materiais à base de silício, dióxido de silício e muitos metais, como alumínio, tem várias aplicações na gravação de estruturas de semicondutores.
O fato de que gases são usados na produção de semicondutores levou à criação de eletrônicos de alta fidelidade, como resultado do aumento das capacidades de fabricação de semicondutores. Gases também têm várias aplicações e vantagens significativas na indústria de semicondutores.
Gases como silano, amônia e nitrogênio são usados para depositar óxido de silício ou nitrato, que serão os filmes finos de semicondutores. Deposição.
Etching (Gravação): É usado para remover seletivamente materiais ou padrões indesejados de semicondutores usando gases como cloro, flúor e oxigênio.
Gases de processo: Hidrogênio e nitrogênio são necessários para a operação de equipamentos de limpeza de semicondutores (purificação) a fim de reduzir impurezas que podem afetar o desempenho do dispositivo.
Purgamento: Um de seus usos principais é onde atua como gás de purga durante manutenções nos equipamentos, removendo oxigênio e umidade do sistema, mantendo assim os materiais livres.
Como consequência, a busca por materiais e processos cada vez mais sofisticados não tem fim à medida que a indústria de semicondutores avança. Gases aprimorados são essenciais para os próximos avanços nos semicondutores. Aqui estão alguns desses gases de alta tecnologia usados na fabricação de semicondutores:
Fluorocarbonetos: A razão pela qual os gases fluorados são bons para fabricar designs de circuitos de última geração é porque eles reagem de forma agressiva e seletiva tanto para etching (remover partes) quanto para deposição (adicionar partes).
CO2 - Um gás inerte usado para aplicações como spattering, CVD e limpeza.
Embora deva ser visto como um passo à frente na fabricação de semicondutores, apenas devido aos novos sistemas de entrega possíveis hoje. Fabricantes estão sempre procurando maneiras de melhorar a eficiência, reduzir o desperdício e aumentar a segurança. Alguns dos gases e sistemas de entrega química mais avançados disponíveis agora estão listados logo abaixo.
Sistema de entrega de gás (para gases que controlam com precisão pequenas quantidades de gases/químicos líquidos necessários em semicondutores)
Fonte: Sistemas Avançados de Limpeza Úmida de Wafers, ozônio plasma e peróxido de hidrogênio para os métodos mais eficazes de limpar impurezas do material semiconductor.
Gases de semicondutores podem impulsionar a demanda por eletrônicos mais eficazes, mas também representam ameaças ambientais perigosas. Existem alguns programas em andamento para reduzir resíduos e reciclar gases, entre outras coisas, dentro da indústria de semicondutores. Isso não é diferente de como os fabricantes estão trabalhando para acalmar preocupações ambientais ligadas aos gases de semicondutores;
O primeiro e mais direto é a Redução de Resíduos -> Fabricantes estão sempre à procura de reduzir a quantidade de resíduos produzidos durante a fabricação de semicondutores. Coisas como reduzir as quantidades de químicos e gases usados, reciclá-los quando possível ou criando sistemas de loop fechado.
Re-ciclar: A reciclagem de gases e produtos químicos será mais um método crucial que auxilia na redução das consequências ambientais. A geração de resíduos pode ser minimizada muito mais facilmente por fabricantes que permitem a recuperação, lavagem e reciclagem de gases ou produtos químicos usados durante a produção.
Resumo: Gases são essenciais para a fabricação de alguns dos eletrônicos mais avançados que existem. Os fabricantes estão comprometidos em melhorar tanto os gases avançados quanto as soluções de entrega que favorecem processos ótimos, redução de resíduos e a segurança da comunidade. O setor de semicondutores também seguirá pelo caminho do consumo de gases e a pegada ambiental desses gases lançou várias campanhas de sustentabilidade nos últimos anos.
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