Os semicondutores estão em tudo, desde smartphones e computadores pessoais até qualquer outro tipo de aparelho eletrônico. Eles precisam ser feitos por meio de um processo específico e usar uma infinidade de gases. O que se segue destaca um relato dos muitos tipos de gases que apenas uma indústria utiliza e como estas substâncias de alta tecnologia se destinam a criar as coisas das quais realmente dependemos. Os muitos tipos diferentes de gás usados no mundo da fabricação de semicondutores Os semicondutores são formados por meio de uma série complexa de processos, como gravação, deposição e limpeza. As diversas propriedades e aplicações destes gases variam em usos específicos ou nas condições atmosféricas a serem encontradas, seja em torno de fornecedores de gases industriais, fornecedores famosos de gases semicondutores especiais, ou em laboratório, proporcionando um amplo espectro adequado a todos eles com as características críticas necessárias. para cumprir a tarefa como intencionalmente satisfatória. Por hoje, por conta disso, estamos introduzindo alguns dos principais gases utilizados nos processos de fabricação de materiais. Silano SiH4: Este gás é incolor e também representado como um importante material eletrônico à base de silício. É conhecido por ser muito dinâmico e reage rapidamente com oxigênio e água para criar óxido de silício SiO e gás hidrogênio. O silano pode ser usado para colocar o material à base de silício, como o SiNx, rapidamente ou em temperatura relativamente baixa. Elemento nitrogênio N2: Este gás é inerte e evita a oxidação. Ele é fabricado continuamente e é necessário para purgar o dispositivo no processo de manutenção para remover o pico de O2 e umidade. Esse gás também será usado para facilitar e transportar as atividades de outros gases, funcionar como gás transportador na deposição de vapor de nicromo e na deposição de vapor de nicromo melhorada por plasma.
Hidrogênio (H2) - O hidrogênio é empregado como gás redutor, removendo impurezas dos materiais. Na fabricação de semicondutores, será uma etapa importante para vários processos, como recozimento e limpeza. Além disso, o hidrogênio fabrica portas de metal que são utilizadas na produção de dispositivos CMOS avançados.
Oxigênio estável (O2/O) - insira os prazos de entrega da folha e das especificações, etc. Gás O Embora o oxigênio seja utilizado em muitos processos de plasma, como corrosão e remoção/cinza o ]]>, ele também serve como reagente para oxidação à base de silício. materiais para SiOx ou passivação de superfícies metálicas através de oxidação.
Cloro (Cl2): O cloro é um não-metal fumegante, amarelo ou vermelho, de odor pungente quando líquido. Este gás, que é muito reativo com materiais à base de silício, dióxido de silício e muitos metais como o alumínio, tem visto diversas aplicações na gravação de estruturas semicondutoras.
O fato de gases serem usados na produção de semicondutores levou à criação de eletrônicos de alta fidelidade, produzidos pelo aumento da capacidade de fabricação de semicondutores. Os gases também têm vários usos e vantagens significativas na indústria de semicondutores.
Gases como Silano, amônia e nitrogênio são usados para depositar óxido ou nitreto de silício, que serão os filmes finos dos semicondutores. Deposição.
Gravura:É usado para remover seletivamente materiais ou padrões indesejados de semicondutores usando gases como cloro, flúor e oxigênio.
Gases de processo: Hidrogênio e nitrogênio são necessários para a operação de equipamentos de limpeza de semicondutores (purificação), a fim de reduzir impurezas que podem afetar o desempenho do dispositivo.
Purga: Uma de suas principais utilizações é onde atua como gás de purga durante trabalhos de manutenção em equipamentos, para remover oxigênio e umidade do sistema, mantendo assim os materiais livres na linha.
Como consequência, a busca por materiais e processos cada vez mais sofisticados não tem fim à medida que a indústria de semicondutores avança. Gases aprimorados são essenciais para os próximos avanços em semicondutores. Aqui estão apenas alguns desses gases de alta tecnologia na fabricação de semicondutores:
Fluorocarbonos: A razão pela qual os gases fluorados são bons para a fabricação de projetos de circuitos de última geração é porque eles reagem agressiva e seletivamente tanto à corrosão (remover peças) quanto à deposição (adicionar peças).
CO2 - Um gás inerte usado para aplicações como pulverização catódica, CVD e limpeza.
Embora deva ser visto como um avanço na fabricação de semicondutores, devido apenas aos novos sistemas de entrega possíveis hoje. Os fabricantes estão sempre buscando maneiras de melhorar a eficiência, diminuir o desperdício e aumentar a segurança. Alguns dos mais novos gases avançados e sistemas de distribuição de produtos químicos disponíveis agora estão listados logo abaixo.
Sistema de fornecimento de gás (para gases que controlam com precisão pequenas quantidades de gases/produtos químicos líquidos necessários em semicondutores)
Fonte: Advanced Wet Wafer Cleaning Systems, plasma de ozoona e peróxido de hidrogênio para obter os métodos mais eficazes para limpar impurezas de materiais semicondutores.
Os gases semicondutores podem impulsionar a procura de produtos eletrónicos mais eficazes, mas também representam ameaças ambientais perigosas. Existem alguns programas em vigor para reduzir resíduos e reciclar gás, entre outras coisas, na indústria de semicondutores. Isto não é diferente da forma como os fabricantes estão a trabalhar para apaziguar as preocupações ambientais associadas aos gases semicondutores;
A primeira e mais direta é a Redução de Resíduos -> Os fabricantes estão sempre em busca de reduzir a quantidade de resíduos produzidos durante a fabricação de semicondutores. Coisas como reduzir as quantidades de produtos químicos e gases utilizados, reciclá-los sempre que possível ou criar sistemas de circuito fechado.
Reciclar ' A reciclagem de gases e produtos químicos será outro método crucial que ajuda a diminuir os resultados ambientais. A geração de resíduos pode ser facilmente minimizada por fabricantes que permitem a recuperação, depuração e reciclagem de gases ou produtos químicos utilizados durante a produção.
Resumo: Os gases são essenciais para a fabricação de alguns dos melhores eletrônicos que existem. Os fabricantes se dedicam a melhorar tanto os gases avançados quanto as soluções de entrega que favorecem processos ideais, redução de resíduos e segurança da comunidade. O sector dos semicondutores também trilhará o caminho do consumo de gás – e a pegada ambiental global destes gases lançou muitas campanhas de sustentabilidade nos últimos anos.
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