Zrozumienie zastosowania prekursorów półprzewodnikowych w jednym artykule
Jako podstawowy surowiec dla procesu nanesienia cienkiej warstwy, prekursorzy półprzewodnikowe obejmują epitaksię, chemiczne nanoszenie parowate (Chemical Vapor Material, Deposition, zwane skrótowo CVD) oraz nanoszenie warstw atomowych (Atomic Layer Deposition, zwane skrótowo ALD), które tworzą różne materiały cienkowarstwowe niezbędne do produkcji półprzewodników, używane w różnych dziedzinach ich produkcji.