EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NIE
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Klasa elektroniczna o wysokiej czystości 99.999% do stosowania w półprzewodnikach Gaz C4F6 Gaz oktafluorocyklobutan
- Zakładka Podgląd
- Zapytanie ofertowe
- Podobne produkty
Trawienie na sucho Materiały na bazie tlenku Sprężone gazy skroplone Perfluoro 2 butyn H 2316 Perfluoro2butyn C4F6
Heksafluoro1,3-butadien to toksyczny, bezbarwny, bezwonny, łatwopalny skroplony sprężony gaz
Lata badań wykazały, że C4F6 (H-2316) ma kilka zalet w przypadku suchego trawienia materiałów na bazie tlenków:
Ma wyższą szybkość trawienia i selektywność niż oktafluorocyklobutan (c-C4F8 – H318), inny szeroko stosowany środek trawiący do tlenku krzemu. W przeciwieństwie do C4F8 (H318), w przypadku C4F6 (H2316) trawione jest tylko podłoże dielektryczne. Wytrawiona struktura ma wyższy współczynnik kształtu, co prowadzi do węższych rowów w porównaniu do c-C4F8. Emisje LZO są zmniejszone: C4F6 (H2316) ma niski współczynnik ocieplenia globalnego, ponieważ ma znacznie krótszy czas życia w atmosferze.
Podanie:
Następna generacja materiałów rdzeniowych wymaganych w procesach produkcyjnych LSI w celu zminimalizowania szerokości i głębokości linii obwodu. Suchy gaz trawiący stosowany jest w procesie trawienia mikrootworów kontaktowych. W przypadku gazów specjalnych opartych na wzorze chemicznym CxFy, im mniejsza wartość F/C, tym więcej powstaje grup CF2. W porównaniu do C2F6 C3F8, C4F6 ma mniejszy stosunek F/C i wytwarza więcej grup CF2, co z kolei trawi więcej warstwy tlenkowej. Dlatego C4F6 ma wyższą selektywność w stosunku do warstwy tlenku i pozwala na bardziej równomierne trawienie.
