Półprzewodniki są wszędzie, od smartfonów i komputerów osobistych po wszelkiego rodzaju gadżety elektroniczne. Muszą być wytwarzane w ramach określonego procesu i przy użyciu wielu gazów. Poniżej omówiono wiele rodzajów gazów, których używa tylko jeden przemysł, oraz to, w jaki sposób te zaawansowane technologicznie substancje służą do tworzenia rzeczy, na których faktycznie polegamy. Wiele różnych rodzajów gazu stosowanych w świecie produkcji półprzewodników Półprzewodniki powstają w wyniku złożonej serii procesów, takich jak trawienie, osadzanie i czyszczenie. Różne właściwości i zastosowania tych gazów różnią się w zależności od konkretnych zastosowań lub warunków atmosferycznych, niezależnie od tego, czy chodzi o dostawców gazów przemysłowych, słynnych dostawców specjalistycznych gazów półprzewodnikowych, czy też w laboratorium, zapewniając szerokie spektrum dostosowane do wszystkich z nich z niezbędnymi charakterystykami krytycznymi spełnić zadanie jako zamierzone i zadowalające. Z tego powodu przedstawiamy dzisiaj kilka wiodących gazów stosowanych w procesach wytwarzania materiałów. Silane SiH4: Gaz ten jest bezbarwny i jest również ważnym materiałem elektronicznym na bazie krzemu. Wiadomo, że jest bardzo dynamiczny i szybko reaguje z tlenem i wodą, tworząc tlenek krzemu SiO i gazowy wodór. Silan można zastosować do szybkiego umieszczenia materiału na bazie krzemu, takiego jak SiNx, lub w stosunkowo niskiej temperaturze. Pierwiastek azotu N2: Gaz ten jest obojętny i zapobiega utlenianiu. Jest produkowany w sposób ciągły i wymagany do czyszczenia urządzenia w procesie konserwacji, aby usunąć nadmiar O2 i wilgoci. Gaz taki będzie wykorzystywany do ułatwiania i przenoszenia aktywności innych gazów, będzie pełnił funkcję gazu nośnego w osadzaniu z fazy gazowej nichromu i osadzaniu z fazy gazowej nichromu wspomaganego plazmą.
Wodór (H2) – Wodór stosowany jest jako gaz redukujący, usuwający zanieczyszczenia z materiałów. W produkcji półprzewodników import obejmuje kilka procesów, takich jak wyżarzanie i czyszczenie. Ponadto wodór wytwarza metalową bramkę, która jest wykorzystywana do produkcji zaawansowanych urządzeń cmos.
Stabilny tlen (O2/O) — wprowadź czas realizacji arkusza i specyfikacji itp. Gaz O Chociaż tlen jest wykorzystywany w wielu procesach plazmowych, takich jak trawienie i usuwanie popiołu ]]>, służy on również jako reagent do utleniania produktów na bazie krzemu materiałów na SiOx lub pasywację powierzchni metalowych poprzez utlenianie.
Chlor (Cl2): Chlor jest żółtym lub czerwonym dymiącym niemetalem o ostrym zapachu w postaci cieczy. Gaz ten, który jest bardzo reaktywny z materiałami na bazie krzemu, dwutlenkiem krzemu i wieloma metalami, takimi jak aluminium, znalazł szereg zastosowań w trawieniu struktur półprzewodnikowych.
Fakt, że do produkcji półprzewodników wykorzystuje się gazy, doprowadził do powstania elektroniki o wysokiej wierności, wytwarzanej dzięki zwiększonym możliwościom produkcji półprzewodników. Gazy mają również kilka znaczących zastosowań i zalet w przemyśle półprzewodników.
Gazy takie jak silan, amoniak i azot służą do osadzania tlenku lub azotku krzemu, które będą cienkimi warstwami półprzewodników. Zeznanie.
Trawienie: Służy do selektywnego usuwania niepożądanych materiałów lub wzorów z półprzewodników przy użyciu gazów takich jak chlor, fluor i tlen.
Gazy procesowe: Wodór i azot są wymagane do działania sprzętu do czyszczenia półprzewodników (oczyszczania) w celu ograniczenia zanieczyszczeń, które mogą mieć wpływ na działanie urządzenia.
Oczyszczanie: Jednym z jego głównych zastosowań jest działanie jako gaz oczyszczający podczas prac konserwacyjnych na sprzęcie, w celu usunięcia tlenu i wilgoci z układu, utrzymując w ten sposób materiały w stanie wolnym.
W rezultacie poszukiwanie coraz bardziej wyrafinowanych materiałów i procesów nie ma końca wraz z postępem przemysłu półprzewodników. Udoskonalone gazy są niezbędne dla nadchodzących postępów w dziedzinie półprzewodników. Oto tylko kilka z tych zaawansowanych technologicznie gazów stosowanych w produkcji półprzewodników:
Fluorowęglowodory: Powodem, dla którego fluorowane gazy są dobre do wytwarzania najnowocześniejszych projektów obwodów, jest to, że reagują agresywnie i selektywnie zarówno na trawienie (usuwanie elementów), jak i osadzanie (dodawanie części).
CO2 – Gaz obojętny używany do zastosowań takich jak napylanie katodowe, CVD i czyszczenie.
Chociaż należy to postrzegać jako krok naprzód w produkcji półprzewodników, wyłącznie ze względu na możliwe obecnie nowe systemy dostarczania. Producenci zawsze szukają sposobów na poprawę wydajności, zmniejszenie ilości odpadów i zwiększenie bezpieczeństwa. Poniżej wymieniono niektóre z najnowszych, zaawansowanych gazów i systemów dostarczania środków chemicznych, które są obecnie dostępne.
System dostarczania gazu (dla gazów, które dokładnie kontrolują niewielkie ilości gazów/ciekłych chemikaliów potrzebnych w półprzewodnikach)
Źródło: Advanced Wet Wafer Cleaning Systems. Plazma ozoonowa i nadtlenek wodoru dla najskuteczniejszych metod czyszczenia zanieczyszczeń z materiałów półprzewodnikowych.
Gazy półprzewodnikowe mogą napędzać popyt na bardziej efektywną elektronikę, ale także stwarzać niebezpieczne zagrożenia dla środowiska. Istnieją pewne programy mające na celu redukcję odpadów i recykling gazów, między innymi w przemyśle półprzewodników. Nie różni się to od wysiłków producentów mających na celu złagodzenie obaw środowiskowych związanych z gazami półprzewodnikowymi;
Pierwszą i najbardziej bezpośrednią jest redukcja odpadów -> Producenci zawsze starają się zmniejszyć ilość odpadów wytwarzanych podczas produkcji półprzewodników. Rzeczy takie jak zmniejszenie ilości używanych chemikaliów i gazów, recykling, jeśli to możliwe, lub tworzenie systemów o obiegu zamkniętym.
Recykling Recykling gazów i chemikaliów będzie kolejną kluczową metodą pomagającą w zmniejszeniu skutków dla środowiska. Producenci mogą łatwo zminimalizować wytwarzanie odpadów, umożliwiając odzysk, oczyszczanie i recykling gazów lub chemikaliów używanych podczas produkcji.
Podsumowanie: Gazy są niezbędne do produkcji najlepszych urządzeń elektronicznych na rynku. Producenci zajmują się ulepszaniem zarówno zaawansowanych gazów, jak i rozwiązań w zakresie dostaw, które sprzyjają optymalnym procesom, redukcji odpadów i bezpieczeństwu społeczności. Sektor półprzewodników również ulegnie zmniejszeniu na ścieżce zużycia gazu, a ogólny ślad środowiskowy tych gazów stał się w ostatnich latach powodem wielu kampanii na rzecz zrównoważonego rozwoju.
AGEM zdaje sobie sprawę, że każdy klient potrzebuje innych produktów w zakresie gazów specjalnych, takich jak gaz kalibracyjny. Dostarczamy rozwiązania dostosowane do specyficznych potrzeb naszych klientów. Jeśli potrzebujesz określonej ilości czystości, rozmiaru butli lub opcji pakowania, AGEM może współpracować z Tobą w celu dostosowania swoich produktów zgodnie z Twoimi dokładnymi wymaganiami. Ten stopień dostosowania zapewni najlepszą butlę z gazem kalibracyjnym do Twoich zastosowań, co poprawi ogólną wydajność i wydajność. Asortyment produktów AGEM nie ogranicza się do gazów kalibracyjnych. Katalog AGEM obejmuje gazy węglowodorowe, halowęglowodory, gazy chemiczne i gazy rzadkie. Możesz być pewien, że AGEM posiada specyficzny rodzaj gazu, jakiego potrzebujesz.
Poważnym problemem są wycieki gazów stosowanych w produkcji półprzewodników. Aby zapewnić jakość, co najmniej pięć razy testujemy szczelność. Nasza firma oferuje kompletną linię produkcyjną i testową oraz rygorystyczną kontrolę jakości i doskonały system obsługi posprzedażowej, aby zapewnić klientom produkty najwyższej jakości i pełen zakres usług. Nasze zaangażowanie w zapewnianie doskonałej obsługi klienta i wysokiej jakości jest czymś, z czego jesteśmy dumni. Nasz wykwalifikowany zespół jest zawsze pod ręką, aby Ci pomóc i zapewnić najlepszą obsługę, która będzie dla Ciebie maksymalnie satysfakcjonująca. To, co nas wyróżnia, to nasza całodobowa obsługa. Jesteśmy tu dla Ciebie przez cały dzień, o każdej porze.
AGEM oferuje szeroką gamę butli kriogenicznych do chłodzenia przechłodzonych cieczy i gazów, takich jak ciekły tlen i argon. Mogą również zawierać dwutlenek węgla, azot i azotawę. Używamy importowanych zaworów i instrumentów, aby zapewnić maksymalną wydajność. Korzystaj z urządzeń oszczędzających gaz i dawaj pierwszeństwo stosowaniu gazu pod ciśnieniem w przestrzeni fazy gazowej. Podwójne zawory bezpieczeństwa zapewniają solidną gwarancję bezpiecznej pracy. Oferujemy szeroką gamę butli kriogenicznych, które mogą pomieścić przechłodzone ciecze wykorzystywane na co dzień. Pełna objętość: 80L/100L/175L/195L/210L/232L/410L/ 500L/1000L Ciśnienie robocze: 1.37 MPa/2.3 MPa/2.88 MPa/3.45 MPa Temperatura projektowa zbiornika wewnętrznego: +196 Temperatura projektowa zbiornika płaszczowego: 20oC+50oCIzolacja: Próżnia z owinięciem wielowarstwowym Przechowywane medium: LO2, LN2, LArLCO2, LNG
AGEM działa na Tajwanie od ponad 25 lat. Posiadamy rozległą wiedzę specjalistyczną w zakresie badań i rozwoju w tej dziedzinie i możemy zaoferować wyjątkową wiedzę w dziedzinie gazów specjalistycznych, gazów masowych i kalibracyjnych w 6 różnych regionach.Tajwan – miasto Kaohsiung (siedziba główna, centrum badawczo-rozwojowe) Indie – Mumbai, Vadodara, Coimbatore, Pune, Bengaluru, DelhiChiny – WuhanBliski Wschód – Dubaj (ZEA) i Królestwo Arabii SaudyjskiejWielka Brytania – Cambridge Oferowane przez nas rozwiązania w zakresie gazu obejmują doradztwo techniczne. Montaż i uruchomienie. Próbne testowanie. Pakowanie i wysyłka. Projekt rysunku. Produkcja.
AIR GAS ELECTRONIC MATERIALS (AGEM) to zakład produkcyjny gazu oraz zakład badawczo-rozwojowy z siedzibą na Tajwanie, posiadający niezrównaną wiedzę specjalistyczną w dziedzinie gazów specjalistycznych, elektronicznych, masowych i kalibracyjnych na całym świecie w 6 różnych regionach
Pokój 2 i 3, 10. piętro, jednostka 1, faza I, Huazhong International Plaza, Zhuyeshan, Wuhan, Hubei, Chiny
Prawa autorskie © Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd. Polityka Prywatności
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NIE
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ