- Overzicht
- Navraag
- Gerelateerde producten
C5F8 Octafluorocyclopenteen Gas
Breedtoepasselijk in het gravageproces van halvegeleidersapparaatproductie, vooral voor de grootte en selectieve gravage van de kleinste geometrische kenmerken (zoals de breedte van verbindingenlijnen, contacten, greppels, etc.)