EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NEE
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
- Overzicht
- Aanvraag
- Gerelateerde Producten
Voor halfgeleiderproces Plasma-afzettingsgas en etsmiddel 99.9% C318 Perfluorcyclobutaan Koelmiddelen Gas C4F8
Bij de productie van halfgeleidermaterialen en -apparaten dient octafluorcyclobutaan als afzettingsgas en etsmiddel. Het is ook onderzocht als koelmiddel in gespecialiseerde toepassingen, ter vervanging van ozonafbrekende chloorfluorkoolstof-koelmiddelen. Octafluorcyclobutaan maakt gebruik van de vluchtigheid en chemische inertie ervan en kan in sommige vernevelde voedingsmiddelen worden aangetroffen. Het wordt vermeld door de Codex Alimentarius onder nummer 946 (E946 voor EU). Het wordt onderzocht als mogelijke vervanging voor zwavelhexafluoride als diëlektrisch gas.
C4F8, HALOCARBON C318 99.8% G 10LBS, C4F8, halfgeleiderprocesgas, toepasbaar in: elektronica, halfgeleiderproces, doteringsmiddel, etsmiddel, reactant, fabricage, reactoren, silicium-voorloper, gassen, zuivering, zuiver, standaarden, koelmiddelen - HA C3183.
