- Rangkuman
- Penyiasatan
- Produk berkaitan
Gas C5F8 Oktafloretilpentena
Meluas digunakan dalam proses pengikisan pembuatan peranti semikonduktor, terutama untuk saiz dan pengikisan pilihan ciri-ciri geometri terkecil (seperti lebar garis penyambung, titik temu, parit, dll.)