Семикондукторууд нь хамгийн их зүйлсээс, таны смартфон, персонал компьютер болон бусад бүх электрон зүйлсэнд байдаг. Эдгээр нь тодорхой ажлын баримт бүрэн дээр үйлдвэрлэгдэнэ, газын олон төрлийг ашигладаг. Дараах нь тухайн байгууллагын ашиглах олон төрлийн газын талаар, эдгээрийн хувьд ямар чухал хүчирхэг технологиудыг бид хэрэглэдэг вэ гэдгийг тайлбарладаг. Хөдөө аж ахуйн сектор, семикондуктор үйлдвэрлэхэд ашигладаг газын төрлүүд Семикондукторууд нь ихэвчлэн шинж чанаруудын жишээнд хамааран, мөн эдгээрийг үйлдвэрлэхэд ашигладаг процессууд нь ихэвчлэн шингээх, цоожуулах, цохих процесстэй холбоотой. Эдгээр газуудын шинж чанарууд, ашиглалтын зорилго, эсвэл амьдралын нөөцөд хамааран өөрчлөгдөнө. Тиймээс индустрийн газын санхүүгчид, семикондукторын газын санхүүгчид эсвэл лабораторит дээр ашигладаг газууд нь ихэвчлэн хэрэглэгчдийн зорилгоор тохирогдоно. Одоогоор бид семикондуктор үйлдвэрлэхэд ашигладаг олон газын заримыг танилцуулах болно. Силан SiH4: Энэ нь газ удаан өнгөтэй бөгөөд томъёолсондаа томъёоны үндэслэл болох силигний материал юм. Энэ нь оюун, устай хурдан холбогдож, силигний оксид (SiO) болон водород газ үүсгэдэг. Силан нь силигний материалыг хурдан эсвэл илүү бага температурт цоожуулахад ашигладаг. Нитроген N2 элемент: Энэ нь хүчирхэггүй газ юм, энд хөрш хөдөлгөөнтэй холбогдохгүй. Энэ нь үйлдвэрлэлийн процесс дунд O2-г, усны хэмжээг цэвэрлэхэд ашигладаг. Энэ нь бусад газуудын ажиллагааг хяналтаар хөгжүүлэх, никромын цоожлуулалт, плазмаар хөгжүүлэгдсэн никромын цоожлуулалтад гар газ гэсэн үүрэгтэй.
Хайдроген (H2) - Хайдроген нь материалуудаас чимэгтэй бусад хэсгүүдийг арилгах төгсөгч газ болохыг зориулж ашигладаг. Семикондуктор үйлдвэрлэх үед энэ нь анниал, цэвэрлэх зэрэг олон процесстэй холбоотой чухал үйл ажиллагааны алхам юм. Мөн хайдроген нь санаачлагат CMOS үйлдвэрлэлийн үндсэн хувьд ашигладаг метал гариг үүсгэдэг.
Стабиль Оксиген (O2/O) - лист дээр оруулах, спецификацийн хугацаа гэх мэт. Газны оксиген нь плазма процессын олон хэсэгт ашиглагддаг, жишээлбэл etch, strip/ash процессүүдэд. Түүнчлэн энэ нь SiOx-р хөрвүүлэх эсвэл метал хэсгүүдийг оксигенд хамааруулан пассивчлагдахад хамгийн их үзүүлэх хариуцлагатай.
Хлорин (Cl2): Хлорин нь шаргалтай хоолойтой, жигд эсвэл улаан цагаан дулаан, хамгийн ихдээ хөдөлгөөнтэй хоолойтой нонметал юм. Энэ нь силигэн-бүхий материалууд, силигэн хоёртын оксид, алуминийн төрлийн олон металуудтай ихээхэн хамааруулан ашиглагддаг ба семикондукторын структурыг этчинг хийхэд олон ашигладаг.
Хүчирхэгчийн үйлдвэрлэлийн үндсэнд газ нь ашиглагддаг бөгөөд энэ нь хүчирхэгчийн үйлдвэрлэлийн чадвар нэмэгдсэн тул томоохон зөвхөн электроник бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэх боломжийг олгодог. Газ нь хүчирхэгчийн салбарт ихээхэн ашигтай.
Силан, аммиак, нитроген газууд нь хүчирхэгчийн хувьд ашигладаг шинээр байгуулсан силиг оксид эсвэл нитридийг дэвсгэрлэхэд (thin film) ашигладаг. Дэвсгэрлэл.
Эрэлт: Энэ нь хүчирхэгчидээс хамаарахгүй материал эсвэл зургийг хасахад ашигладаг, жишээ нь хлорин, фтор, кислород газууд.
Үйл ажиллагааны газ: Хүчирхэгчийн цэцэрлэгтэй бутлуур үйлдвэрлэх тоног төхөөрөмжийг цэцэрлэглэх (зөвшөөрөл) үед хидроgen, нитроген газууд нь чухал хамаарлын материалуудыг бууруулахад ашигладаг.
Цэвэрлэх: Энэ нь томоохон ашигтай байдаг, зөвхөн тоног төхөөрөмжийг засварлах үед системээс кислород, усны хамгийг хасахад ашигладаг.
Үр дүнгээр, төмөр хийсэн бус аж ахуй нь зөвлөмжтэй материалуудын жишээ болон процессыг хамгийн саналтай хэмжээнд өргөжүүлэхийг хүссэн байдаг. Шинэ газууд нь эрдэм шинжилгээний хөгжлийнхаа тулд төмөр хийсэн бусын технологид ороход их хэрэгтэй байна. Энэ нь төмөр хийсэн бусын бүтээгдэхүүнд ашиглагдах хэтэрхий технологийн газуудын зарим жишээ юм:
Фтор агуулсан угамсар: Фтор агуулсан газууд нь хамгийн саналтай цахилгаан цонхны дизайнуудыг бий болгоход сайн учраас эдгээр газууд нь хязгаарлагдсан холих (etch) болон нэмэх (deposition) процесстэй харьцуулахад ихээр хурдан хариуцах чадвартай.
CO2 - Спаттеринг, CVD болон цэвэрлэх үйлдлүүдэд ашигладаг анхны газ.
Энэ нь төмөр хийсэн бусын бүтээгдэхүүний үйлдвэрлэлийн хувьд зориулж өнгөрсөн шинэчлэл юм. Өнөөдөрх боломжтой шинэ эх сурвалжийн системүүдийн тулд. Үйлдвэрлэгчид нь амжилтанд оролцох, албадлыг бууруулах, эрхсэж байх замд шинэчлэл хийх арга замыг хайж байна. Одоогоор хамгийн шинэчлэгдсэн газууд болон химиа хүргэх системүүдийн жагсаалт энд дараал Lagtaa.
Газын түгээмэл систем (семикондукторуудад шаардлагатай бага хэмжээний газ эсвэл дотоод химийн шинж чанаруудыг зөвхөн нягтлалтай байдлаар тохируулахад ашигладаг)
Эерэг: Шинэчлэлийн цуврал үзэгчид оzoone плазма болон хүчирхэг хамгийн амжилттай арга хэмжээнүүд семикондуктор материалуудаас чанар татсан устгахад.
Семикондукторын газ нь ихээр амжилттай электроникийн хэрэгслүүдийг үйлдвэрлэхэд хүссэн боловч ялангуяа нөхцөл буюу амьдралд хязгаарлалттай эрсдэл үзүүлдэг. Семикондукторын салбарт хүчирхэг хэмжээнд газ recycle-лах, татсан устгах програмууд байдаг. Энэ нь семикондукторын газтай холбоотой нөхцөл буюу амьдралд хязгаарлалттай холбоотой алдааг бууруулахад үйлдвэрлэгчид яаж ажилладаг вэ гэдгээрээ ижил юм.
Эхний болон ихэвчлэн тодорхой нь Татсан Устгах -> Үйлдвэрлэгчид семикондуктор үйлдвэрлэх үед гаргасан татсан устгах мөнгөний хэмжээг бууруулахыг хамгийн их хүсч байна. Химийн шинж чанаруудыг, газыг бууруулах, recycle-лах эсвэл хучингүй системүүдийг үүсгэх зэрэг.
Цэвэрлэх, үйлдвэрлэлийн амьсгалыг дахин ашиглах нь орчин үеийн тухайн бодлогын хамгийн чухал арга болох ёстой. Үйлдвэрлэлийн үйл ажиллагаагаар хамгийн их өвчтөнгөөс сэргийлэх, цэвэрлэх, дахин ашиглах арга замуудыг ашиглахад зориулсан технологийн дунд цогцолбор шатанд илүү их тохиолдол гарах боломжтой.
Товчоо: Электроник техник газыг ашигладаг байдаг. Үйлдвэрийн компаний нь эдгээр газын хэрэглээг багасгах, процессийг сайжруулах, байгаль орчныг хамгаалах зорилгоор ажилладаг. Семикондукторын сектор нь газын хэрэглээг багасгахад зориулан ажилладаг ба эдгээр газын байгаль орчны үр дүнгээс хамгаалахад суурь боловсруулалтын кампануудыг эхлүүлсэн.
AGEM нь үйлчилгээний газрын хувьд үйл ажиллагаагаа өөрөөсөн зорилгоор шинэчлэхийг зөвшөөрдөг, жишээлбэл шалгах газ. Бид үйлчлүүлэгчидээс илэрхийлсэн тусгай зорилгоор хамтран ажилладаг. Хэрвээ таны талаар бодох газын чисталтын хэмжээ, цилиндрийн урт эсвэл баримтлалын сонголтууд байгаа бол AGEM нь танд харгалзах үйлчилгээг олгоход туслах болно. Энэ нь таны ашиглахад зориулагдсан шалгах газын цилиндрийг таны зорилгоор хангасан болгоход тусална, ямар ч ажлын үеэр ч хямдлалгүй ажиллахад тусална. AGEM-ийн бүтээгдэхүүний төрөл нь шалгах газ дээр хязгаарлагддаггүй. AGEM-ийн каталог нь Хидрокарбон газ, Халокарбон, Химиа газ, Редк газуудыг агуулдаг. Таны хэрэглээний тухай газын төрлийг AGEM танд хүргэх боломжтой.
Семикондукторын бүтээгдэхүүний үйлдвэрлэхэд ашигладаг газуудад усны орой татгалзах нь их хэмжээний асуудал юм. Энэхүү татгалзуудыг ялгахын тулд өндөр сэргийллийн шалгамжийг дөрвөн, таван удаа явуулна. Бидний компани нь үйлдвэрлэлийн бүтээгдэхүүнийг бүрэн байдлаар үйлчлэх, эрсдэлтэй үндэслэлийн дагуу шинжилгээ хийх болон зөвхөн үнэт засварын системийг хэрэгжүүлэхэд туслахад зориулагдсан. Үнэт засварын үйлчилгээний талаарх бидний хамгаалалтын тухай бид маш хангалттай гэж үздэг. Манай чадварлаг баг нь танд туслахад бүрэн бэлтгэлтэй байна. Танд бүтээгдэхүүн болон үйлчилгээний талаарх мэдээлэл өгөхөд бидний 24x7 үйлчилгээ нь бидний өөртөөсөө хамаарахад тусална. Бид танд өдрийн үед, цагийн үед тусална.
AGEM нь хамгийн их орчинд суурийн цилиндрүүдийг зориулж байгаа. Эдгээр цилиндрүүд нь эрсдэлтэй дэлхийн хоолой, аргон гэх мэт суурийн цагдаагуудыг эсвэл угасан үеийн угсааг хадgalчихна. Тэд угасан хоолой, нитроген, нитроус угсааг хадгалж чаддаг. Бид импортын шинжилгээний тогтвортой хувилбарыг ашиглахад анхаарна. Угасан үеийн хэмжээнд хямдаргүй үедээ угсаа хадгалах төхөөрөмжүүдийг ашиглах боломжтой. Хоёр талттай хамгаалалтын шинжилгээ нь аюулгүй үйлдвэрлэлийг хамгийн томоохон хамгаалалтай болгоно. Бид суурийн цилиндрүүдийг хамгийн их орчинд суурийн цагдаагуудыг хадгалж, өдрийн амьдралд ашиглах боломжийг олгодог. Тооцооны хэмжээ: 80Л/100Л/175Л/195Л/210Л/232Л/410Л/500Л/1000Л Ажиллах нягт: 1.37МПа/2.3МПа/2.88МПа/3.45МПа Дотоод цистерны дизайны температур: +196 Хойд цистерны дизайны температур: -20°C+50°C Хамгаалалт: Зөөлөн тосоор багтсан багтасан Хадгалагдаж буй материал: LO2, LN2, LArLCO2, LNG
AGEM 25 жил хэттэйгээр Тайванд ажилладаг. Энэ нутагт бидний нийтлэг шинжлэх ухааны мэдлэг ихээр байна. Тэргүүлэн, томоохон газар болон шалгах газруудын талбарт эрчимтэй мэдлэг олгоход зориулж байгаа. Тайван - Каохсиу хот (Эмнэлэг, ШУ-ын центр), Инд - Мумбаи, Вадодара, Коимбатуре, Пуне, Бенгалур, Дели, Хятад - Ухан, Дунд Азий - Дубай (Араб Эрдэнэ Зөвлөл) & Сауди Араб, Номдог Улс - Кембридж. Бидний газрын холбоотой шийдэл нь техникийн санал хүсэл, татварлагдах, зохицуулах, шинжилгээ авах, пакетинг, шиппинг, зураг зохицуулах, бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэх юм.
AIR GAS ELECTRONIC MATERIALS (AGEM) нь Тайван дахь газын үйлдвэрлэлийн байгууллага бөгөөд дэлхий даяар 6 ялгарын хувьд ихэвчлэн хэрэглэгчдийн, электроникийн, том хэмжээний болон шалгах газуудын талд ихэвчлэн мэргэжилтэй байдаг
Room 2&3, 10rd Floor, Unit 1, Phase I, Huazhong International Plaza, Zhuyeshan, Wuhan, Hubei, China
Copyright © Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd. Эрх мэндийн Политик
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ