Хагас дамжуулагч нь таны ухаалаг утас, хувийн компьютерээс авахуулаад бусад төрлийн электрон хэрэгсэл хүртэл бүх зүйлд байдаг. Тэдгээрийг тодорхой процессоор хийж, олон тооны хий ашиглах шаардлагатай. Зөвхөн нэг үйлдвэрт ашигладаг олон төрлийн хий болон эдгээр өндөр технологийн бодисууд нь бидний үнэхээр найдаж буй зүйлсийг бий болгоход зориулагдсан болохыг доор дурдсан болно. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн ертөнцөд ашигладаг олон төрлийн хий Хагас дамжуулагчийг сийлбэрлэх, тунадасжуулах, цэвэрлэх зэрэг цогц процессыг ашиглан үүсгэдэг. Эдгээр хийн төрөл бүрийн шинж чанар, хэрэглээ нь үйлдвэрлэлийн хий нийлүүлэгчид, алдартай хагас дамжуулагч хий нийлүүлэгчид, эсвэл лабораторид байгаа эсэхээс үл хамааран тодорхой хэрэглээ эсвэл агаар мандлын нөхцөлд харилцан адилгүй байдаг. даалгаврыг санаатайгаар хангалттай биелүүлэх. Өнөөдрийн хувьд бид энэ дансанд материал үйлдвэрлэх процесст зориулагдсан хэд хэдэн тэргүүлэх хийнүүдийг танилцуулж байна. Silane SiH4: Энэ хий нь өнгөгүй бөгөөд цахиурт суурилсан чухал электрон материал юм. Энэ нь маш динамик бөгөөд хүчилтөрөгч, устай хурдан урвалд орж цахиурын исэл SiO болон устөрөгчийн хий үүсгэдэг. Силаныг SiNx гэх мэт цахиурт суурилсан материалыг хурдан эсвэл харьцангуй бага температурт байрлуулахад ашиглаж болно. Азот N2 элемент: Энэ хий нь идэвхгүй бөгөөд исэлдэлтээс сэргийлдэг. Энэ нь тасралтгүй үйлдвэрлэгддэг бөгөөд O2 болон чийгийн өсөлтийг арилгахын тулд засвар үйлчилгээний явцад төхөөрөмжийг цэвэрлэхэд шаардлагатай байдаг. Ийм хий нь бусад хийн үйл ажиллагааг хөнгөвчлөх, зөөвөрлөх, никромын уурын хуримтлал, сийвэн дэх нихромын уурын хуримтлалд тээвэрлэгч хийн үүрэг гүйцэтгэхэд ашиглагдана.
Устөрөгч (H2) - Устөрөгчийг материалаас хольцыг зайлуулах замаар багасгах хий болгон ашигладаг. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд устөрөгчөөс гадна металл хаалгыг хийх, цэвэрлэх, цэвэрлэх зэрэг хэд хэдэн процесс руу импортын шат дамжлагаар орж байна.
Тогтвортой хүчилтөрөгч (O2/O) - хуудас, техникийн хугацаа гэх мэтийг оруулна уу. O хий Хүчилтөрөгчийг сийвэн, тууз/үнс гэх мэт олон плазмын процессуудад ашигладаг боловч цахиурт суурилсан исэлдүүлэх урвалжийн үүрэг гүйцэтгэдэг. материалыг SiOx болгон хувиргах буюу исэлдүүлэх замаар металлын гадаргууг идэвхгүйжүүлэх.
Хлор (Cl2): Хлор нь шар эсвэл улаан утаатай, металл бус хурц үнэртэй шингэн юм. Цахиурт суурилсан материал, цахиурын давхар исэл, хөнгөн цагаан гэх мэт олон металлуудтай маш идэвхтэй байдаг энэхүү хий нь хагас дамжуулагчийн бүтцийг сийлбэрлэх ажилд хэд хэдэн хэрэглээг үзсэн.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд хий ашигладаг нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн хүчин чадлыг нэмэгдүүлснээр өндөр нарийвчлалтай электроникийг бий болгоход хүргэсэн. Хий нь хагас дамжуулагчийн салбарт хэд хэдэн чухал хэрэглээ, давуу талтай байдаг.
Силан, аммиак, азот зэрэг хийнүүд нь хагас дамжуулагчийн нимгэн хальс болох цахиурын исэл эсвэл нитридыг хуримтлуулахад ашиглагддаг. Хадгаламж.
Сийлбэр: Энэ нь хлор, фтор, хүчилтөрөгч зэрэг хий ашиглан хагас дамжуулагчаас хүсээгүй материал, хэв маягийг сонгон арилгахад хэрэглэгддэг.
Процессын хий: Устөрөгч, азот нь төхөөрөмжийн гүйцэтгэлд нөлөөлж болзошгүй хольцыг багасгахын тулд хагас дамжуулагч цэвэрлэх төхөөрөмжийг ажиллуулахад (цэвэршүүлэх) шаардлагатай.
Цэвэрлэх: Үүний нэг гол хэрэглээ нь тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээ үргэлжилж байгаа үед цэвэршүүлэх хийн үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд энэ нь системээс хүчилтөрөгч, чийгийг зайлуулж, материалыг шугаманд чөлөөтэй байлгах явдал юм.
Үүний үр дүнд хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл хөгжихийн хэрээр улам боловсронгуй материал, процессыг эрэлхийлэх нь төгсгөлгүй гэж үздэг. Сайжруулсан хий нь удахгүй болох хагас дамжуулагч дэвшилтэд зайлшгүй шаардлагатай. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн өндөр технологийн эдгээр хийнүүдийн хэдхэн нь энд байна.
Фтор нүүрстөрөгч: Фторжуулсан хий нь хамгийн сүүлийн үеийн хэлхээний загвар гаргахад сайн байдаг шалтгаан нь сийлбэр (хэсэг арилгах) болон тунадас (хэсэг нэмэх) хоёуланд нь түрэмгий, сонгомол хариу үйлдэл үзүүлдэгтэй холбоотой юм.
CO2 - Цус цацах, CVD, цэвэрлэх зэрэг хэрэглээнд ашигладаг идэвхгүй хий.
Энэ нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн дэвшилтэт алхам гэж үзэх ёстой ч өнөөдөр шинэ дамжуулах системүүд боломжтой болсонтой холбоотой. Үйлдвэрлэгчид үр ашгийг дээшлүүлэх, хог хаягдлыг бууруулах, аюулгүй байдлыг нэмэгдүүлэх арга замыг үргэлж хайж байдаг. Одоо байгаа хамгийн сүүлийн үеийн дэвшилтэт хий, химийн нийлүүлэлтийн системийг доор жагсаасан болно.
Хийн дамжуулах систем (хагас дамжуулагчд шаардлагатай бага хэмжээний хий / шингэн химийн бодисыг нарийн хянадаг хийн хувьд)
Эх сурвалж: Хагас дамжуулагч материалаас бохирдлыг цэвэрлэх хамгийн үр дүнтэй аргуудын хувьд озоны плазм ба устөрөгчийн хэт исэл бүхий дэвшилтэт нойтон вафер цэвэрлэх систем.
Хагас дамжуулагч хий нь илүү үр дүнтэй электроникийн эрэлтийг нэмэгдүүлж, байгаль орчинд аюултай аюул занал учруулдаг. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн хүрээнд хог хаягдлыг бууруулах, хийг дахин боловсруулах зарим хөтөлбөрүүд байдаг. Энэ нь хагас дамжуулагч хийтэй холбоотой байгаль орчны түгшүүрийг арилгахын тулд үйлдвэрлэгчид хэрхэн ажиллаж байгаагаас ялгаатай биш юм;
Эхний бөгөөд хамгийн шууд нь Хог хаягдлыг бууруулах -> Үйлдвэрлэгчид хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн явцад гарч буй хог хаягдлын хэмжээг багасгахыг үргэлж эрэлхийлдэг. Хэрэглэсэн химийн бодис, хийн хэмжээг багасгах, боломжтой бол дахин боловсруулах эсвэл хаалттай систем бий болгох гэх мэт.
Хий, химийн бодисыг дахин боловсруулах нь байгаль орчны үр дагаврыг бууруулахад туслах бас нэг чухал арга юм. Үйлдвэрлэлийн явцад ашигласан хий, химийн бодисыг сэргээх, цэвэрлэх, дахин боловсруулах боломжийг олгодог үйлдвэрлэгчид хог хаягдлыг багасгахад хялбар байдаг.
Дүгнэлт: Хий нь хамгийн сайн электроникийг үйлдвэрлэхэд зайлшгүй шаардлагатай. Үйлдвэрлэгчид дэвшилтэт хийг хоёуланг нь сайжруулахын зэрэгцээ хамгийн оновчтой процесс, хог хаягдлыг бууруулах, иргэдийн аюулгүй байдлыг хангахад чиглэсэн нийлүүлэлтийн шийдлүүдийг сайжруулахад зориулагдсан. Хагас дамжуулагчийн салбар нь байгалийн хийн хэрэглээний замыг багасгах бөгөөд эдгээр хийн байгаль орчны ерөнхий ул мөр нь сүүлийн жилүүдэд тогтвортой байдлын олон кампанит ажил эхлүүлсэн.
AGEM нь хэрэглэгч бүр тусгай хийн салбарт өөр өөр зүйл, тухайлбал тохируулгын хий шаарддаг гэдгийг хүлээн зөвшөөрдөг. Бид үйлчлүүлэгчдийнхээ тусгай хэрэгцээнд нийцсэн шийдлүүдийг санал болгодог. Хэрэв танд тодорхой цэвэршилтийн хэмжээ, цилиндрийн хэмжээ эсвэл сав баглаа боодлын сонголт шаардлагатай бол AGEM нь бүтээгдэхүүнээ таны шаардлагад нийцүүлэн тохируулахын тулд тантай хамтран ажиллах боломжтой. Энэхүү тохируулгын түвшин нь таны хэрэглээнд тохирох хамгийн сайн тохируулгын хийн цилиндрийг авах бөгөөд энэ нь ерөнхий үр ашиг, гүйцэтгэлийг сайжруулах болно. AGEM-ийн бүтээгдэхүүний хүрээ нь тохируулгын хийгээр хязгаарлагдахгүй. AGEM-ийн каталогид нүүрсустөрөгчийн хий, галокарбон, химийн хий, ховор хий орно. AGEM нь таны шаардлагатай тодорхой төрлийн хийтэй гэдэгт итгэлтэй байж болно.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд ашигласан хий алдагдсан нь гол асуудал юм. Бид чанарыг баталгаажуулахын тулд дор хаяж таван удаа гоожсон эсэхийг шалгадаг. Манай компани нь хэрэглэгчдэд дээд зэргийн чанартай бүтээгдэхүүн, иж бүрэн үйлчилгээ үзүүлэхийн тулд үйлдвэрлэлийн болон туршилтын иж бүрэн шугам, чанарын хатуу хяналт, борлуулалтын дараах үйлчилгээний төгс системийг санал болгодог. Хэрэглэгчдэд маш сайн үйлчилгээ үзүүлэх, өндөр чанартай үйлчилгээ үзүүлэх бидний чин сэтгэл нь бидний бахархдаг зүйл юм. Манай чадварлаг хамт олон танд үргэлж тусалж, хамгийн сайн үйлчилгээг сэтгэл ханамжид хүргэхэд бэлэн байна. Манай 24/7 үйлчилгээ нь биднийг бусдаас ялгаруулдаг. Бид таны төлөө өдөржин, үргэлж хамт байдаг.
AGEM нь шингэн хүчилтөрөгч, аргон зэрэг хэт хөргөлттэй шингэн ба хийг хөргөх зориулалттай криоген цилиндрийг санал болгодог. Тэд мөн нүүрстөрөгчийн давхар исэл, азот, азотыг агуулж чаддаг. Бид хамгийн их гүйцэтгэлийг хангахын тулд импортын хавхлага, багаж хэрэгслийг ашигладаг. Хийн хэмнэлттэй төхөөрөмжийг ашиглах, хийн фазын орон зайд хэт даралтын хийг ашиглахад давуу эрх олгох. Давхар аюулгүйн хавхлага нь аюулгүй ажиллагааны баталгааг хангадаг. Бид маш хөргөлттэй, өдөр тутмын амьдралд хэрэглэгдэх шингэнийг багтаах боломжтой олон төрлийн криоген цилиндрийг санал болгож байна. Бүрэн хэмжээ: 80L/100L/175L/195L/210L/232L/410L/ 500л/1000л Ажлын даралт: 1.37МПа/2.3МПа/2.88МПа/3.45МПа Дотор савны дизайны температур : +196Бүрхний савны дизайны температур : 20oC+50oСтусгаарлалт: Олон давхаргат ороосон вакуум Хадгалах орчин: LO2, LN2, LArLCO2, LNG
AGEM нь Тайваньд 25 гаруй жил үйл ажиллагаагаа явуулж байна. Бид энэ чиглэлээр өргөн хүрээний R, D туршлагатай бөгөөд 6 өөр бүс нутагт тусгай, задгай, шалгалт тохируулгын хийн салбарт өвөрмөц туршлага санал болгож чадна. Тайвань - Каошюн хот (Төв байр, R, D төв) Энэтхэг - Мумбай, Вадодара, Коимбатор, Пуна, Бенгалуру, Дели Хятад - Вухан Ойрхи Дорнод - Дубай (АНЭУ) ба Саудын Арабын Вант Нэгдсэн Вант улс - Бидний санал болгож буй хийн Кембрижийн шийдлүүд нь Техникийн Зөвлөхөөс бүрдэнэ. Угсрах, ашиглалтад оруулах. Дээжийн туршилт. Сав баглаа боодол, тээвэрлэлт. Зурах дизайн. Үйлдвэрлэл.
AIR GAS ELECTRONIC MATERIALS (AGEM) нь дэлхийн 6 өөр бүс нутагт хийн төрөлжсөн, электроник, задгай болон тохируулгын чиглэлээр хосгүй туршлагатай, Тайваньд байрладаг хий үйлдвэрлэх, судалгаа шинжилгээний үйлдвэр юм.
2&3 өрөө, 10-р давхар, 1-р шат, Huazhong International Plaza, Zhuyeshan, Wuhan, Hubei, China
Зохиогчийн эрх © Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd. Хувийн мэдээллийн талаарх Баримтлал
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
Үгүй
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ