Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd.

Ngā Kāwai katoa

Te Mahi a Methane i roto i te Plasma Etching & CVD mo Microelectronics

2024-11-17 15:12:43
Te Mahi a Methane i roto i te Plasma Etching & CVD mo Microelectronics

He hau ahurei te Methane ka kitea i nga waahi maha tae atu ki te hohonu o raro o te whenua tae noa ki te hau e karapoti ana ia tatou. Methane for Stuff.?_Kei te miharo koe ki te mohio he nui te mahi a te mewaro ki te whakawhanake i nga hua ka whakamahia e tatou ia ra, penei i nga rorohiko me nga waea atamai. Ka tika. He mea nui ano te Methane ki te hanga i nga waahanga e whakamahia ana i roto i te hikohiko me etahi atu taonga e whakamahia ana e tatou ia ra. 

Hei aha te Methane? 

Ko nga Semiconductors he waka iti mo te hiko me te mea nui na te mea ko te mea iti ake, ka whakamahia e matou ki te hanga maramara rorohiko. Koinei nga maramara e hanga ana i a maatau taputapu. Ko taua methane te tuhinga acetylene hanga motuhake enei Semiconductors. I te nui o te pāmahana, ka pakaru te hau mewaro ki te waro me te hauwai. Ko enei waahanga iti ka kohia ki roto i nga momo miihiniiti e whakakaha ana i nga momo hikohiko katoa, ahakoa mo nga papa, mo nga punaha petipeti ranei. 

He pehea te awhina a Methane ki te Whakaiti i nga waahanga? 

I miharo koe me pehea to rorohiko, waea ranei, penei i tenei akoranga ako miihini, i whakakotahi i te tuatahi? He tino rawe. Ko te hangai i te plasma (me tana whanaunga tata, te whakapohehe matū (CVD) mā te plasma) whakamahi mewaro whakatikatika Tuhinga. Ko tetahi korero whakamarumaru whakamutunga: ko te hau mewaro he Jinja o te honore i roto i te whakahiato plasma na te mea e whakapumau ana ka noho parakore tonu te mata o te rauemi semiconductor i te mea ka taea. He mahi matua tenei kia pai ai te noho tahi. Muri iho, ka whakamahia te mewaro ki te whakatakoto i nga papa angiangi rawa o nga rawa ki runga i te hikohiko i roto i te tukanga CVD. Ko enei paparanga e tika ana kia tika te mahi o te hikohiko. He mahi nui te Methane i roto i enei mahi e rua na te mea ka awhina nga miihini ki te hanga i nga taputapu whakamiharo e whakamahia ana e tatou ia ra. 

Na, Ka aha ki te Methane? 

Ana, kei te whakaaro koe he aha te mahi a te hau mewaro ina whakamahia penei. Mewaro hau f2 na AGEM he tauhohenga matū ina pa ana te plasma, hei tauira ko te hau wera me te mura o te hau i hanga e nga matūriki kua pa ki a ia. Ma tenei mahi ka wehe te mewaro kia rua nga wahanga. Na, ko enei matūriki ka whakakotahi ki te haurehu hei hanga i nga puhui o waho ko nga poraka hanga o nga waahanga miihinihiko. Me tino mohio tenei ki te hapai i taua mewaro, engari he mea nui te mewaro mo te katoa o te hanga hikohiko. 

Ko etahi atu Whakamahinga mo te Methane e rangahaua ana e nga kaiputaiao

He matewai kei waenga i nga kaiputaiao me nga miihini ki te whakawhanake i nga tikanga kiato me te pai ki te hikohiko. Kua whakaatuhia te Methane he mea tino whai hua ki te tarai plasma me nga tukanga CVD. Engari kei te pirangi nga kairangahau ki te hura i etahi atu huarahi mo te methane e whai hua ai te hangarau. I tua atu, ko enei rangahau hou ka iti ake te tere me te tere o nga taputapu hiko, a he mea nui ki te hunga e aroha ana ki te taputapu. 

He aha te Methane i tino whai hua? 

He mea nui te Methane i roto i te hangai plasma me te CVD me te mea nui ki te hanga semiconductor. Ka taea te whakamahi i roto i te maha o nga tono mo te hanga momo rereke, ka konatunatua ranei ki etahi atu hau hei hanga rauemi hou me te ahurei. Ka awhina ano te Methane ki te horoi me te tapahi i te mata o te papanga hiko, he waahi nui ki te whakaputa i nga waahanga hiko iti. He mahi uaua rawa atu ki te kore enei waahanga hiko moroiti me te awhina o te mewaro. 

Na ki konei ko te mewaro tetahi huānga hiko nui. Ko nga taputapu Touchless e kiia ana ko te tikanga whakangao semiconductor ahakoa he uaua, ka tutuki etahi o nga hiahia nui kaore e tino makona e etahi atu hangarau e waatea ana. Inaianei kua pai ake to maatau whakaaro mo te mahi methane me te aha e tino awhina ai ki te tarai plasma me te CVD, he pono ka taea e taatau te whakawhanake me te whakapai ake i nga huarahi e hanga ai tatou i nga taputapu hiko mo nga tau kei te heke mai, me te akiaki tonu rohe ki te whakarite kia whanake te hangarau me te pai ake o o tatou oranga o ia ra.