Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd.

Ko te C3F8 he hau ahurei e whakaatu ana i nga waahanga maha o te whakahiato me te mahi o nga rawa auaha. I roto i nga wheketere he tino painga tenei hau na te mea ka taea te whakamahi hei whakatere i te karaehe me te penapena moni. Ka kite tatou i te C3F8 e whakamahia ana i roto i tetahi mahi e kiia nei ko te plasma etching i roto i tenei tuhinga. Kounga AGEM ka timata nga hua ki tetahi tukanga, a ka whakaatu matou me pehea te uru o C3F8 ki te whakaputa hua kounga.

C3F8: Te Whakanuia te Whakapaipai Plasma

Ko te tarai plasma he tikanga e whakamahia ana e nga wheketere ki te hanga hua hou. He mahi nui ki te whakarite kia tika te whakaputanga o nga taonga me nga paerewa teitei. Na te C3F8, he tere ake, he ngawari ake hoki te tukanga tarai plasma. Ko te C3F8 tetahi o nga hau iti ka taea te whakamahi i nga wheketere, a he tere ake. I etahi atu kupu, ka tere ake te mahi a nga wheketere me te maha ake o nga taonga i roto i te wa poto - he pai mo te ohanga me te hua.

I tua atu i te whakaiti i te wa i tangohia, C3F8 Taputapu hau ka awhina ano hoki ki te whakapai ake i te tika o te mahi tarai. He mea nui tenei na te mea, ka mahia e nga wheketere nga hua mo ratou, ka whakarite kia kapi katoa nga korero katoa. Ma tenei mahinga hou i roto i te mahi tarai ka pai ake nga hua. Ka whakatauritea ki te C3F8, ka tere ake te mahi o te tuhi ki te C3F8 ka taea e nga wheketere te whakatutuki i nga tono me te whakarite i te kounga.

Te whakatutuki i nga mahi riterite me te hau C3F8

Ko te whakatutuki i nga hua pai ka taea te whakahoki ano te mea nui ki te tarai plasma. Mai i nga mea iti penei i te whakarite kia mahia nga hua katoa ki nga take nui ake, me whai kiko nga wheketere ina tae mai ki a raatau hua. Heoi, ka whakamahia te hau C3F8 hei pupuri i te pumau me te riterite o nga hua. Ma te C3F8 he iti ake te matapōkeretanga me te pumau tonu nga hua ka taea te whakatutuki me te pai ake o te whakahaere.

Ko nga wheketere e kaha ki te whakahaere i nga mahi tarai ka oati ko nga hua katoa ka mahia e ratou he mea kounga teitei. Ka taea e nga kaihoko te mohio kei te whiwhi ratou i nga hua e tutuki ana ki o raatau whakaritenga. Ka taea hoki e C3F8 nga kaihanga ki te hanga i nga taonga kounga teitei me te ataahua.

Ka awhina i te Taiao me nga Kaimahi

Ko nga painga o te hau C3F8 e whakamahia ana hei whakapai ake i te mahi tarai plasma ehara i te mea iti noa ki te tarai plasma, engari ano etahi atu e pai ana mo te katoa. Ko te painga e tino kitea ana ko te hau C3F8 he tino pai rawa atu i te nuinga o nga hau e whakamahia ana i roto i te umanga. Ko te C3F8 he kore paitini, ara, kare e kino te paparanga ozone e ora ai to tatou whenua. No reira he mea kaakaaka ake.

Ko te whakamahi i te C3F8 ehara i te mea he kino noa te taiao, he whakatairanga hoki i te oranga o nga kaimahi wheketere e mahi ana i nga miihini miihini plasma. Na te mea he hau haumaru a C3F8 hei hapai me te manawa. No te mea C3F8 He Whakanoho Pouaka karekau ia e tono etahi taputapu haumaru hei mau ma nga kaimahi i te wa e whakamahia ana, ka whakamaarama me te whakanui i te whakamarie o nga kaimahi i te mahi. Ka noho tuatahi te haumaru; he nekehanga e whai hua ana mo nga tikanga mahi i waenga i nga tangata katoa e whai waahi ana.

Tiaki Moni me te C3F8 Gas

I runga ake i tera, ka taea e te hau C3F8 te penapena utu mo nga wheketere. He mea nui tenei na te mea kei te hiahia nga wheketere katoa ki te rapu huarahi e taea ai e ratou te whakahaere i o raatau wheketere i runga i te pai ake me te utu iti. He pai ake i te maha atu o nga hau me te C3F8 ka roa ake. Ko te tikanga tenei ka taea e nga wheketere te hanga mo te utu iti me te pupuri i te taumata o te kounga.

Ma tenei ka heke iho nga utu tiaki me te C3F8. Ina mahi tika nga miihini, ka iti ake te whakatikatika me te tiaki. Ko te mahi i tenei ehara i te mea ka whakaiti noa i nga utu putea engari ka whakamanahia nga wheketere ki te tarai tonu i nga hua kaore he raru. I te katoa, ko nga penapena i mahia ma te C3F8 ka tino nui, na reira ka waiho hei whiringa pai mo nga wheketere.

C3F8 kua arotauhia mo nga reiti etch mana:

Ko te tika te tirohanga tuatahi mo te hanga. Ka tae mai ki tera taumata o te tino tika, he tino utu nui te hau C3F8. Ma te C3F8 ka taea e nga wheketere te tarai i nga rawa me te tika na ona ahuatanga motuhake. Na, ka taea e nga wheketere te whakaputa hua ma me te kore he he, he hapa ranei.

Koinei hoki te kaha o nga wheketere ki te whakaputa i nga waahanga iti me te uaua ake na te tika o te tuku C3F8 me nga whakaritenga iti ake mo taua mea. Inaa, ka hiahiatia i roto i nga waahanga maha atu i mua i te mea ka kaha ake nga hua me te uaua. Ka whakawhiwhia e C3F8 ki nga wheketere nga huarahi e tika ana kia mau tonu ki nga mahi hanga hou me te whakapumau kei te makona o raatau kaihoko.

Ko te hau C3F8 he matū matua hei whakaputa i te kounga teitei taiaho hau hua i roto i te wheketere, A ko nga rauemi matua mo nga hua pai. Ka whai waahi ki te whaihua, te pumau me te pai o te taiao i roto i te punaha etching plasma. Ko AGEM to kaiwhakarato mo te hau C3F8 ka tino whakarite maatau ka whiwhi nga wheketere i nga hua kounga. E whakapono ana matou ka taea e nga wheketere te whakatutuki pai ake i o raatau whaainga whakaputa me te whakaputa hua pai ake me te maia ake ma te whakamahi hau C3F8.