ບໍລິສັດ Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd.

ໜ້າທີ 1: ການຝັງຕົວໃນ Plasma ແມ່ນຫຍັງ? 

Hey guys, ສະນັ້ນທ່ານເຄີຍໄດ້ຍິນຂອງສິ່ງທີ່ເອີ້ນວ່າ etching plasma? Plasma etching ແມ່ນຂະບວນການທີ່ພວກເຮົາໃຊ້ເພື່ອຜະລິດເອເລັກໂຕຣນິກເຊັ່ນຊິບຄອມພິວເຕີທີ່ພົບເຫັນຢູ່ໃນແທັບເລັດແລະອຸປະກອນມືຖື. ການນໍາໃຊ້ວິທີການທີ່ເອີ້ນວ່າ lithography, ການອອກແບບຂະຫນາດນ້ອຍຫຼືຮູບແບບຕ່າງໆໄດ້ຖືກແກະສະຫຼັກໃສ່ວັດສະດຸ - ເປັນຂັ້ນຕອນສໍາຄັນໃນການພັດທະນາອຸປະກອນເຫຼົ່ານີ້. ການຂຸດເຈາະນີ້ຕ້ອງການອາຍແກັສສະເພາະທີ່ສາມາດປະຕິສໍາພັນທາງເຄມີກັບວັດສະດຸທີ່ພວກເຮົາກໍາລັງໃຊ້. ອາຍແກັສທີ່ພວກເຮົາໃຊ້ຫຼາຍທີ່ສຸດໃນເວລາທີ່ເຮັດຂະບວນການນີ້ເອີ້ນວ່າ C3F8. 

C3F8 ເປັນອາຍແກັສທີ່ຫນ້າຕື່ນເຕັ້ນເພາະວ່າມັນ reacts ໄວຫຼາຍກັບສານທີ່ພວກເຮົາຕ້ອງການທີ່ຈະ etch. ນັ້ນຫມາຍຄວາມວ່າມັນເລັ່ງການ etching ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍກ່ວາການນໍາໃຊ້ອາຍແກັສອື່ນໆ. ຖ້າພວກເຮົາດໍາເນີນການກັບ C3F8, ພວກເຮົາໄດ້ຮັບການອອກແບບທີ່ສະອາດແລະຖືກຕ້ອງທີ່ສຸດ. ຄວາມແມ່ນຍໍານີ້ມາເປັນປະໂຫຍດແທ້ໆໃນການຜະລິດຊິບຂອງຄອມພິວເຕີ, ແລະອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກອື່ນໆທີ່ຕ້ອງການປະຕິບັດວຽກງານຢ່າງຖືກຕ້ອງ. 

C3F8: ປັບປຸງປະສິດທິພາບການຕົບແຕ່ງ 

ໃນສະພາບການນີ້, C3F8 ເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນອາຍແກັສຊ່ວຍເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງ etching. C3F8 ມີບົດບາດໃນການປ້ອງກັນ plasma ອາຍແກັສຈາກການຕິດຕໍ່ກັບຝາຫ້ອງ etching. ສິ່ງທີ່ເປັນ, plasma ການສໍາຜັດກັບຝາສາມາດເພີ່ມເວລາຂອງການ etching ເຖິງເລັກນ້ອຍ. ເມື່ອ C3F8 ຖືກ ນຳ ໃຊ້, ມັນຊີ້ ນຳ plasma ຢ່າງຖືກຕ້ອງກັບສິ່ງທີ່ຕ້ອງຖືກຝັງ. ນີ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຈະເລັ່ງແລະກ້ຽງຂະບວນການທັງຫມົດ. 

C3F8 ຍັງມີຜົນປະໂຫຍດເພີ່ມເຕີມຂອງຄວາມຫມັ້ນຄົງທີ່ດີເລີດ. ນີ້ແປວ່າຄວາມທົນທານ, ແລະມັນຈະຖືຄຸນສົມບັດ insulating ຂອງຕົນສໍາລັບເວລາຫຼາຍປີ. ດັ່ງນັ້ນ, ການນໍາໃຊ້ C3F8 ຈະບໍ່ພຽງແຕ່ເລັ່ງການ etching, ແຕ່ຍັງອະນຸຍາດໃຫ້ຮັກສາຄຸນນະພາບ homogeneous. 

[[STIR] Surface Functionalization Page 3: CH4 Application of C3F8 ການສ້າງຊິບຄອມພິວເຕີຂະໜາດນ້ອຍ 

ເຈົ້າເຄີຍຄິດບໍວ່າເຂົາເຈົ້າຜະລິດຊິບຄອມພິວເຕີຂະໜາດນ້ອຍແນວໃດ? ນັ້ນຫມາຍຄວາມວ່າການແຕ້ມຮູບກ້ອນຫີນ - ຂະຫນາດນ້ອຍຫຼາຍ - ໃນຊິລິໂຄນຊິບ. ຊິລິໂຄນນີ້ແມ່ນວັດສະດຸເອເລັກໂຕຣນິກຫຼັກ. C3F8 ແມ່ນມີຄຸນຄ່າທີ່ສຸດສໍາລັບຂະບວນການນີ້ເພາະວ່າມັນສາມາດບັນລຸຮອຍແຕກແຫຼມແລະສະອາດຫຼາຍ. ມັນສໍາຄັນ, ເພາະວ່າຊິບຄອມພິວເຕີຕ້ອງມີຮູບແບບທີ່ເຫມາະສົມເພື່ອໃຫ້ມັນເຮັດວຽກຢ່າງຖືກຕ້ອງ. 

ເນື່ອງຈາກວ່າ C3F8, ຜູ້ຜະລິດສາມາດສ້າງຮູບແບບຂະຫນາດນ້ອຍເຫຼົ່ານີ້ໃນທາງທີ່ຖືກຕ້ອງແລະສາມາດແຜ່ພັນໄດ້. ຊຶ່ງຫມາຍຄວາມວ່າທຸກຊິບສາມາດເຮັດວຽກໄດ້ຕາມປົກກະຕິ. C3F8 ຍັງເປັນເຄື່ອງປັ້ນດິນເຜົາທີ່ມີຄວາມຫລາກຫລາຍ, ເພາະວ່າມັນສາມາດແກະສະຫຼັກວັດສະດຸທີ່ແຕກຕ່າງກັນຫຼາຍ. ນີ້ເຮັດໃຫ້ຜູ້ຜະລິດສາມາດຜະລິດລາຍການເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ຫລາກຫລາຍພ້ອມກັບໂທລະສັບສະຫຼາດແລະແທັບເລັດ. 

C3F8 – ອາຍແກັສທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການໂດດດ່ຽວ 

ໃນເວລາທີ່ມັນມາກັບຕັນອາຍແກັສ, C3F8 ບໍ່ພຽງແຕ່ປະສິດທິພາບ, ແຕ່ຍັງເປັນທາງເລືອກທີ່ດີ. ເນື່ອງຈາກວ່າມັນມີຄວາມຫມັ້ນຄົງສູງໃນທໍາມະຊາດແລະສາມາດນໍາໃຊ້ຊ້ໍາກັນ, ມັນຍັງເປັນການແກ້ໄຂລາຄາຖືກຫຼາຍ. ນີ້ຫມາຍຄວາມວ່າຜູ້ຜະລິດຈໍາເປັນຕ້ອງຊື້ C3F8 ຫນ້ອຍລົງແທນທີ່ຈະຊື້ອາຍແກັສທີ່ມີລາຄາແພງກວ່າ. ນີ້ອະນຸຍາດໃຫ້ບໍລິສັດຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຮັກສາໄວ້ໃນຂະນະທີ່ບັນລຸຜົນໄດ້ຮັບທີ່ດີທີ່ສຸດດ້ວຍ C3F8 ທີ່ບັນທຶກໄວ້. 

ນອກຈາກນັ້ນ, C3F8 ແມ່ນເປັນມິດກັບສິ່ງແວດລ້ອມທີ່ສຸດ. ນີ້​ບໍ່​ແມ່ນ​ຂ່າວ​ດີ​ເລີຍ​ສຳລັບ​ສະພາບ​ໂລກ​ຮ້ອນ​ທີ່​ເປັນ​ບັນຫາ​ທີ່​ໜ້າ​ວິຕົກ​ກັງວົນ​ທີ່​ສຸດ​ໃນ​ໂລກ​ປະຈຸ​ບັນ. C3F8 ມີຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ແຕກຕ່າງຈາກອາຍແກັສອື່ນໆສ່ວນໃຫຍ່ທີ່ມັນບໍ່ປ່ອຍສານເຄມີທີ່ເປັນພິດອອກສູ່ອາກາດ. ນັ້ນເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບຜູ້ຜະລິດທີ່ຮັບຜິດຊອບທີ່ຕ້ອງການສີຂຽວໃນຂະນະທີ່ການຜະລິດຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຂົາ. 

C3F8 ເຮັດໄດ້ດີກວ່າ ແລະໄວຂຶ້ນ 

ແທ້ຈິງແລ້ວ, C3F8 ແມ່ນອາຍແກັສ etching ທີ່ສົມບູນແບບເນື່ອງຈາກວ່າມັນເຮັດໃຫ້ຂະບວນການໄວແລະຊັດເຈນຫຼາຍສໍາລັບວັດສະດຸຈໍານວນຫຼາຍ. ນີ້ແປວ່າເວລາໄວກວ່າສໍາລັບຜູ້ຜະລິດເພື່ອສ້າງອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກຫຼາຍອັນ. ດ້ວຍ C3F8, ພວກເຂົາຍັງສາມາດປະຫຍັດເງິນໃນຂະນະທີ່ມີຄວາມຍືນຍົງເຊັ່ນກັນ.