ບໍລິສັດ Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd.

ທຸກຫມວດຫມູ່

ບົດບາດຂອງ Methane ໃນ Plasma Etching & CVD ສໍາລັບ Microelectronics

2024-11-17 15:12:43
ບົດບາດຂອງ Methane ໃນ Plasma Etching & CVD ສໍາລັບ Microelectronics

Methane ເປັນອາຍແກັສທີ່ເປັນເອກະລັກທີ່ສາມາດພົບເຫັນຢູ່ໃນຫຼາຍບ່ອນລວມທັງເລິກໃຕ້ດິນແລະແມ້ແຕ່ຢູ່ໃນອາກາດອ້ອມຂ້າງພວກເຮົາແຕ່ລະຄົນ. Methane for Stuff.?_ເຈົ້າອາດຈະປະຫລາດໃຈທີ່ຮູ້ວ່າມີເທນມີບົດບາດອັນໃຫຍ່ຫຼວງໃນການພັດທະນາຜະລິດຕະພັນທີ່ພວກເຮົາໃຊ້ທຸກໆມື້ເຊັ່ນ: ຄອມພິວເຕີ ແລະໂທລະສັບສະມາດໂຟນ. ຖືກຕ້ອງ. Methane ຍັງມີຄວາມສໍາຄັນໃນການຜະລິດອົງປະກອບທີ່ໃຊ້ໃນເອເລັກໂຕຣນິກແລະລາຍການອື່ນໆທີ່ພວກເຮົາໃຊ້ປະຈໍາວັນ. 

ເມທານໃຊ້ເພື່ອຫຍັງ? 

Semiconductors ແມ່ນຍານພາຫະນະພຽງເລັກນ້ອຍສໍາລັບໄຟຟ້າແລະພວກມັນມີຄວາມສໍາຄັນໂດຍສະເພາະເພາະວ່າສິ່ງທີ່ຍັງນ້ອຍກວ່າ, ທີ່ພວກເຮົາໃຊ້ເພື່ອສ້າງຊິບຄອມພິວເຕີ. ເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນຊິບທີ່ສ້າງອຸປະກອນຂອງພວກເຮົາເຮັດວຽກ. ບົດຄວາມແມ່ນ methane ນັ້ນ acetylene ເຮັດໃຫ້ semiconductors ເຫຼົ່ານີ້ພິເສດ. ໃນອຸນຫະພູມສູງດັ່ງກ່າວ, ອາຍແກັສ methane ແຍກອອກເປັນຄາບອນແລະ hydrogen. ຫຼັງຈາກນັ້ນ, ຕ່ອນນ້ອຍເຫຼົ່ານີ້ໄດ້ຖືກປະກອບເຂົ້າໄປໃນ microchips ຕ່າງໆທີ່ມີພະລັງງານໄຟຟ້າທຸກປະເພດ, ບໍ່ວ່າຈະເປັນແທັບເລັດຫຼືແມ້ກະທັ້ງລະບົບເກມ. 

Methane ຊ່ວຍແນວໃດໃນການຍ່ອຍສະຫຼາຍຂອງຊິ້ນສ່ວນ? 

ເຈົ້າເຄີຍສົງໄສບໍ່ວ່າຄອມພິວເຕີ ຫຼື ໂທລະສັບຂອງເຈົ້າເຊັ່ນເຄື່ອງສອນການຮຽນຮູ້ເຄື່ອງຈັກນີ້ມາຮ່ວມກັນແນວໃດໃນຕອນທຳອິດ? ມັນ ໜ້າ ສົນໃຈຫຼາຍ. plasma etching (ແລະພີ່ນ້ອງໃກ້ຊິດຂອງມັນ, ການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD) ຜ່ານ plasma) ໃຊ້ methane calibration ກ໊າຊ. ບັນທຶກການປ້ອງກັນສຸດທ້າຍຫນຶ່ງ: ອາຍແກັສ methane ແມ່ນ Jinja ຂອງກຽດສັກສີໃນ plasma etching ເນື່ອງຈາກວ່າມັນຮັບປະກັນວ່າຫນ້າດິນຂອງວັດສະດຸ semiconductor ຍັງຄົງບໍລິສຸດເທົ່າທີ່ເປັນໄປໄດ້. ນີ້​ແມ່ນ​ຂັ້ນ​ຕອນ​ທີ່​ສໍາ​ຄັນ​ເພື່ອ​ໃຫ້​ແນ່​ໃຈວ່​າ​ການ​ເຫມາະ​ສົມ​ບູນ​ແບບ​ຮ່ວມ​ກັນ​. ຕໍ່ໄປ, methane ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຝາກຊັ້ນບາງໆຂອງວັດສະດຸໄວ້ເທິງ semiconductor ໃນຂະບວນການ CVD. ຊັ້ນດັ່ງກ່າວເປັນສິ່ງຈໍາເປັນເພື່ອຮັບປະກັນວ່າເຄື່ອງເອເລັກໂຕຣນິກເຮັດວຽກຢ່າງຖືກຕ້ອງ. Methane ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນທັງສອງຂະບວນການນີ້ຍ້ອນວ່າມັນຊ່ວຍໃຫ້ວິສະວະກອນສ້າງເຄື່ອງມືທີ່ບໍ່ຫນ້າເຊື່ອທີ່ພວກເຮົາໃຊ້ທຸກໆມື້. 

ດັ່ງນັ້ນ, ມີຫຍັງເກີດຂື້ນກັບ Methane? 

ດີ, ເຈົ້າອາດຈະສົງໄສວ່າອາຍແກັສ methane ເຮັດຫຍັງແທ້ໆເມື່ອມັນຖືກ ນຳ ໃຊ້ໃນທາງນີ້. ເມເທນ ອາຍແກັສ f2 ໂດຍ AGEM ໃຊ້ປະຕິກິລິຍາເຄມີເມື່ອ plasma, ເວົ້າຕົວຢ່າງວ່າອາຍແກັສຮ້ອນແລະເຫຼື້ອມທີ່ເກີດຈາກອະນຸພາກທີ່ມີຄ່າສໍາຜັດກັບມັນ. ຂະບວນການນີ້ແຍກ methane ອອກເປັນສອງຕ່ອນ. ຫຼັງຈາກນັ້ນ, ອະນຸພາກເຫຼົ່ານີ້ໂລຫະປະສົມກັບທາດອາຍຜິດເພື່ອປະກອບເປັນທາດປະສົມ exotic ທີ່ເປັນຕົວສ້າງຂອງອົງປະກອບຂອງ microelectronics. ອັນນີ້ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຄວາມລະອຽດຫຼາຍເພື່ອຈັດການກັບ methane ດັ່ງກ່າວ, ແຕ່ methane ແມ່ນລັກສະນະທີ່ສໍາຄັນຫຼາຍຂອງການຜະລິດເອເລັກໂຕຣນິກທັງຫມົດ. 

ການນໍາໃຊ້ອື່ນໆສໍາລັບ methane ຖືກຄົ້ນຄວ້າໂດຍນັກວິທະຍາສາດ

ມີຄວາມຫິວໂຫຍໃນບັນດານັກວິທະຍາສາດແລະວິສະວະກອນສໍາລັບການພັດທະນາວິທີການທີ່ຫນາແຫນ້ນແລະປະສິດທິພາບໃນເອເລັກໂຕຣນິກ. Methane ໄດ້ຖືກສະແດງໃຫ້ເຫັນເປັນອຸປະກອນທີ່ເປັນປະໂຫຍດຫຼາຍໃນຂະບວນການ etching plasma ແລະ CVD. ແຕ່ນັກຄົ້ນຄວ້າມີຄວາມກະຕືລືລົ້ນທີ່ຈະຄົ້ນພົບຊ່ອງທາງເພີ່ມເຕີມສໍາລັບ methane ຈາກເຕັກໂນໂລຢີທີ່ມີປະໂຫຍດ. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ການຄົ້ນຄວ້າໃຫມ່ເຫຼົ່ານີ້ໃນທີ່ສຸດອາດຈະເຮັດໃຫ້ອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກມີຂະຫນາດນ້ອຍກວ່າແລະໄວກວ່າແລະຫມາຍຄວາມວ່າທຸກສິ່ງທຸກຢ່າງສໍາລັບຜູ້ຮັກ gadget ໃດ. 

ເປັນຫຍັງ methane ຈຶ່ງມີປະໂຫຍດຫຼາຍ? 

methane ມີຄວາມສໍາຄັນຫຼາຍໃນທັງສອງ plasma etching ແລະ CVD ແລະມີຄວາມຈໍາເປັນໃນການຜະລິດ semiconductor. ນີ້ສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ໃນຈໍານວນຫລາຍຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກສໍາລັບການຜະລິດຂອງປະເພດຕ່າງໆ, ຫຼືປະສົມກັບອາຍແກັສອື່ນໆເພື່ອເຮັດໃຫ້ວັດສະດຸໃຫມ່ແລະເປັນເອກະລັກ. Methane ຍັງຊ່ວຍຟອກແລະຕັດພື້ນຜິວຂອງວັດສະດຸ semiconductor, ເປັນຂັ້ນຕອນທີ່ສໍາຄັນໃນການຜະລິດອົງປະກອບເອເລັກໂຕຣນິກຂະຫນາດນ້ອຍ. ນີ້ຈະເປັນຂະບວນການທີ່ຍາກກວ່າຖ້າບໍ່ມີອົງປະກອບເອເລັກໂຕຣນິກຈຸນລະພາກທີ່ມີການຊ່ວຍເຫຼືອຂອງ methane. 

ດັ່ງນັ້ນມາຮອດນີ້ methane ແມ່ນອົງປະກອບເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ສໍາຄັນ. ເຄື່ອງມື Touchless ຍ້ອນວ່າພວກເຂົາຖືກເອີ້ນເປັນຂະບວນການເງິນຝາກ semiconductor ເຊິ່ງເຖິງແມ່ນວ່າຂ້ອນຂ້າງບໍ່ສັບສົນ, ຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ສໍາຄັນບາງຢ່າງທີ່ບໍ່ພໍໃຈກັບເຕັກໂນໂລຢີອື່ນໆທີ່ມີຢູ່. ດຽວນີ້ພວກເຮົາມີຄວາມຄິດທີ່ດີກວ່າວ່າ methane ເຮັດວຽກແນວໃດແລະເປັນຫຍັງມັນອາດຈະເປັນປະໂຫຍດຫຼາຍໃນ plasma etching ແລະ CVD, ພວກເຮົາແນ່ນອນສາມາດສືບຕໍ່ພັດທະນາແລະປັບປຸງວິທີການທີ່ພວກເຮົາສ້າງອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ກ້າວຫນ້າສໍາລັບປີຂ້າງຫນ້າ, ສະເຫມີຊຸກຍູ້. ຂອບເຂດເພື່ອຮັບປະກັນວ່າເຕັກໂນໂລຊີພັດທະນາແລະເຮັດໃຫ້ຊີວິດປະຈໍາວັນຂອງພວກເຮົາສະດວກສະບາຍ.