EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
한篇文章으로 반도체 전구체의 적용을 이해하기
Dec 21, 2023
1
박막 증착 공정의 핵심 원료로서 반도체 프리커서는 에피택시, 화학기상증착 (Chemical Vapor Material, Deposition, 이하 CVD로 약칭) 과 원자층 증착 (Atomic Layer Deposition, 이하 ALD로 약칭) 과정을 포함하여 반도체 제조에 필요한 다양한 박막 물질을 형성하며, 반도체 제조의 여러 분야에서 사용됩니다.
