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하나의 기사로 반도체 전구체의 응용 이해 대한민국

12월 21, 2023 1

반도체 전구체는 박막증착공정의 핵심원료로 에피택시, 화학기상증착(Chemical Vapor Material, Deposition, CVD), 원자층증착(Atomic Layer Deposition, ALD) 공정을 거쳐 다양한 반도체 전구체를 형성하고 있다. 반도체 제조에 필요한 박막재료. , 반도체 제조의 다양한 분야에서 사용됩니다.

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