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C5F8

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반도체 99.999N C4F5 가스용 고순도 8% 옥타플루오로사이클로펜텐
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C5F8 옥타플루오로사이클로펜텐 가스


특히 가장 작은 기하학적 특징(예: 상호 연결 라인, 접점, 트렌치 등의 폭)의 크기 및 선택적 에칭을 위해 반도체 장치 제조의 에칭 프로세스에 널리 사용됩니다.
 
 

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