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C5F8

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고순도 99.999% 옥타플루오로사이클로펜텐 반도체용 4N C5F8 가스
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C5F8 옥타플루오로사이클로펜텐 가스


반도체 장치 제조의 식각 공정에 널리 사용되며, 특히 가장 작은 기하학적 특징(인터커넥트 라인의 폭, 접촉부, 트렌치 등)의 크기와 선택적 식각에 적합합니다
 
 

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