고순도 99.999% C116 헥사플루오로에탄 C2F6 가스
패키지 크기 | 40리터 용기 | 500리터 용기 |
충전량/용기 | 42KGS | 520Kgs |
20'컨테이너에 적재된 수량 | 170 개 | 15 개 |
총 용량 | 7.14톤 | 7.8톤 |
헥사플루오로에탄용 밸브 | QF-2 |
- 개요
- 문의
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99.999% 고순도 C116 Hexafluoroethane C2F6 가스는 최고급 제품으로, 업계의 가장 높은 기준을 충족하기 위해 매우 신중하게 제작되었습니다. 이 탁월한 순도의 가스는 성능과 안전성을 저해할 수 있는 불순물이나 오염 물질이 없습니다.
99.999% 고순도 C116 Hexafluoroethane C2F6 가스의 주요 특징 중 하나는 뛰어난 안정성입니다. 이 가스는 다양한 조건과 압력에서 속성을 유지하므로 정확성과 정밀성이 중요한 까다로운 응용 분야에서 다른 가스에 비해 우수하게 사용될 수 있습니다.
이 가솔린은 안전성과 순도 측면에서 매우 다재다능합니다. 다양한 용도로 사용될 수 있으며, 냉매, 용제, 추진제로도 사용될 수 있습니다. 그 고유한 특성들로 인해 반도체 산업에서 특히 적합하며, 전자 기기와 마이크로칩 제조에 널리 사용됩니다.
이 제품의 주요 특징 중 하나는 환경에 미치는 영향이 최소화되어 다른 가스들과 비교했을 때 더 친환경적이라는 점입니다. 이는 많은 용도에 적합한 덜 독성 물질을 포함하고 있다는 것을 의미합니다.
만족과 신뢰성에 대해 AGEM은 단순히 업계에서 신뢰받는 명칭일 뿐입니다. 우리는 제품과 서비스가 최고 수준의 품질과 안전성을 충족하도록 매우 주의 깊게 관리합니다. 이것이 우리가 최신 기술과 장비를 사용하여 최첨단 시설에서 가스를 생산하는 이유입니다. 우리의 우수성에 대한 헌신은 당신이 99.999% 고순도 C116 Hexafluoroethane C2F6 가스가 원하는 만족과 표준을 제공할 수 있다는 것을 믿게 합니다.
알코올에는 약간 용해됩니다. 이는 매우 강력하고 오래 지속되는 온실가스입니다.
물리적 특성[편집]
Hexafluoroethane의 고체상에는 두 가지 다형체가 있습니다. 과학 문헌에서는 서로 다른 상전이 온도가 보고되었습니다.
최근 연구에서는 이를 103 K (−170 °C)로 지정했습니다. 103 K 이하에서는 약간 무질서한 구조를 가지고 있으며, 전이점 이상에서는
점, 체심입방 구조를 가지고 있습니다.[1] 임계점은 19.89 °C (293.04 K)와 30.39 바입니다.[2]
밀도 표:
상태, 온도밀도 (kg.m−3)액체, −78.2 °C16.08가스, −78.2 °C8.86가스, 15 °C5.84가스, 20.1 °C5.716가스, 24 °C5.734증기
밀도는 4.823 (공기 = 1), 21 °C에서의 비중은 4.773 (공기 = 1)이고, 21 °C에서의 특정 부피는 0.1748 m3/kg입니다.
용도[편집]
헥사플루오로에탄은 반도체 제조에서 다목적 에칭제로 사용됩니다. 금속과 그 기판 사이에서 실리사이드와 산화물을 선택적으로 에칭할 수 있으며, 실리콘 이산화물 위의 실리콘을 에칭하는 데에도 사용됩니다.
주 알루미늄과
반도체 제조 업계는 헥사플루오로에탄을 홀-헤롤트 공정을 통해 주요 배출원입니다.
트리플루오로메탄과 함께 냉매 R508A (61%) 및 R508B (54%)에 사용됩니다.
이는 유리체 망막 수술 후 망막 재부착을 돕기 위한 탐폰으로 사용됩니다.[3]
환경 영향[편집]
다양한 위도에서의 헥사플루오로에탄 시계열.
C-F 결합의 높은 에너지 때문에, 헥사플루오로에탄은 거의 반응하지 않으며 매우 안정한 온실가스로 작용하며, 그 대기 중
잔류 시간은 10,000년입니다 (다른 자료들: 500년).[4] 이는 지구 온난화 잠재력 (GWP)이 9200이고 오존
파괴 잠재력 (ODP)이 0임을 의미합니다. 헥사플루오로에탄은 IPCC의 온실가스 목록에 포함되어 있습니다.
헥사플루오로에탄은 산업 규모의 제조 이전에는 환경에 유의미한 양으로 존재하지 않았습니다. 대기 중
헥사플루오로에탄의 농도는 21세기 초반에 3 pptv에 도달했습니다.[5] 적외선 스펙트럼에서의 흡수 대역은 약 0.001 W/m2의
복사 강제력을 발생시킵니다.
건강 위험[편집]
그 높은 상대 밀도 때문에 저지대에 집중되며, 높은 농도에서는 질식을 일으킬 수 있습니다. 다른
건강 영향은 테트라플루오로메탄과 유사합니다.
C2F6, Halocarbon 116으로도 알려져 있으며,这是我们为半导体和MEMS蚀刻应用及MEMS提供的最高纯度产品。
챔버 청소 용도로 사용됩니다. Halocarbon 116은 무색, 무취의 액화 가스입니다.
제품 이름
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고순도 99.999% C116 헥사플루오로에탄 C2F6 가스 |
순수성
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99.9~99.999%
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CAS 번호
|
76-16-4
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EINECS 번호
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200-939-8
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MF
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C2F6
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몰 질량
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76-16-4.mol
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UN 번호
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2193
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위험 등급
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2.2
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외관
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무색, 불연성
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냄새
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무취
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검사 항목
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UNIT
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요구사항
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검사 결과
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제품 외관
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/
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투명하고 무색
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투명하고 무색
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제품 냄새
|
/
|
무취
|
무취
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순도,% , ≧
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m/m
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99.9
|
99.99
|
수분,% , ≦
|
m/m
|
0.001
|
0.0004
|
산성도 (HCL로 표시), ≦
|
m/m
|
0.0001
|
<0.00001<>
|
증발 잔여물, %, ≦
|
m/m
|
0.01
|
0.001
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사용
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헥사플루오로에탄의 일반적인 용도
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반도체 및 마이크로전자
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플라즈마 타이밍 가스로, 장치 표면 청소제로 사용
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냉각
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섬유 생산 및 저온 냉동
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패키지 크기
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40리터 용기
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500리터 용기
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충전량/용기
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42KGS
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520Kgs
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20'컨테이너에 적재된 수량
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170 개
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15 개
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총 용량
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7.14톤
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7.8톤
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헥사플루오로에탄용 밸브
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QF-2
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