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고순도 99.999% C116 헥사플루오로에탄 C2F6 가스는 실제로 업계 기준을 가장 크게 충족하도록 매우 세심하게 제작된 최고급 품목입니다. 순도가 우수한 연료에는 성능과 보안을 손상시킬 수 있는 불순물과 오염 물질이 없다는 사실로 이해됩니다.
고순도 99.999% C116 헥사플루오로에탄 C2F6 가스의 주요 특징 중 하나는 탁월한 안전성입니다. 이 기술은 조건과 압력의 양보다 훨씬 더 많은 특성을 유지하므로 다른 가스와 달리 정확도와 정밀도가 중요한 까다로운 응용 분야에 사용하기에 매우 적합합니다.
이 가솔린은 일반적으로 안전성과 순도를 특징으로 하는 매우 다재다능합니다. 냉매, 용매, 추진제 등 다양한 목적으로 활용될 수 있습니다. 독특한 특성으로 인해 전자 장치 및 마이크로칩 제조에 널리 사용되는 반도체 산업에서 사용하기에 특히 적합합니다.
이 제품의 가장 중요한 특징 중 하나는 환경에 미치는 영향을 최소화하여 다른 가스와 달리 환경 친화적이라는 것입니다. 즉, 많은 사람들에게 적합할 수 있는 독성 물질이 덜 포함되어 있다는 의미입니다.
만족도와 신뢰성 측면에서 AGEM은 업계에서 신뢰받는 타이틀일 뿐입니다. 우리는 우리의 제품과 서비스가 품질과 보안에 대한 최고의 요구 사항을 충족하는지 확인하기 위해 세심한 주의를 기울입니다. 왜 우리는 최신 기술과 장비를 사용하여 최첨단 시설에서 가스를 제조합니까? 우수성에 대한 당사의 헌신은 귀하가 고순도 99.999% C116 헥사플루오로에탄 C2F6 가스가 귀하가 원하는 만족과 표준을 제공할 것이라고 신뢰할 수 있음을 의미합니다.
물과 알코올에 약간 용해됩니다. 이는 매우 강력하고 수명이 긴 온실가스입니다.
물리적 특성[ 원본 편집]
헥사플루오로에탄의 고체상에는 두 가지 다형체가 있습니다. 과학 문헌에서는 다양한 상전이 온도가 나타났습니다.
정해진. 최신 연구에서는 이를 103K(−170°C)로 지정합니다. 103K 미만에서는 약간 무질서한 구조를 가지며, 천이 이상에서는
점, 그것은 몸 중심의 입방체 구조를 가지고 있습니다.[1] 임계점은 19.89°C(293.04K) 및 30.39bar입니다.[2]
밀도 표:
상태, 온도밀도(kg.m−3)액체, −78.2°C16.08가스, −78.2°C8.86가스, 15°C5.84가스, 20.1°C5.716가스, 24°C5.734증기
밀도는 4.823(공기 = 1), 21°C에서의 비중은 4.773(공기 = 1), 21°C에서의 비체적은 0.1748m3/kg입니다.
용도[편집]
헥사플루오로에탄은 반도체 제조에서 다용도 에칭제로 사용됩니다. 금속의 선택적 에칭에 사용 가능
규화물 및 산화물과 금속 기판의 비교, 그리고 실리콘 위의 이산화규소 에칭에도 사용됩니다. 1차 알루미늄과
반도체 제조 산업은 Hall-Héroult 공정을 사용하는 헥사플루오로에탄의 주요 배출원입니다.
트리플루오로메탄과 함께 냉매 R508A(61%) 및 R508B(54%)에 사용됩니다.
이는 유리체 망막 수술 후 망막 재부착을 돕기 위한 탐포네이드(tamponade)로 사용됩니다.[3]
환경적 영향[ 원본 편집]
다양한 위도의 헥사플루오로에탄 시계열.
CF 결합의 높은 에너지로 인해 헥사플루오르에탄은 거의 불활성이므로 매우 안정적인 온실가스로 작용합니다.
대기 수명은 10,000년입니다(기타 출처: 500년).[4] 지구온난화지수(GWP)는 9200이고 오존층도 있다.
고갈 가능성(ODP)은 0입니다. 헥사플루오로에탄은 IPCC 온실가스 목록에 포함되어 있습니다.
헥사플루오로에탄은 산업 규모로 제조되기 전에는 환경에 상당한 양으로 존재하지 않았습니다. 대기
헥사플루오로에탄의 농도는 3세기 초에 21pptv에 이르렀습니다.[5] 적외선 부분의 흡수 밴드
스펙트럼은 약 0.001 W/m2의 복사 강제력을 발생시킵니다.
건강상의 위험[편집]
상대밀도가 높기 때문에 저지대에 모이고 농도가 높으면 질식을 일으킬 수 있습니다. 다른
건강에 미치는 영향은 테트라플루오로메탄과 유사합니다.
Halocarbon 2으로도 알려진 C6F116은 반도체 및 MEMS 에칭 응용 분야와 MEMS를 위한 최고 순도 제품입니다.
챔버 청소 애플리케이션. 할로카본 116은 무색, 무취의 액화 가스입니다.
제품명
|
고순도 99.999% C116 헥사플루오로에탄 C2F6 가스 |
청정
|
99.9 ~ 99.999의 %
|
CAS 번호
|
76-16-4
|
EINECS 아니요
|
200-939-8
|
MF
|
C2F6
|
몰 질량
|
76-16-4.mol
|
유엔 아니오
|
2193
|
위험 등급
|
2.2
|
외관
|
무색, 불연성
|
냄새
|
냄새 없는
|
검사 항목
|
단위
|
요구 사항
|
검사결과
|
제품 외관
|
/
|
투명하고 무색
|
투명하고 무색
|
제품 냄새
|
/
|
냄새 없는
|
냄새 없는
|
순도,%,≧
|
m / m
|
99.9
|
99.99
|
수분,%, ←
|
m / m
|
0.001
|
0.0004
|
산도(HCL로서), ←
|
m / m
|
0.0001
|
<0.00001<>
|
증발 잔류물,%, ←
|
m / m
|
0.01
|
0.001
|
용법
|
헥사플루오로에탄의 일반적인 응용 분야
|
반도체 및 마이크로 전자공학
|
플라즈마 타이밍 가스, 장치 표면 세척제로 사용됩니다.
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냉각
|
섬유 생산 및 극저온 냉동
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패키지 크기
|
40Ltr 실린더
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500Ltr 실린더
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충전 내용/원통
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42Kgs
|
520Kgs
|
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20'Container에 적재 된 QTY
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170 실린더
|
15 실린더
|
|
총 양
|
7.14 톤
|
7.8 톤
|
|
헥사플루오로에탄용 밸브
|
QF-2
|