Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd.

이러한 전문성은  AGEM 완전히 새로운, 창의적인 방법으로 메탄을 반도체 제조 과정에서 활용하기 위해 지속적으로 개선하고 있습니다. 이러한 발전은 기술의 핵심 부분을 읽는 데 필요하며, 이 글은 메탄 사용의 강화가 더 빠르고 비용이 적거나 품질이 더 높은 반도체를 만드는 데 어떻게 기여하는지 보여줍니다. 이것은 모든 전자 시스템의 기반이 됩니다. 따라서 지난 두 교훈에서 우리는 무엇을 배웠나요? 약간 복잡한 개념들을 이해함으로써 우리는 기술 혁신이 왜 중요한지 그리고 그것이 우리의 일상에 어떻게 영향을 미치는지 알 수 있습니다.

반도체를 더 나아지게 하기

반도체 웨이퍼 표면에 인쇄된 극미세한 패턴을 만들기 위해 AGEM은 메thane 가스의 연속적인 공급이 필요합니다. 반응물 메탄과 산소 사이에서 일어나는 특수 화학 반응이다. 그러나 이 반응은 웨이퍼 표면의 일부 물질을 제거하는 데 도움이 되는 플라즈마 가스를 형성한다. 우리가 개발한 단계는 입자 설계를 가지고 있으며 AGEM은 이 과정을 신중하게 제어할 수 있다.

반도체를 제조하는 것은 매우 복잡한 과정이다. 따라서 가스 흐름, 챔버 압력 및 온도와 함께 실시간으로 매우 엄격히 제어해야 할 다른 많은 사항들이 존재한다. 메탄을 사용하여 이 변환을 수행하는 반도체 제조업체는 더 적은 폐기물을 배출하고 경제적으로 더 효율적으로 운영할 수 있다. 이는 회사가 반도체를 신속하게 생산할 수 있도록 하며, 비용 절감은 모든 기업이 이 사업에서 경쟁력을 유지하기 위해 매우 중요하다.

건식 에칭: 다른 관점의 메탄

예를 들어, AGEM은 메탄을 아르곤이나 헬륨과 같은 다른 가스와 섞어 드라이 에칭 전도성을 개선할 수 있습니다. 이 혼합물은 순수한 메탄을 사용하는 것보다 생성되는 폐기물을 줄입니다. 또한 AGEM은 절차에 대한 가능한 가스 혼합 조합을 검토할 수 있습니다.

AGEM이 이를 수행하는 방법 중 하나는 특별한 원격 플라즈마 소스를 사용하는 것입니다. 이는 과거에 플라즈마를 생성하던 방식으로, 실제로 프로세스 챔버 외부에서 플라즈마를 생성하고 그 후에 이를 챔버 내부로 유입시킵니다. 예를 들어, 이러한 경우 웨이퍼가 에칭 과정에서 손상되지 않도록 보호할 수 있습니다. 결국, 이는 더 나은 성능의 최종 부품을 만들어내며, 반도체 제조업체가 최종 성능에 대해 더 큰 확신을 가질 수 있도록 합니다.

반도체 산업의 혁신 메탄 감소

AGEM은 메탄을 더 지능적으로 사용하여 반도체를 제조하는 데 앞장서고 있습니다. 그들은 혁신적인 전략을 도입하여 전체 제조 공정을 가속화하고 효율화하기 위해 지능적으로 작업하고 있습니다. 결과적으로 반도체의 비용이 낮아지고, 최종적으로 더욱 향상된 제품이 나오게 됩니다.

동일한 메탄 열은 또한 천연가스의 부산물이 될 수 있다는 점에서 추가적인 장점이 있습니다 -- 또 하나의 승리입니다! 메탄과  수소 , 즉, 다른 대체 에칭 가스들보다 획득 비용이 훨씬 적습니다. 따라서 메탄은 우수하면서도 여전히 저렴한 반도체를 생산하려는 제조업체들에게 매우 매력적인 선택지로 보이기 시작했습니다.

최신 메탄 사용 옹호자, 반도체, 공정 개선

메탄을 더 지능적으로 활용하기 위한 다른 방법들 AGEM은 새로운 절차들을 지속적으로 검토합니다. 가스 흐름, 압력 및 온도와 같은 요소를 변경함으로써 일부 절차에 대해 추가적인 적응이 이루어질 수 있으며, 이는 낭비를 방지하고 효율성을 증가시키는데 도움을 줍니다. 시간이 지남에 따라 개선되며, 제조업체가 생산 능력을 증가시켜 비용을 낮추는 데 기여합니다(즉, 모두를 위한 더 낮은 가격).

이는 또한 상당히 깨끗한 실리콘 웨이퍼를 개선하는 데 있어 또 다른 중요한 이점입니다. 웨이퍼가 제조된 후, 제조 과정이 잘 통제되지 않으면 웨이퍼의 일부가 오염되고 긁힘이 생길 수 있습니다. 이는 제품 가격을 낮추고 소수의 제조업체 가격을 높입니다. 성공적인 반도체 제조를 위해 고품질의 웨이퍼가 필수적이기 때문에 AGEM은 이러한 프로세스를 강화하고 있습니다.

메탄 활용의 최신 진보

AGEM 또는 Associated Gas Electrical Methane 그룹은 항상 준비된 메탄 가스를 더 효율적으로 사용할 수 있는 방법을 연구하고 있습니다. 탄화수소류 그들은 새로운 플라즈마 소스와 관련된 것을 연구하고 있습니다. 더 빠른 플라즈마 소스는 더 많은 양의 반도체를 더 저렴하게 생산할 수 있도록 할 것입니다.

또한 AGEM은 메탄에 내성을 가진 새로운 에칭 가스를 개발하고 있습니다. 이러한 가스는 건식 에칭의 효율성을 향상시키는 데 중요한 역할을 하며, 전체 성능을 강화합니다. 다양한 가스를 혼합하고 최적의 가스를 결정함으로써 AGEM은 앞으로 반도체 분야에서 플레이어들의 능력을 확대할 수 있기를 기대하고 있습니다.