반도체는 스마트폰과 개인용 컴퓨터에서부터 다른 유형의 전자 기기까지 모든 것에 사용됩니다. 이들은 특정 공정을 통해 만들어지며 다양한 가스를 사용합니다. 다음은 하나의 산업이 사용하는 다양한 종류의 가스와 이러한 최첨단 물질이 우리가 실제로 의존하는 것을 만드는 데 어떻게 사용되는지를 설명합니다. 제조 세계에서 사용되는 다양한 유형의 가스 반도체 반도체는 에칭, 증착 및 세척과 같은 복잡한 일련의 공정을 통해 형성됩니다. 이러한 가스의 다양한 특성과 응용 분야는 특정 용도나 대기 조건에 따라 달라지며, 산업용 가스 공급업체 주변, 특수 반도체 가스 공급업체 또는 실험실에서 유명하거나, 모든 요구 사항에 맞는 광범위한 스펙트럼을 제공하며 작업을 적절히 완료하기 위한 중요한 특성을 가지고 있습니다. 오늘날 우리는 재료 제작 공정에 사용되는 몇 가지 주요 가스를 소개하고자 합니다. 실란(SiH4): 이 가스는 무색이며 중요한 규소 기반 전자 재료로도 알려져 있습니다. 이는 매우 역동적이며 산소와 물과 신속하게 반응하여 규산화물(SiO)과 수소 가스를 생성합니다. 실란은 SiNx와 같은 규소 기반 재료를 상대적으로 낮은 온도에서 신속하게 배치하는 데 사용될 수 있습니다. 질소(N2) 원소: 이 가스는隋성이며 산화를 방지합니다. 이는 유지 보수 과정에서 장치를 헹구어 O2와 수분의 급증을 제거하는 데 지속적으로 제조되고 필요로 합니다. 이러한 가스는 다른 가스의 활동을 촉진하고 운반하는 데에도 사용되며, 니크롬 증발 층과 플라즈마 강화 니크롬 증발 층에서 운반 가스로 작용합니다.
수소 (H2) - 수소는 물질에서 불순물을 제거하는 환원 가스로 사용됩니다. 반도체 제조에서는 안내 및 청소와 같은 여러 공정에서 중요한 단계입니다. 또한, 고급 CMOS 장치를 생산하기 위해 금속 게이트를 형성하는 데에도 사용됩니다.
안정된 산소 (O2/O) - 웨이퍼 처리 및 사양 리드 타임 등에 사용됩니다. 산소는 에칭 및 스트립/애쉬와 같은 많은 플라즈마 공정에서 사용되며, 실리콘 기반 재료를 SiOx로 산화하거나 산화를 통해 금속 표면을 패시베이션 하는 반응물로도 작용합니다.
염소 (Cl2): 염소는 액체 상태에서 자극적인 냄새가 나는 노란색 또는 붉은 연기 발생 비금속입니다. 이 가스는 실리콘 기반 재료, 실리콘 디옥사이드 및 알루미늄과 같은 많은 금속과 매우 반응성이 높아, 반도체 구조의 에칭에 여러 응용 분야를 가지고 있습니다.
가스가 반도체 생산에 사용된다는 사실은 반도체 제조 능력의 증가로 인해 고성능 전자기기를 만들게 이끌었습니다. 가스는 또한 반도체 산업에서 여러 중요한 용도와 장점이 있습니다.
실리콘, 암모니아 및 질소 가스는 반도체의 얇은 막인 실리콘 산화물 또는 질화물을 층형으로 침착시키는데 사용됩니다. 침착.
에칭: 염소, 불소 및 산소 같은 가스를 사용하여 반도체에서 불필요한 물질이나 패턴을 선택적으로 제거하는 데 사용됩니다.
공정 가스: 수소와 질소는 장비의 세척(정제) 작업에 필요하며, 이는 기기 성능에 영향을 줄 수 있는 불순물을 줄이는 데 도움을 줍니다.
플러싱: 주요 용도 중 하나는 장비 유지보수 시 시스템 내 산소와 수분을 제거하여 재료가 오염되지 않도록 하는 플러시 가스로 작용하는 것입니다.
결과적으로, 반도체 산업이 발전함에 따라 더욱 정교한 재료와 공정에 대한 추구는 끝이 없습니다. 향상된 가스는 미래의 반도체 발전을 위해 필수적입니다. 다음은 반도체 제조에서 사용되는 일부 고급 기술 가스입니다:
플루오로카본: 플루오린화 가스가 최첨단 회로 설계를 제작하기에 적합한 이유는 공격적이면서도 선택적으로 반응하여 에칭(부분 제거)과 성막(부분 추가) 모두 가능하기 때문입니다.
이산화탄소 - 스퍼터링, CVD 및 청소와 같은 응용 프로그램에 사용되는隋성 가스입니다.
새로운 배달 시스템 덕분에 반도체 제조에서 한 걸음 나아간 것으로 간주되어야 합니다. 제조업체들은 항상 효율성을 개선하고 폐기물을 줄이며 안전성을 높일 수 있는 방법을 찾고 있습니다. 현재 사용 가능한 일부 최신 고급 가스와 화학물질 배달 시스템이 바로 아래에 나열되어 있습니다.
가스 공급 시스템 (반도체에 필요한 소량의 가스/액체 화학 물질을 정확히 제어하기 위한)
출처: 고급 웨이퍼 세정 시스템 ozoone 플라즈마와 과산화수소는 반도체 재료에서 불순물을 제거하는 가장 효과적인 방법입니다.
반도체 가스는 더 효율적인 전자 제품의 수요를 증대시킬 수 있지만, 동시에 위험한 환경 문제를 야기할 수도 있습니다. 반도체 산업 내에서는 폐기물 감축 및 가스 재활용 등을 위해 일부 프로그램들이 실행되고 있습니다. 이것은 제조업체들이 반도체 가스와 관련된 환경 문제를 해결하려는 노력과 다를 바 없습니다.
첫 번째이자 가장 직접적인 방법은 폐기물 감축입니다 -> 제조업체들은 반도체 제조 과정에서 발생하는 폐기물의 양을 줄이기 위해 항상 노력하고 있습니다. 예를 들어 사용하는 화학 물질과 가스의 양을 줄이거나, 가능한 경우 재활용하거나, 폐쇄형 시스템을 만드는 등 다양한 방법이 있습니다.
재활용 ' 가스와 화학물질의 재활용은 환경 영향을 줄이는 데 도움이 되는 또 다른 중요한 방법이 될 것입니다. 생산 과정에서 사용된 가스나 화학 물질을 회수, 세척 및 재활용하는 제조업체를 통해 폐기물 발생량을 훨씬 쉽게 줄일 수 있습니다.
요약: 가스는 최고의 전자 제품을 제조하는 데 있어 필수적입니다. 제조업체들은 최적의 공정, 폐기물 감소, 지역 사회의 안전을 지원하는 고급 가스와 배송 솔루션을 개선하기 위해 노력하고 있습니다. 반도체 부문도 가스 소비를 줄이기 위한 방향으로 나아가고 있으며, 이러한 가스의 총 환경 영향에 대한 지속 가능성 캠페인이 최근 몇 년 동안 많이 시작되었습니다.
AGEM은 특수 가스 분야에서 각 고객이 다른 요구 사항을 가지고 있음을 인식합니다. 예를 들어 교정 가스와 같은 경우입니다. 우리는 고객의 특정 필요에 맞는 맞춤형 솔루션을 제공합니다. 특정 순도, 실린더 크기 또는 포장 옵션이 필요한 경우 AGEM은 제품을 귀하의 정확한 요구 사항에 따라 조정할 수 있습니다. 이러한 수준의 맞춤화는 귀하가 응용 프로그램에 가장 적합한 교정 가스 실린더를 얻을 수 있도록 하여 전체 효율성과 성능을 향상시킵니다. AGEM의 제품 라인은 교정 가스에 국한되지 않습니다. AGEM의 카탈로그에는 탄화수소 가스, 할로카본, 화학 가스 및 희귀 가스가 포함됩니다. 당신이 필요로 하는 특정 종류의 가스를 AGEM에서 확실히 찾을 수 있습니다.
반도체 제조에 사용되는 가스의 누출은 큰 문제입니다. 우리는 품질을 보장하기 위해 적어도 다섯 번 이상 누출을 검사합니다. 우리 회사는 완전한 생산 및 테스트 라인을 제공하며, 엄격한 품질 관리와 완벽한 사후 서비스 시스템을 적용하여 고객이 최상의 품질 제품과 포괄적인 서비스를 받을 수 있도록 합니다. 우수한 고객 서비스와 고품질 제공에 대한 우리의 노력은 자랑스러운 부분입니다. 숙련된 팀이 항상 고객을 돕고, 고객의 만족을 위해 최고의 서비스를 제공하도록 확실히 합니다. 우리의 24X7 서비스는 우리를 차별화시키는 요소입니다. 우리는 하루 종일, 매일, 언제나 고객을 위해 준비되어 있습니다.
AGEM은 액체 산소와 아르곤과 같은 초저온 액체 및 가스를 냉각하기 위한 다양한 저온 용기를 제공합니다. 이들은 또한 이산화탄소, 질소 및 일산화질소를 보유할 수 있습니다. 우리는 최고 성능을 보장하기 위해 수입 밸브 및 기기를 사용합니다. 가스 절약 장치를 활용하고 과압 가스의 사용을 가스상 공간에서 우선시합니다. 이중 안전 밸브는 안전한 작동에 대한 확실한 보장을 제공합니다. 우리는 일상 생활에서 사용되는 초저온 액체를 수용할 수 있는 다양한 저온 용기를 제공합니다. 전체 용량: 80L/100L/175L/195L/210L/232L/410L/500L/1000L 작업 압력: 1.37MPa/2.3MPa/2.88MPa/3.45MPa 내부 탱크 설계 온도: +196°C 외부 탱크 설계 온도: -20°C~+50°C 단열: 다층 감싸기 진공 저장 매체: LO2, LN2, LAr, LCO2, LNG
AGEM은 대만에서 25년 이상 운영되어 왔습니다. 우리는 이 분야에서 광범위한 연구 및 개발 전문성을 가지고 있으며, 특수 가스, 대량 가스 및 교정 가스 분야에서 독특한 전문성을 제공할 수 있습니다. 총 6개의 다른 지역에서 활동하고 있습니다.대만 - 카오슝 시 (본사, 연구개발 센터)인도 - 뭄바이, 바도다라, 코임바토르, 푸네, 벵갈루루, 델리중국 - 우한중동 - 두바이 (아랍에미레이트), 사우디아라비아연합왕국 - 캠브리지우리가 제공하는 가스 솔루션에는 기술 자문, 조립 및 가동, 샘플 테스트, 포장 및 선적, 도면 설계, 제조가 포함됩니다.
에어 가스 일렉트로닉 머티리얼즈 (AGEM)은 대만에 위치한 가스 제조 및 연구 개발 시설로, 전 세계 6개 지역에서 특수 가스, 전자 가스, 대량 가스 및 교정 가스 분야에서 독보적인 전문성을 가지고 있습니다.
Room 2&3, 10rd Floor, Unit 1, Phase I, Huazhong International Plaza, Zhuyeshan, Wuhan, Hubei, China
Copyright © Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd. 개인정보 보호정책
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ