EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
- Გენერალური ინფორმაცია
- Ინკვირი
- Დაკავშირებული პროდუქტები
Პროდუქტის ინფორმაცია:
Კვადრაფლუორიდი არის კრიოგენური ჟიდანტი, რომელიც ჩვეულებრივი პარამეტრების შემთხვევაში საპარტყობოდ ინერტულია, წყალად ჰაერის ჩანაცვლების მეთოდია და გამოიყენება განსხვავებულ ვაფერის ეტჩინგის პროცესებში.
CF4 ამჟამად არის ყველაზე გავრცელებული პლაზმის ჩაჭრვის აირი მიკროელექტრონიკის ინდუსტრიაში. ის შiro გამოიყენება მასალების, როგორიც არის სილიციუმი, სილიციუმის დიოქსიდი, სილიციუმის ნიტრიდი, ფოსფორის სილიციუმის სხვადასხვა გლასი და ტუნგსტენი, ჩაჭრვისას, ასევე ელექტრონული მოწყობილობებისა და სოლარული ბატარეების ზღვის მოხურვაში. ის ასევე გამოიყენება ლაზერული ტექნოლოგიის, აირის ფაზის იზოლაციის, დაბრუნების გამოსავლეთის, წინადადების გამოსავლეთის, חללის მოძრაობის კონტროლისა და გამოსავლეთის გამოყენების დროს ბეჭდული ცირკუიტების წარმოებაში.
Ქიმიური სტაბილობის გამო, ტეტრაფლუორიდი სირდე გამოიყენება მეტალების გამოსავლეთისა და პლასტმასების ინდუსტრიაში.
