ნახევარგამტარები ყველაფერშია, თქვენი სმარტფონებიდან და პერსონალური კომპიუტერებიდან დამთავრებული ნებისმიერი სხვა ტიპის ელექტრონული გაჯეტით. ისინი უნდა დამზადდეს კონკრეტული პროცესით და გამოიყენონ უამრავი აირები. შემდეგი ხაზს უსვამს გაზების მრავალი სახეობის ანგარიშს მხოლოდ ერთი ინდუსტრიული გამოყენების შესახებ და როგორ არის განკუთვნილი ეს მაღალტექნოლოგიური ნივთიერებები იმ ნივთების შესაქმნელად, რომლებსაც რეალურად ვეყრდნობით. ნახევარგამტარების წარმოების სამყაროში გამოყენებული გაზის მრავალი განსხვავებული სახეობა ნახევარგამტარები წარმოიქმნება პროცესების რთული სერიის გამოყენებით, როგორიცაა გრავირება, დეპონირება და გაწმენდა. ამ აირების სხვადასხვა თვისებები და გამოყენება განსხვავებულია სპეციფიკურ გამოყენებაში ან ატმოსფერულ პირობებში, იქნება ეს სამრეწველო გაზის მომწოდებლების, სპეციალიზებული ნახევარგამტარული გაზის მიმწოდებლების გარშემო, თუ ლაბორატორიაში, რომელიც უზრუნველყოფს ფართო სპექტრს, რომელიც შეესაბამება ყველა მათგანს საჭირო კრიტიკული მახასიათებლებით. შეასრულოს დავალება როგორც განზრახ დამაკმაყოფილებელი. დღესდღეობით, ამ კუთხით, ჩვენ წარმოგიდგენთ რამდენიმე წამყვან გაზს, რომლებიც გამოიყენება მასალების დამზადების პროცესებში. Silane SiH4: ეს გაზი არის უფერო და ასევე წარმოდგენილია როგორც მნიშვნელოვანი სილიკონზე დაფუძნებული ელექტრონული მასალა. ცნობილია, რომ ის ძალიან დინამიურია და სწრაფად რეაგირებს ჟანგბადთან და წყალთან სილიციუმის ოქსიდის SiO და წყალბადის გაზის შესაქმნელად. სილანის გამოყენება შესაძლებელია სილიკონზე დაფუძნებული მასალის, როგორიცაა SiNx, სწრაფად ან შედარებით დაბალ ტემპერატურაზე დასაყენებლად. აზოტი N2 ელემენტი: ეს გაზი ინერტულია და ხელს უშლის დაჟანგვას. ის მუდმივად იწარმოება და საჭიროა მოწყობილობის გაწმენდისთვის ტექნიკური პროცესის დროს, რათა მოხსნას O2 და ტენიანობა. ასეთი გაზი გამოყენებული იქნება სხვა აირების აქტივობის გასაადვილებლად და ტრანსპორტირებისთვის, ასევე იმუშავებს როგორც გადამზიდავი გაზით ნიკრომის ორთქლის დეპონირებაში და პლაზმური გაძლიერებული ნიქრომის ორთქლის დეპონირებაში.
წყალბადი (H2) - წყალბადი გამოიყენება როგორც შემამცირებელი აირი მასალებიდან მინარევების მოცილებით. ნახევარგამტარების წარმოებაში, ის მიდის იმპორტის საფეხურზე რამდენიმე პროცესისკენ, როგორიცაა ადუღება და გაწმენდა. გარდა ამისა, წყალბადი აწარმოებს ლითონის კარიბჭეს, რომელიც აწარმოებს წინასწარ CMOS მოწყობილობების.
სტაბილური ჟანგბადი (O2/O) - შეიყვანეთ ფურცლისა და სპეციფიკაციის დრო და ა.შ. O გაზი მიუხედავად იმისა, რომ ჟანგბადი გამოიყენება პლაზმის ბევრ პროცესებში, როგორიცაა აკრეფა და ზოლები/ნაცარი o ]]>, ის ასევე ემსახურება როგორც რეაქტიანტს სილიკონზე დაფუძნებული დაჟანგვისთვის. მასალები SiOx-მდე ან ლითონის ზედაპირების პასივირება დაჟანგვის გზით.
ქლორი (Cl2): ქლორი არის ყვითელი ან წითელი აორთქლება, მძაფრი სუნის არალითონი სითხის სახით. ამ გაზს, რომელიც ძალზე რეაქტიულია სილიკონზე დაფუძნებულ მასალებთან, სილიციუმის დიოქსიდთან და ბევრ ლითონთან, როგორიცაა ალუმინი, უამრავ გამოყენებას უნახავს ნახევარგამტარული სტრუქტურის აკრავისას.
იმ ფაქტმა, რომ აირები გამოიყენება ნახევარგამტარების წარმოებაში, გამოიწვია მაღალი სიზუსტის ელექტრონიკის შექმნა, რაც წარმოიქმნება ნახევარგამტარების წარმოების გაზრდილი შესაძლებლობებით. გაზებს ასევე აქვთ რამდენიმე მნიშვნელოვანი გამოყენება და უპირატესობა ნახევარგამტარების ინდუსტრიაში.
აირები, როგორიცაა სილანი, ამიაკი და აზოტი, გამოიყენება სილიციუმის ოქსიდის ან ნიტრიდის შესანახად, რომელიც იქნება ნახევარგამტარების თხელი ფენები. დეპონირება.
გრავირება: გამოიყენება არასასურველი მასალების ან შაბლონების შერჩევით მოსაშორებლად ნახევარგამტარებიდან გაზების გამოყენებით, როგორიცაა ქლორი, ფტორი და ჟანგბადი.
პროცესის გაზები: წყალბადი და აზოტი საჭიროა ნახევარგამტარული საწმენდი აღჭურვილობის (გაწმენდის) მუშაობისთვის, რათა შემცირდეს მინარევები, რამაც შეიძლება გავლენა მოახდინოს მოწყობილობის მუშაობაზე.
გაწმენდა: მისი ერთ-ერთი მთავარი გამოყენებაა ის, სადაც ის მოქმედებს როგორც გამწმენდი გაზი, როდესაც მიმდინარეობს აღჭურვილობის ტექნიკური სამუშაოები, ეს აშორებს ჟანგბადს და ტენიანობას სისტემიდან, რითაც ინარჩუნებს მასალებს თავისუფალ რიგში.
შედეგად, უფრო დახვეწილი მასალებისა და პროცესების ძიება არ წყდება ნახევარგამტარების ინდუსტრიის პროგრესირებასთან ერთად. გაუმჯობესებული აირები აუცილებელია ნახევარგამტარების მომავალი წინსვლისთვის. აქ არის მხოლოდ რამდენიმე ამ მაღალტექნოლოგიური აირები ნახევარგამტარების წარმოებაში:
ფტორნახშირბადები: მიზეზი იმისა, რომ ფტორირებული აირები კარგია თანამედროვე სქემების დიზაინის დასამზადებლად, არის ის, რომ ისინი აგრესიულად და შერჩევით რეაგირებენ როგორც ამოღებაზე (ნაწილების ამოღებაზე), ასევე დეპონირებაზე (ნაწილების დამატებაზე).
CO2 - ინერტული გაზი, რომელიც გამოიყენება ისეთი აპლიკაციებისთვის, როგორიც არის დაფქვა, CVD და გაწმენდა.
მიუხედავად იმისა, რომ ეს უნდა განიხილებოდეს, როგორც წინგადადგმული ნაბიჯი ნახევარგამტარების წარმოებაში, მხოლოდ დღეს შესაძლებელია მიწოდების ახალი სისტემების გამო. მწარმოებლები ყოველთვის ეძებენ გზებს ეფექტურობის გასაუმჯობესებლად, ნარჩენების შესამცირებლად და უსაფრთხოების გაზრდის მიზნით. ზოგიერთი უახლესი მოწინავე გაზი და ქიმიური მიწოდების სისტემები, რომლებიც ახლა ხელმისაწვდომია, ჩამოთვლილია მხოლოდ ქვემოთ.
გაზის მიწოდების სისტემა (აირებისთვის, რომლებიც ზუსტად აკონტროლებენ ნახევარგამტარებში საჭირო გაზების/თხევადი ქიმიკატების მცირე რაოდენობას)
წყარო: Advanced Wet Wafer Cleaning Systems ოზონის პლაზმური და წყალბადის ზეჟანგი ყველაზე ეფექტური მეთოდებისთვის მინარევებისაგან ნახევარგამტარული მასალისგან გაწმენდისთვის.
ნახევარგამტარულ გაზებს შეუძლიათ გაზარდონ მოთხოვნილება უფრო ეფექტურ ელექტრონიკაზე, მაგრამ ასევე წარმოადგენენ სახიფათო ეკოლოგიურ საფრთხეებს. არსებობს რამდენიმე პროგრამა ნარჩენების შესამცირებლად და გაზის გადამუშავების მიზნით, სხვა საკითხებთან ერთად, ნახევარგამტარების ინდუსტრიაში. ეს არაფრით განსხვავდება იმისგან, თუ როგორ მუშაობენ მწარმოებლები ნახევარგამტარ აირებთან დაკავშირებული გარემოსდაცვითი პრობლემების დასამშვიდებლად;
პირველი და ყველაზე პირდაპირი, არის ნარჩენების შემცირება -> მწარმოებლები ყოველთვის ზრუნავენ ნახევარგამტარების წარმოების დროს წარმოქმნილი ნარჩენების რაოდენობის შემცირებაზე. ისეთი რამ, როგორიცაა გამოყენებული ქიმიკატების და გაზების რაოდენობის შემცირება, გადამუშავება, სადაც ეს შესაძლებელია, ან დახურული მარყუჟის სისტემების შექმნა.
აირებისა და ქიმიკატების ხელახალი ციკლი კიდევ ერთი გადამწყვეტი მეთოდი იქნება, რომელიც ხელს უწყობს გარემოსდაცვითი შედეგების შემცირებას. ნარჩენების წარმოქმნა შეიძლება ბევრად ადვილად შემცირდეს მწარმოებლების მიერ, რომლებიც იძლევა წარმოებისას გამოყენებული გაზების ან ქიმიკატების აღდგენას, გაწმენდას და გადამუშავებას.
რეზიუმე: აირები აუცილებელია ზოგიერთი საუკეთესო ელექტრონიკის წარმოებისთვის. მწარმოებლები მოწოდებულნი არიან გააუმჯობესონ როგორც მოწინავე აირები, ასევე მიწოდების გადაწყვეტილებები, რომლებიც ხელს უწყობს ოპტიმალურ პროცესებს, ნარჩენების შემცირებას და საზოგადოების უსაფრთხოებას. ნახევარგამტარული სექტორი გაზის მოხმარების გზას დაადგება და ამ გაზების საერთო გარემოსდაცვითი კვალი წამოიწყო მდგრადობის მრავალი კამპანია ბოლო წლებში.
AGEM აღიარებს, რომ თითოეულ მომხმარებელს სჭირდება სხვადასხვა რამ სპეციალიზებული გაზების სფეროში, როგორიცაა კალიბრაციის გაზი. ჩვენ გთავაზობთ მორგებულ გადაწყვეტილებებს ჩვენი კლიენტების სპეციფიკური საჭიროებების დასაკმაყოფილებლად. თუ თქვენ გჭირდებათ კონკრეტული სისუფთავის რაოდენობა, ცილინდრის ზომა ან შეფუთვის ვარიანტები, AGEM-ს შეუძლია თქვენთან მუშაობა, რათა მოარგოს მათი პროდუქტები თქვენი ზუსტი მოთხოვნების შესაბამისად. პერსონალიზაციის ეს ხარისხი უზრუნველყოფს, რომ მიიღოთ საუკეთესო კალიბრაციის გაზის ცილინდრი თქვენი აპლიკაციებისთვის, რაც გააუმჯობესებს საერთო ეფექტურობას და შესრულებას. AGEM-ის პროდუქციის ასორტიმენტი არ შემოიფარგლება კალიბრაციის გაზებით. AGEM-ის კატალოგი შეიცავს ნახშირწყალბადის გაზებს, ჰალოკარბონებს, ქიმიურ გაზებს და იშვიათ გაზებს. შეგიძლიათ დარწმუნებული იყოთ, რომ AGEM-ს ექნება თქვენთვის საჭირო სპეციფიკური გაზი.
ნახევარგამტარების წარმოებაში გამოყენებული გაზების გაჟონვა მთავარი პრობლემაა. ჩვენ ვამოწმებთ გაჟონვას მინიმუმ ხუთჯერ ხარისხის უზრუნველსაყოფად. ჩვენი კომპანია გთავაზობთ სრულ საწარმოო და ტესტირების ხაზს და მკაცრი ხარისხის კონტროლის გამოყენებას და გაყიდვების შემდგომ სერვისის სრულყოფილ სისტემას, რათა უზრუნველყოს მომხმარებლები უმაღლესი ხარისხის პროდუქციისა და მომსახურების სრულ ასორტიმენტს. ჩვენი ერთგულება მომხმარებელთა შესანიშნავი მომსახურებისა და მაღალი ხარისხის უზრუნველსაყოფად არის ის, რითაც ვამაყობთ. ჩვენი გამოცდილი გუნდი ყოველთვის მზად არის დაგეხმაროთ და უზრუნველვყოთ, რომ მიიღოთ საუკეთესო მომსახურება თქვენი მაქსიმალური კმაყოფილებით. ჩვენი 24X7 სერვისი არის ის, რაც გამოგვარჩევს. ჩვენ აქ ვართ თქვენთვის მთელი დღე, ყოველთვის.
AGEM გთავაზობთ კრიოგენული ცილინდრების ფართო არჩევანს სუპერ გამაგრილებელი სითხეებისა და გაზების გასაგრილებლად, როგორიცაა თხევადი ჟანგბადი და არგონი. მათ ასევე შეუძლიათ შეინახონ ნახშირორჟანგი, აზოტი და აზოტი. ჩვენ ვიყენებთ იმპორტირებულ სარქველებს და ინსტრუმენტებს მაქსიმალური მუშაობის უზრუნველსაყოფად. გამოიყენეთ გაზის დამზოგავი მოწყობილობები და პრიორიტეტი მიანიჭეთ გაზის ფაზის სივრცეში ზედმეტი წნევის გაზის გამოყენებას. ორმაგი დამცავი სარქველები უზრუნველყოფს მყარ გარანტიას უსაფრთხო მუშაობისთვის. ჩვენ ვთავაზობთ კრიოგენული ცილინდრების ფართო არჩევანს, რომლებიც იტევს სითხეებს, რომლებიც სუპერ გაცივებულია და გამოიყენება ყოველდღიურ ცხოვრებაში. სრული მოცულობა: 80L/100L/175L/195L/210L/232L/410L/ 500ლ/1000ლ სამუშაო წნევა: 1.37MPa/2.3MPa/2.88MPa/3.45MPa შიდა ავზის დიზაინის ტემპერატურა: +196Shell ავზის დიზაინის ტემპერატურა: 20oC+50o იზოლაცია: ვაკუუმი მრავალშრიანი შეფუთვით შენახული საშუალო: LO2, LN2, LArLCO2, LNG
AGEM ფუნქციონირებს ტაივანში 25 წელზე მეტი ხნის განმავლობაში. ჩვენ გვაქვს ვრცელი R და D ექსპერტიზა ამ სფეროში და შეგვიძლია შემოგთავაზოთ უნიკალური ექსპერტიზა სპეციალობის, ნაყარი და კალიბრაციის აირების სფეროებში 6 სხვადასხვა რეგიონში. ტაივანი - ქალაქი კაოსიუნგი (შტაბი, R და D ცენტრი) ინდოეთი - მუმბაი, ვადოდარა, Coimbatore, Pune, Bengaluru, DelhiChina - Wuhan Middle East - Dubai (UAE) & საუდის სამეფო არაბეთი გაერთიანებული სამეფო - ჩვენს მიერ შემოთავაზებული გაზის კემბრიჯის გადაწყვეტილებები მოიცავს ტექნიკურ კონსულტაციას. აწყობა და ექსპლუატაცია. ნიმუშის ტესტირება. შეფუთვა და მიწოდება. ნახატის დიზაინი. წარმოება.
AIR GAS ELECTRONIC MATERIALS (AGEM) არის გაზის მწარმოებელი და R&D ქარხანა, რომელიც განთავსებულია ტაივანში, რომელსაც აქვს შეუდარებელი გამოცდილება სპეციალობის, ელექტრონული, ნაყარი და კალიბრაციის გაზების სფეროში მთელს მსოფლიოში 6 სხვადასხვა რეგიონში.
ოთახი 2&3, მე-10 სართული, განყოფილება 1, I ფაზა, Huazhong International Plaza, Zhuyeshan, Wuhan, Hubei, ჩინეთი
საავტორო უფლება © Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd. კონფიდენციალურობის წესები
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
არა
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ