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ArF F2 アルゴン混合レーザーガス Alcon Allegretto Wavelight 400Hz 用
エキシマ レーザーの混合ガスは、希ガス (アルゴン、クリプトン、キセノン、またはネオン) とハロゲン ガス (フッ素または塩素) の組み合わせです。ガスの混合によって、生成される DUV 光の波長が決まります。アルゴン + フッ素 + ネオン (193nm) とクリプトン + フッ素 + ネオン (248nm) は、使用される 96 つの最も一般的な混合物です。ボリューム的には;ネオンは混合物の約 97.5 ～ XNUMX% を占めます。
エキシマ レーザーの混合ガスは、希ガス (アルゴン、クリプトン、キセノン、またはネオン) とハロゲン ガス (フッ素または塩素) の組み合わせです。ガスの混合によって、生成される DUV 光の波長が決まります。アルゴン + フッ素 + ネオン (193nm) とクリプトン + フッ素 + ネオン (248nm) は、使用される 96 つの最も一般的な混合物です。ボリューム的には;ネオンは混合物の約 97.5 ～ XNUMX% を占めます。
カテゴリー | 成分 （％） | バランスガス |
He-Neレーザー混合ガス | 2～8.3Ne | He |
CO2レーザー混合ガス | 0.4H2+ 13.5CO2+ 4.5Kr | / |
0.4 H2+ 13CO2+ 7Kr+ 2CO | ||
0.4 H2+ 8CO2+ 8Kr+ 4CO | ||
0.4 H2+ 6CO2+ 8Kr+ 2CO | ||
0.4 H2+ 16CO2+ 16Kr+ 4CO | ||
0.4 H2+ 8~12CO2+ 8~12Kr | ||
Kr-F2レーザー混合ガス | 5 Kr+ 10 F2 | / |
5Kr+1~0.2F2 | ||
密閉ビームレーザーガス | 18.5N2+ 3Xe+ 2.5CO | / |
エキシマレーザー | 25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 1F2 | Ar |
25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 5F2 | He | |
25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 0.2F2 | He | |
25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 5HCl | A |
部分モデル用のエキシマガス | ||||||
ブランド | 波長 | シリンダー | Valve | |||
コヒーレント | 193nm | 20 L | DIN 8 | |||
B&L | 193nm | 20L/50L | DIN 8/DIN 14 | |||
ツァイス | 193nm | 10L/20L | DIN 8 | |||
VISX | 193nm | 16 L | CGA 679 | |||
NIDEK | 193nm | 16 L | CGA 679 | |||
レーザー視力 | 193nm | 10 L | CGA 679 | |||
アルコン | 193nm | 16 L | CGA 679 | |||
シュウィンド | 193nm | 20 L | DIN 8/DIN 14 | |||
SUMMIT | 193nm | 16 L | CGA 679 | |||
ArF レーザーの他の用途には、半導体集積回路の製造などがあります。また、アブレーションプロセスに基づいた鉱物サンプルの現場分析も容易になります。
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