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エキシマレーザーガス/Arfプレミックスガス

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レーザー視力矯正 VISX アルコン ツァイス Nidex ArF ガス アルゴン F2 ヘリウム ネオン エキシマ レーザー ガス

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レーザー視力矯正 VISX Alcon Zeiss Nidex ArFガス アルゴンF2 ヘリウム ネオン エキシマレーザーガス 詳細
レーザー視力矯正 VISX アルコン ツァイス ニデックス ArFガス アルゴン F2 ヘリウム ネオン エキシマレーザーガス製造
レーザー視力補正 ArF ガス混合物 アルゴン F2 ヘリウム ネオン エキシマ レーザー ガス (VISX 用)

エキシマ レーザーの混合ガスは、希ガス (アルゴン、クリプトン、キセノン、またはネオン) とハロゲン ガス (フッ素または塩素) の組み合わせです。ガスの混合によって、生成される DUV 光の波長が決まります。アルゴン + フッ素 + ネオン (193nm) とクリプトン + フッ素 + ネオン (248nm) は、使用される 96 つの最も一般的な混合物です。ボリューム的には;ネオンは混合物の約 97.5 ~ XNUMX% を占めます。
カテゴリー
成分 (%)
バランスガス


He-Neレーザー混合ガス
2~8.3Ne
He


CO2レーザー混合ガス
0.4H2+ 13.5CO2+ 4.5Kr
/



0.4 H2+ 13CO2+ 7Kr+ 2CO


0.4 H2+ 8CO2+ 8Kr+ 4CO


0.4 H2+ 6CO2+ 8Kr+ 2CO


0.4 H2+ 16CO2+ 16Kr+ 4CO


0.4 H2+ 8~12CO2+ 8~12Kr

Kr-F2レーザー混合ガス
5 Kr+ 10 F2
/



5Kr+1~0.2F2

密閉ビームレーザーガス
18.5N2+ 3Xe+ 2.5CO
/


エキシマレーザー
25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 1F2
Ar



25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 5F2
He


25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 0.2F2
He


25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 5HCl
A

   部分モデル用のエキシマガス



ブランド
波長
シリンダー
Valve



コヒーレント
193nm
20 L
DIN 8



B&L
193nm
20L/50L
DIN 8/DIN 14



ツァイス
193nm
10L/20L
DIN 8



VISX
193nm
16 L
CGA 679



NIDEK
193nm
16 L
CGA 679



レーザー視力
193nm
10 L
CGA 679



アルコン
193nm
16 L
CGA 679



シュウィンド
193nm
20 L
DIN 8/DIN 14



SUMMIT
193nm
16 L
CGA 679



ArF レーザーの他の用途には、半導体集積回路の製造などがあります。また、アブレーションプロセスに基づいた鉱物サンプルの現場分析も容易になります。


私たちに関しては
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エージェム 


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