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エキシマ レーザー ガス混合物は、希ガス (アルゴン、クリプトン、キセノン、またはネオン) とハロゲン ガス (フッ素または塩素) の組み合わせです。ガスの混合によって、生成される DUV 光の波長が決まります。アルゴン + フッ素 + ネオン (193nm) とクリプトン + フッ素 + ネオン (248nm) は、最もよく使用される 96 つの混合物です。体積で見ると、ネオンは混合物の約 97.5~XNUMX% を占めます。
カテゴリー
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成分 (%)
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バランスガス
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He-Neレーザー混合ガス
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2~8.3Ne
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He
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CO2レーザー混合ガス
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0.4H2+ 13.5CO2+ 4.5Kr
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/
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0.4 H2+ 13CO2+ 7Kr+ 2CO
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0.4 H2+ 8CO2+ 8Kr+ 4CO
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0.4 H2+ 6CO2+ 8Kr+ 2CO
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0.4 H2+ 16CO2+ 16Kr+ 4CO
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0.4 H2+ 8~12CO2+ 8~12Kr
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Kr-F2レーザー混合ガス
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5 Kr+ 10 F2
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/
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5Kr+1~0.2F2
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密閉ビームレーザーガス
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18.5N2+ 3Xe+ 2.5CO
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/
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エキシマレーザー
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25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 1F2
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Ar
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25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 5F2
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He
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25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 0.2F2
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He
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25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 5HCl
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A
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部分モデル用のエキシマガス
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ブランド
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波長
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シリンダー
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Valve
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コヒーレント
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193nm
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20 L
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DIN 8
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B&L
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193nm
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20L/50L
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DIN 8/DIN 14
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ツァイス
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193nm
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10L/20L
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DIN 8
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VISX
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193nm
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16 L
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CGA 679
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NIDEK
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193nm
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16 L
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CGA 679
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レーザー視力
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193nm
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10 L
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CGA 679
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アルコン
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193nm
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16 L
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CGA 679
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シュウィンド
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193nm
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20 L
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DIN 8/DIN 14
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SUMMIT
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193nm
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16 L
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CGA 679
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ArF レーザーの他の用途には、半導体集積回路の製造などがあります。また、アブレーションプロセスに基づいた鉱物サンプルの現場分析も容易になります。
エージェム
レーザー視力矯正は、視力を永久に改善したいと考えている人にとって究極のソリューションです。この技術的に進歩したレーザー システムは、Alcon、VISX、Zeiss、Nidex の力を利用して、正確かつ正確な視覚補正体験を提供します。 AGEM レーザー視力補正を使用すると、患者は高度な ArF ガス、アルゴン、F2、ヘリウム ネオン、エキシマ レーザー ガスを含む最高のレーザー ビジョン テクノロジーを活用して、比類のない結果を生み出すことができます。
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