エレクトロニクス用高純度ガスモノフルオロメタン 99.999% FC41 UN 2454 ハロカーボン 41 フッ化メチル CH3F

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エレクトロニクス用高純度ガスモノフルオロメタン 99.999% FC41 UN 2454 ハロカーボン 41 フッ化メチル CH3F

エージェム 半導体チップの製造工程で使用される高純度モノフルオロメタンガス（CH3F）を製造・販売しています。

フルオロメタン、 フッ化メチル、フレオン 41、ハロカーボン 41、および HFC-41 としても知られる、標準温度および圧力で無毒で液化可能なガスです。炭素、水素、フッ素からできています。この名前は、水素原子の 4 つがフッ素原子に置換されたメタン (CHXNUMX) であるという事実に由来しています。これは、半導体製造プロセスでプラズマエッチングリアクター内のエッチングガスとして使用されます。

フルオロメタン、 一般的にフッ化メチル (MeF) またはハロカーボン 41 と呼ばれるガスは、半導体および電子製品の製造に使用される無毒の液化可能ガスです。 RF 場の存在下でフッ素イオンに解離し、シリコン化合物膜を選択的にエッチングします。

申し込み:CH3F 半導体チップの製造工程において、窒化膜をエッチングにより微細加工する特殊ガスです。 CH3Fは主に、マイクロマシニング技術を必要とするNANDフラッシュやDRAMなどの半導体メモリチップの製造に使用されます。 CH3Fは他のガスに比べてエッチング選択比が高いため、3D NANDフラッシュの多層構造の微細加工に適しています。近年、3D NAND フラッシュを製造する多くのラインが稼働しているため、CH3F の需要が増加しています。