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Trイフルオロメタン
トリフルオロメタンは、半導体産業において極低温冷媒および洗浄剤およびエッチング剤として使用されます。
商品名 | トリフルオロメタン | 化学式 | CHF3 |
ハザードクラス | 2.2 | 分子量 | 70.014 |
CAS | 75-46-7 | UN | 1984 |
プロセス
トリフルオロメタンの商業生産は、クロム触媒上でクロロホルムとフッ化水素を反応させることによって行われる。
仕様とパッケージ
シリンダー | 10L 8kg/44L 32kg | DIS716 |