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高純度ガスシリンダー付き 電子グレード R23 トリフルオロメタン CHF3 ガス 日本

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Trイフルオロメタン

トリフルオロメタンは、半導体産業において極低温冷媒および洗浄剤およびエッチング剤として使用されます。

商品名 トリフルオロメタン 化学式 CHF3
ハザードクラス 2.2 分子量 70.014
CAS 75-46-7 UN 1984

プロセス

トリフルオロメタンの商業生産は、クロム触媒上でクロロホルムとフッ化水素を反応させることによって行われる。

仕様とパッケージ

シリンダー 10L 8kg/44L 32kg DIS716

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