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C5F8 オクタフルオロシクロペンテン ガス
半導体デバイス製造におけるエッチングプロセスに広く使用され、特に最小の幾何学的特徴（インターコネクトラインの幅、コンタクト、トレンチなど）のサイズと選択的エッチングに使用されます
C5F8 オクタフルオロシクロペンテン ガス
エアーガスエレクトロニクスマテリアルズ（AGEM）は、台湾に位置するガス製造および研究開発施設であり、特殊ガス、電子ガス、バルクガス、校正ガス分野で世界的に6つの異なる地域において並外れた専門知識を持っています
Room 2&3, 10rd Floor, Unit 1, Phase I, Huazhong International Plaza, Zhuyeshan, Wuhan, Hubei, China
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