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半導体 99.999N C4F5 ガスのための高純度 8% オクタフルオロシクロペンテン
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C5F8 オクタフルオロシクロペンテン ガス


半導体デバイス製造のエッチングプロセス、特に最小の幾何学的特徴（相互接続線、コンタクト、トレンチの幅など）のサイズと選択的エッチングに広く使用されています。
 
 

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