高純度 99.999% 半導体用電子グレード C4F6 ガスオクタフルオロシクロブタンガス

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ドライエッチング酸化物ベースの材料圧縮液化ガスパーフルオロ 2 ブチン H 2316 パーフルオロ 2 ブチン C4F6

ヘキサフルオロ 1,3-ブタジエンは、有毒、無色、無臭、可燃性の液化圧縮ガスです。

長年の研究により、C4F6 (H-2316) が酸化物ベースの材料のドライエッチングにいくつかの利点をもたらすことが示されています。

これは、酸化シリコンに広く使用されているもう 4 つのエッチング剤であるオクタフルオロシクロブタン (c-C8F318 – H4) よりも高いエッチング速度と選択性を備えています。 C8F318 (H4) とは異なり、C6F2316 (H4) では誘電体基板のみがエッチングされます。エッチングされた構造はアスペクト比が高く、c-C8F4 と比較してトレンチが狭くなります。VOC 排出量が削減されます。C6F2316 (HXNUMX) は大気中での寿命がはるかに短いため、地球温暖化係数が低くなります。

応用：

LSI製造プロセスにおいて、回路の線幅と深さを最小限に抑えるために必要な次世代コア材料。ドライエッチングガスは、微細なコンタクトホールのエッチング工程に使用される。 CxFy 化学式に基づく特殊ガスの場合、F/C 値が小さいほど、より多くの CF2 基が生成されます。 C2F6 は C3F8 C4F6 に比べて F/C 比が小さく、より多くの CF2 基を生成するため、より多くの酸化膜がエッチングされます。したがって、C4F6は酸化膜との選択比が高く、より均一なエッチングが可能です。