すべてのカテゴリ

高純度99.9% 半導体産業用四氟化硅 SiF4 ガス

  • 概要
  • 問い合わせ
  • 関連製品

四氟化硅は無色、腐食性があり、不燃性で有毒なガスです。非常に刺激臭が強く、塩化水素に似ており、吸入すると致死的です。この化合物はシリコンを基盤とし、4つのフッ素原子を持っています。

自然界では、SiF4 が一部の火山ガスの主成分です。四氟化硅は、シリコンハライドの還元、融解シリカの電解、または300°C以上のバ륨ヘキサフルオロケイ酸塩の加熱によっても生成されます。さらに、四氟化硅は肥料生産の副産物でもあります。

お問い合わせ