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電子グレード 99.999% 5N 純粋なオクタフルオロシクロブタン C4f8 ガス シリンダー
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半導体プロセスのプラズマ蒸着ガスおよびエッチング剤 99.9% C318 ペルフルオロシクロブタン冷媒ガス C4F8


半導体材料およびデバイスの製造において、オクタフルオロシクロブタンは堆積ガスおよびエッチング液として機能します。また、オゾン層を破壊するクロロフルオロカーボン冷媒の代替として、特殊用途の冷媒としても研究されています。オクタフルオロシクロブタンは、その揮発性と化学的不活性性を利用して、一部のエアロゾル化食品に含まれる場合があります。これは、Codex Alimentarius によって番号 946 (EU の場合は E946) でリストされています。誘電性ガスとして六フッ化硫黄の代替候補として研究されています。
 
C4F8、HALOCARBON C318 99.8% G 10LBS、C4F8、半導体プロセスガス、適用対象: エレクトロニクス、半導体プロセス、ドーパント、エッチング剤、反応剤、製造、リアクター、シリコン前駆体、ガス、パージ、純粋、標準、冷媒 - HA C3183。

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