エアガス電子材料企業株式会社 日本

これが主導してきた エージェム 半導体製造プロセス中にメタンを利用するまったく新しい、斬新な方法を繰り返すこと。これらの進歩には、技術の奥深さが必要です。この記事では、メタンの使用を増やすことで、より低コストで高品質のより高速な半導体を製造し、すべての電子システムの基盤として機能する方法を説明します。では、これまでの 2 つのレッスンから何を学んだのでしょうか。これらのやや複雑な概念のいくつかを理解することで、技術革新がなぜ重要で、それが私たちの日常の運転にどのように影響するかを理解できます。 

半導体をより良くする

AGEMは半導体ウェハの表面に刻み込まれた微細なパターンを作成するために、メタンガスの連続流を必要とし、 反応体 過剰または余剰です。メタンと酸素の間で起こる特殊な化学反応です。ただし、この反応によりプラズマ ガスが形成され、ウェーハの表面にある一部の物質の除去に役立ちます。当社が開発するレベルは粒状設計になっており、AGEM はこのプロセスを慎重に制御することしかできません。 

半導体の製造は非常に複雑なプロセスです。そのため、ガスの流れ、チャンバーの圧力、温度など、リアルタイムで非常に厳密に制御する必要がある他の多くの要素があります。この変換にメタンを使用する半導体メーカーは、廃棄物を減らし、より経済的に運営できます。これにより、企業は半導体を迅速に生産することができ、コスト削減はすべての企業にとって競争力を維持するために非常に重要です。 

ドライエッチング：別の角度からのメタン

たとえば、AGEM は、ドライエッチングの伝導性を向上させるために、アルゴンやヘリウムなどの他のガスにメタンを混ぜることができます。この混合により、メタンをそのまま使用する場合に比べて生成される廃棄物が減ります。AGEM はさらに一歩進んで、プロセスに使用できるガス混合の組み合わせを検討できます。 

AGEM がそれを実現する方法の 1 つは、特殊なリモート プラズマ ソースを使用することです。これは、プラズマを生成するために以前使用されていた方法ですが、実際にはプロセス チャンバーの外でプラズマを生成し、それをプロセス チャンバーの中心に運ぶ必要があります。たとえば、この場合、繊細なウェーハはエッチング プロセスによる損傷から保護されます。その結果、完成品の性能が向上し、半導体メーカーは最終的な性能をより確実に保証できるようになります。 

半導体部門の革命によりメタンが減少

AGEM は、半導体製造におけるメタンの利用をスマート化することで先頭に立っています。同社は、斬新な戦略を導入して、製造プロセス全体を加速し、合理化するためにインテリジェントに取り組んでいます。その結果、半導体の価格が下がり、最終的にはさらに優れた製品が生まれます。 

同じメタンカラムは天然ガスの副産物である可能性もあるという利点もあります。これはまた別の勝利です！メタンと 水素言い換えれば、メタンは他のエッチングガスよりも入手コストが低いのです。そのため、高品質でありながら安価な半導体を製造したいと考えているメーカーにとって、メタンは大変魅力的な選択肢になりつつあります。 

メタンの使用、半導体、プロセス改善の最も現代的な提唱者

メタンをよりスマートに活用するその他の方法 AGEM は、新しい手順を継続的に検討しています。ガスの流れ、圧力、温度などの側面を変更することで、一部の手順をさらに適応させ、無駄を防ぎながら効率を高めることができます。時間の経過とともに改善され、メーカーは製造能力を向上してコストを削減できます (つまり、すべての人にとって価格が下がります)。 

これは、かなりクリーンなシリコン ウェーハによってこれらの手順を改善するのに役立つもう 1 つの重要な利点でもあります。ウェーハが製造された後、製造プロセスが適切に制御されていない場合、ウェーハの一部が汚染され、傷が付きます。これにより、一部の製品価格が低下し、製造業者の価格が上昇します。高品質のウェーハは半導体製造の成功に不可欠であるため、AGEM はプロセスを強化しています。 

メタン利用における最新の進歩

AGEMまたはAssociated Gas Electrical Methane Groupは、調製されたメタンガスと 炭化水素 より効率的に使用できます。彼らは新しいプラズマ源に関する何かに取り組んでいます。より高速なプラズマ源は、より多くの半導体要素をより安価に製造できることを意味しますが、それでも企業はより安価に半導体を市場に投入することができます。 

AGEM は、メタン耐性の新しいエッチングガスも開発しています。これらのガスはドライエッチングの効率を向上させる上で重要な役割を果たし、それによって全体的なパフォーマンスが向上します。AGEM は、さまざまなガスをブレンドして最適なものを決定することで、半導体分野での今後のプレーヤーの可能性を広げることができると期待しています。