Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd.

これにより  エージェム 半導体製造プロセス中にメタンを活用するための全く新しい、創造的な方法が追求されました。これらの進歩には、技術が深く関与しており、本記事ではメタン使用の向上がどのようにしてより速い半導体を低コストで／高品質に作ることができ、それがすべての電子システムの基盤となるかを説明しています。では、過去の2つの教訓からここまでの学びとは？少し複雑な概念を理解することで、技術革新がなぜ重要であり、どのように私たちの日常生活に影響を与えるのかがわかるでしょう。

半導体をより良くする

半導体ウェハーの表面に微小なパターンを印刷するために、AGEMは継続的なメタンガスの供給が必要です 反応物 それは過剰または余剰である。メタンと酸素の間で起こる特別な化学反応である。しかし、この反応はプラズマガスを形成し、それがウエハーの表面にあるいくつかの物質を取り除くのに役立つ。私たちが開発した技術は顆粒状の設計を持ち、AGEMはこのプロセスを慎重に制御することができる。

半導体を製造することは非常に複雑なプロセスである。したがって、ガス流量、チャンバ内の圧力や温度とともに、リアルタイムで非常に厳密に管理すべき他の多くの要素がある。メタンを使用してこの変換を行う半導体メーカーは、より少ない廃棄物で経済的に操業できる。これにより、企業は迅速に半導体を生産でき、コスト削減はすべての企業にとって競争力を維持するために非常に重要である。

ドライエッチング：別の視点からのメタン

例えば、AGEMはメタンをアルゴンやヘリウムなどの別のガスと混ぜることで、ドライエッチングの伝導性を向上させることができます。この混合ガスは、純粋なメタンを使用する場合に比べて、生成される廃棄物を減らすことができます。さらに、AGEMはプロセスに使用可能なガスの組み合わせを検討することもできます。

AGEMがそれを実現する方法の一つは、特別なリモートプラズマソースを使うことです。これは以前使われていたプラズマ生成法とは異なり、実際にプロセスチャンバーの外でプラズマを生成し、その後その中心部に運びます。例えば、この場合、繊細なウェハーがエッチングプロセス中に損傷することを防ぐことができます。最終的に、それはより高性能な完成品となり、半導体メーカーが最終性能に対してより確かな信頼を得られるようになります。

半導体業界を革命化する メタンの削減

AGEMは、メタンの賢い使用により半導体の製造において先頭に立っています。彼らは革新的な戦略を導入することで、全製造プロセスを加速し、効率化しようとしています。その結果、半導体が安くなり、最終的にはより良い製品となるのです。

同じメタンは、天然ガスの副産物であるという点でもメリットがあります――さらなる勝利です！メタンと  水素 つまり、他の代替エッチングガスよりも手に入れるコストが低いということです。したがって、優れた半導体を作りながらも安価に抑えたいメーカーにとって、メタンは非常に魅力的な選択肢になりつつあります。

現代におけるメタン使用の最有力推進者、半導体、プロセス改善

メタンをより賢く利用するためのその他の方法について、AGEMは常に新しい手順を検討しています。ガス流量、圧力、温度などの要素を変更することで、いくつかのプロセスをさらに適応させ、廃棄物を防ぎながら効率を向上させることができます。これは時間とともに改善され、メーカーが製造能力を増やし、コストを削減（つまり皆にとって価格が下がる）ことを可能にします。

これもまた、これらの手順を改良し、比較的クリーンなシリコンウェハーを生産する上で重要な利点です。ウェハーが製造された後、製造プロセスが十分に制御されていない場合、ウェハーの一部が汚染されたり傷つけられたりすることがあります。これにより、製品価格が低下し、少数のメーカーのコストが上昇します。AGEMは、高品質なウェハーが成功した半導体製造に不可欠であるため、プロセスを強化しています。

メタン利用に関する最新の進展

AGEMまたはAssociated Gas Electrical Methane Groupは、常に準備されたメタンガスの使用方法を模索していますそして ヒドロカーボン それをより効率的に活用する方法を考え出そうとしています。彼らは、新しいプラズマ源に関する研究も行っています。より速いプラズマ源が実現すれば、より多くの半導体材料を安価に製造できる可能性がありますが、それでも企業が市場に半導体を安価に提供できるでしょう。

また、AGEMはメタンに耐性のある新しいエッチングガスの開発にも取り組んでいます。これらのガスはドライエッチングの効率を大幅に向上させる役割を果たし、全体的な性能を高めます。さまざまなガスをブレンドして最適なものを特定することにより、AGEMは今後、半導体分野でのプレイヤーの能力を拡大できると期待しています。