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Il Tetrafluoruro di Silicio è un gas incolore, corrosivo, non infiammabile e tossico. Ha un odore molto pungente simile a quello dell'acido cloridrico ed è fatale se inalato. Il composto chimico ha una base di silicio con quattro bracci di fluoruro.
Nel mondo naturale, SiF4 è il principale gas in alcune colonne vulcaniche. Il tetrafluoruro di silicio può essere prodotto anche riducendo i cloruri di silicio, mediante elettrolisi della silica fusa o riscaldando il barium hexafluorosilicate sopra i 300° C. Inoltre, il tetrafluoruro di silicio è un subprodotto della produzione di fertilizzanti.