I semiconduttori sono ovunque, dagli smartphone e computer personali a qualsiasi altro tipo di gadget elettronico. Devono essere realizzati tramite un processo specifico e utilizzare una moltitudine di gas. Di seguito sono riportati i numerosi tipi di gas utilizzati solo in ambito industriale e il modo in cui queste sostanze ad alta tecnologia sono destinate a creare le cose su cui facciamo effettivamente affidamento. I numerosi tipi diversi di gas utilizzati nel mondo della produzione di semiconduttori I semiconduttori vengono formati utilizzando una serie complessa di processi come incisione, deposizione e pulizia. Le varie proprietà e applicazioni di questi gas variano a seconda degli usi specifici o delle condizioni atmosferiche, che si tratti di fornitori di gas industriali, famosi fornitori di gas per semiconduttori speciali o in laboratorio, fornendo un ampio spettro adatto a tutti con le caratteristiche critiche necessarie per svolgere il compito in modo soddisfacente intenzionale. Per oggi, per questo motivo, stiamo introducendo alcuni dei principali gas in atto per i processi di fabbricazione dei materiali. Silano SiH4: questo gas è incolore e anche rappresentato come un significativo materiale elettronico a base di silicio. È noto per essere molto dinamico e reagisce rapidamente con ossigeno e acqua per creare ossido di silicio SiO e gas idrogeno. Il silano può essere utilizzato per posizionare il materiale a base di silicio, come SiNx, rapidamente o a una temperatura relativamente bassa. Elemento azoto N2: questo gas è inerte e previene l'ossidazione. Viene prodotto ininterrottamente ed è necessario per spurgare il dispositivo nel processo di manutenzione per rimuovere l'ondata di O2 e umidità. Tale gas verrà utilizzato per facilitare e trasportare anche le attività di altri gas, funzionando come gas di trasporto nella deposizione di vapore di nicromo e nella deposizione di vapore di nicromo potenziata al plasma.
Idrogeno (H2) - L'idrogeno è impiegato come gas riducente rimuovendo le impurità dai materiali. Nella produzione di semiconduttori, sta per essere importato in diversi processi come la ricottura e la pulizia. Inoltre, l'idrogeno crea gate metallici che la produzione di dispositivi cmos avanzati.
Ossigeno stabile (O2/O): immettere i tempi di consegna di specifiche e fogli, ecc. O Gas Sebbene l'ossigeno venga utilizzato in molti processi al plasma, come l'incisione e la decapaggio/cenere o ]]>, funge anche da reagente per l'ossidazione di materiali a base di silicio in SiOx o per la passivazione di superfici metalliche tramite ossidazione.
Cloro (Cl2): il cloro è un non metallo giallo o rosso fumante, dall'odore pungente, allo stato liquido. Questo gas, che è molto reattivo con materiali a base di silicio, biossido di silicio e molti metalli come l'alluminio, ha visto numerose applicazioni nell'incisione di strutture semiconduttrici.
Il fatto che i gas siano utilizzati nella produzione di semiconduttori ha portato alla creazione di elettronica ad alta fedeltà, come prodotto da maggiori capacità di produzione di semiconduttori. I gas hanno anche diversi usi e vantaggi significativi nell'industria dei semiconduttori.
Gas come il silano, l'ammoniaca e l'azoto vengono utilizzati per depositare ossido o nitruro di silicio che saranno i film sottili dei semiconduttori. Deposizione.
Incisione: viene utilizzata per rimuovere selettivamente materiali o modelli indesiderati dai semiconduttori utilizzando gas come cloro, fluoro e ossigeno.
Gas di processo: idrogeno e azoto sono necessari per il funzionamento delle apparecchiature di pulizia dei semiconduttori (purificazione) al fine di ridurre le impurità che potrebbero influire sulle prestazioni del dispositivo.
Spurgo: uno dei suoi principali utilizzi è quando agisce come gas di spurgo durante i lavori di manutenzione sulle apparecchiature, in modo da rimuovere ossigeno e umidità dal sistema, mantenendo così liberi i materiali in linea.
Di conseguenza, la ricerca di materiali e processi sempre più sofisticati non vede fine con il progredire dell'industria dei semiconduttori. I gas migliorati sono essenziali per i prossimi progressi dei semiconduttori. Ecco solo alcuni di questi gas ad alta tecnologia nella produzione di semiconduttori:
Fluorocarburi: il motivo per cui i gas fluorurati sono indicati per la fabbricazione di progetti di circuiti all'avanguardia è perché reagiscono in modo aggressivo e selettivo sia all'incisione (rimozione di pezzi) sia alla deposizione (aggiunta di parti).
CO2 - Gas inerte utilizzato per applicazioni quali sputtering, CVD e pulizia.
Sebbene dovrebbe essere visto come un passo avanti nella produzione di semiconduttori, dovuto puramente ai nuovi sistemi di distribuzione possibili oggi. I produttori sono sempre alla ricerca di modi per migliorare l'efficienza, ridurre gli sprechi e aumentare la sicurezza. Alcuni dei più recenti gas avanzati e sistemi di distribuzione chimica disponibili ora sono elencati appena sotto.
Sistema di erogazione del gas (per gas che controllano accuratamente piccole quantità di gas/sostanze chimiche liquide necessarie nei semiconduttori)
Fonte: Advanced Wet Wafer Cleaning Systems: plasma di ozono e perossido di idrogeno sono i metodi più efficaci per pulire le impurità dai materiali semiconduttori.
I gas semiconduttori possono stimolare la domanda di elettronica più efficace, ma pongono anche pericolose minacce ambientali. Ci sono alcuni programmi in atto per ridurre gli sprechi e riciclare il gas, tra le altre cose, all'interno dell'industria dei semiconduttori. Questo non è diverso da come i produttori stanno lavorando per placare le preoccupazioni ambientali legate ai gas semiconduttori;
Il primo e più diretto è la riduzione dei rifiuti -> I produttori sono sempre alla ricerca di soluzioni per ridurre la quantità di rifiuti prodotti durante la produzione di semiconduttori. Cose come la riduzione delle quantità di sostanze chimiche e gas utilizzati, il loro riciclaggio ove possibile o la creazione di sistemi a circuito chiuso.
Riciclare ' Il riciclo di gas e sostanze chimiche sarà un altro metodo cruciale che aiuta a ridurre i risultati ambientali. La generazione di rifiuti può essere molto più facilmente ridotta dai produttori che consentono il recupero, la depurazione e il riciclo di gas o sostanze chimiche utilizzati durante la produzione.
Riepilogo: I gas sono essenziali per la produzione di alcuni dei migliori dispositivi elettronici in circolazione. I produttori sono impegnati a migliorare sia i gas avanzati sia le soluzioni di distribuzione che favoriscono processi ottimali, riduzione degli sprechi e sicurezza della comunità. Anche il settore dei semiconduttori procederà a fatica lungo il percorso del consumo di gas e l'impatto ambientale complessivo di questi gas ha lanciato numerose campagne di sostenibilità negli ultimi anni.
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