EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
TIDAK
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
- Ringkasan
- Enquiry
- Program Terkait
Informasi produk:
Karbon tetrafluoridaadalah zat pendingin kriogenik yang relatif lembam dalam kondisi normal, pengganti oksigen, dan juga digunakan dalam berbagai proses etsa wafer.
CF4 saat ini merupakan gas etsa plasma yang paling banyak digunakan di industri mikroelektronika. Hal ini dapat digunakan secara luas dalam etsa bahan film tipis seperti silikon, silikon dioksida, silikon nitrida, kaca fosfosilikat dan tungsten, dan dalam pembersihan permukaan perangkat elektronik dan sel surya. Ini juga banyak digunakan dalam produksi teknologi laser, isolasi fase gas, pendinginan suhu rendah, agen pendeteksi kebocoran, pengendalian sikap roket luar angkasa, dan agen dekontaminasi dalam produksi sirkuit cetak.
Karena stabilitas kimia karbon tetrafluorida, karbon tetrafluorida dapat digunakan dalam industri peleburan logam dan plastik
