Cur i bhfeidhm réamhtheachtaithe leathsheoltóra a thuiscint in alt amháin
Mar phríomh-amhábhar an phróisis sil-scannán tanaí, cuimsíonn réamhtheachtaithe leathsheoltóra próisis epitaxy, sil-leagan ceimiceach gaile (Ábhar Gaile Ceimiceach, Taiscí, dá ngairtear CVD) agus sil-leagan ciseal adamhach (Taisce Ciseal Adamhach, dá ngairtear ALD) chun próisis éagsúla a fhoirmiú. ábhair scannáin tanaí atá ag teastáil le haghaidh déantúsaíochta leathsheoltóra. , a úsáidtear i réimsí éagsúla déantúsaíochta leathsheoltóra.