Tá beartach bán i ngach ní, ó do smaitfhóin agus do ríomhaireacha pearsanta go aon scagaire leictreonach eile. Caithfidh siad bheith á dhéanamh trí phróiseas speisialta agus úsáidtear imleabhar éagsúla acu. Tugann an chéadchuspóir seo cuimhneachán ar na céadta difriúla de na n-imleabhar atá ag úsáid amháin oideachas tuaithe agus conas is féidir le haon ghníomhárda teicniúil a bhaint as na n-úsáidimid ar fad. Tá na beartach bán ag cruthúthaíocht le cúrsaí coimpléascach mar sin ag úsáid séirbhísí gasa idirnáisiúnta agus gasa speisialta faoi láthair. Tá na gasanna seo ag obair mar ghasa ceangalacha sa chruthú den mhéid a thugann sárphlé ar fad don obair a dhéanamh go soiléiriúil. Mar shampla, Silane SiH4: Is gas glas é seo agus tá sé mar chuid mór d'fheidhmíocht leictreonach sílicéach. Tá sé gníomhach go mór agus reachtarfaidh sé go tapaidh le hóige agus uisce chun síliceach oxaid SiO agus gas hiordún a chruthú. Is féidir le Silane úsáidtear chun an-mhéid síliceach a chur isteach mar SiNx, nó go tapaidh nó ag téamh íseal. Nitrogen N2: Is gas neamhshocraithe é seo agus caithfidh sé é a chosaint ó bhaint leis an n-oxián. Tá sé ag dul i gcás go cinnte agus bíonn sé ag úsáidtear chun an méid O2 agus uisce a bhaint amach ón gcumasúlacht. Úsáidtear an gas seo freisin chun gasa eile a chur i bhfeidhm agus chun gas ceangailte a chur i bhfeidhm sa chruthú vapor nichrome agus plasma leathnaithe.
Díhidrín (H2) - Úsáidtear díhidrín mar ghas réadúil trí neamhspleáchta a bhaint as mhatéirí. Sa phróiseáil seimicondicteoirí, is é seo céim tábhachtach i gcás próiseanna leithéid chur go dtuairim agus glanadh. Ar n-ais sin, déanann díhidrín ghiatár meallta a chuirtear i bhfeidhm don chruthú eangach cmos fógraí.
Bóthar Staidiúil (O2/O) - cuir ar an bpheann agus na ceadaithe speisialta, etc. Ghas O. Tá óxígen in úsáid i rudaí móra de phróiseáil plasmach mar thógáil agus strip/ash o ]]>, ach freisin mar thoradh ar siamsa óxíneachta ar mhatéil sílicibhaseacha chuig SiOx nó chun scileanna meallta a phássáil trí óxíneacht.
Clórine (Cl2): Is gas buí nó dearg atá ag smeacht, gan bheal, agus a mbeideal éagsúil mar linn. Tá an gas seo, a bhfuil sé go háirithe réadúil le mhatéil sílicibhaseacha, síliceach dhó, agus méideanna móra mar allaimin, faighte i gcás iarrachtaí ionannach idir struchtúir seimicondicteoirí.
Is é an fáct go bhfuil gásanna ag úsáidtear sa phróiseáid uirbeachán a chuir ar bun eiletróiní ard-fhiabhrach, mar a chruthaíodh de bharr méadú sa phléasú phróiseáid uirbeachán. Tá úsáidí agus brabhsálaíochtaí níos mó leis na gásanna freisin sa réimse na n-uirbeachán.
Gásanna cosúil le Silane, neamhghaisceach agus niotrogen ag úsáidtear chun siocraíl óxide nó nitride a chur isteach a bheidh na fileáin glana de na n-uirbeachán. Cur isteach.
Sclábhadh: Úsáidtear é chun mullachacha no patrúnna neamhriachtanacha a bhaint as uirbeacháin ag baint úsáide as gásanna cosúil le clóirín, fluorine agus ocsain.
Gásanna próiseála: Tioghtar hidreagán agus niotrogen chun oibrigh le hiompair uirlisí curtha in iúl (glacadh) chun meadhonaithe a ligeann faoi láthair scileanna a laghdú.
Glacadh: Is é ceann de na hábhair is measa é nuair a thagann sé chun gníomhú mar ghas glacadh nuair a dhéantar obair chuí ar na hiomlaithe, seo chun ocsain agus uisce bhuí a bhaint as an chóras agus mar sin cabhrú le gabháil faoi láthair.
Mar phraitheas, ní fheictear deireadh ar an gcásadh chun mhatéadálacha agus próiseáil níos láidre a fháil mar a leanann tionscail na heachtronnaí. Is gá do ghásanna níos fearr chun forbairt mhór na n-eachtronnach a chur i bhfeidhm. Sé sin é cúpla díobh seo den ghas atá in úsáid sa tsaincheisteoireacht eachtronnaí:
Carbónna Fhlúirithe: Tá sé tar éis go bhfuil na ghasa flúirithe seo maith don chruthú de shaincheapacha rudaí le gur féidir leo imeartha a dhéanamh go tiomnaithe agus go roghnaithe ar nós etach (bogadh) agus comhdháil (cuirfidh).
CO2 - Ghas neamhshuimiúil a úsáid don scileán mar shampla sputtering, CVD agus glanadh.
Cionn go bhfuil sé mar thógáil nua sa chisteoireacht na n-eachtronnach, mar gheall ar na scolb nua atá ar fáil inniu. Tá na hairgeadaí ag lorg modhanna nua chun tuiscint a fheabhsú, tuilleamh a laghdú agus slándáil a fheabhsú. Tá liosta faoi deara faoina n-úsáidtear gasanna is déanaí agus na scolb chímiceacha.
Córas pléarála (le haghaidh pléaráil a gcuirfidh faoi bhun bealaí beaga de ghás nó eolaíochtaí líofa uisce is gá i gcúrsaí seimiconductors)
Foinse: Córais Fothraithe Wet Wafer Ozoone plasma agus peroxaid hidrógain don chéadchaint is fearr le glacadh le neamhbhród ón ghné meonachomhaid.
Is féidir le gáisí semiconductor cuma a chur ar theicneolaíocht níos éifeachtach, ach tá buailteanna comhshaoil denartha acu freisin. Tá roinnt cláracha ann cheana féin chun obair bainte amach agus gáisí a athúsáid i dtosach i measc na n-údáireanna semiconductor. Níl sé éagsúil as sin an méid atá ag na n-údáirí ag obair chun spriocanna comhshaoil a chur in ionad gáisí semiconductor;
An chéad agus is gearr, is í Athruithe Tuilleadh -> Tá na hathróirí i gcónaí ag lorg an méid tuillithe a chruthaíonn tar éis dífhostú san áit seo a thabhairt suas. Cosúil le cúpla rud mar so, ag breathnú ar na meudaithe a úsáidtear, gáisí a chóiriú nuair a bhaineann sé leis sin nó córas loipe ceangailte a chruthú.
Athchíor thuas: Athchíoradh gás agus pictiúir beidh i gcónaí modh eile tábhachtach a chuidíonn le heagrán ár n-áite. Is féidir léiriú na ndéileálacha a bheith faoi láthair go mór níos éasca ag athruitheoirí a chuireann ar fáil an t-athbheochan, an scrobhadh agus an chóipitheoireacht de na gásanna nó de na pictiúir a úsáidear le linn an tsaincheaptha.
Tabhairgean: Tá na gásanna tábhachtach don tsaincheaptha de shocruithe is fearr atá ann. Tá na háthruitheoirí cinnte le cúram a thabhairt do na gásanna nua-aimseartha agus do na hiompairí a thugann béim ar phróiseas is fearr, laghdú ar na déileálacha agus cosaint an phobail. Beidh an seictheolaíocht inmheánach ag siúl ar chonair íosaithe gás mar sin freisin - agus tá campaneanna neamhspleáchta móra curtha i bhfeidhm i gceann trí bliain d'fhorbairt.
Aithin AGEM go gcaithfidh gach custaiméir rud difriúla i réims na ngás speisialta, mar shampla gas calibráid. Tugaim slnuithe saincheaptha chun niomháin na gcustaiméirí a phlé. Má thabharfaidh tú faoi deara comhluas suimiúil, méid spéisiúil nó roghanna pacáiste, féadfaidh AGEM oibriú leat chun a n-athrú a ngnó sna spriocanna tábhachtacha duit. Ceadóidh an leibhéal seo d'fheabhsú go mbeidh an fearr cheann gas calibráid agat do na feabhsuithe, a chuirfidh barr ar fheidhmíocht agus ar bhfeabhaint iomlán. Ní thuigtheach le linn beartas AGEM gas calibráid amháin. Bainfidh do chátalóg AGEM Gasacha Hidreacain, Halocarbní, Gasacha Ríthaeangealaigh agus Gasacha Snamh. Is cinnte go bhfuil gas ábharaithe ag AGEM agat.
Taca leas i gásáin a úsáidtear i lánúrú seimiceach, éagsúil. Scrúdaimid leas ar a laghad cúig uair chun ceartú ar an gceadúnas. Tugann ár gcóras féinn líne freastal agus scrúdú iomlán agus an chur i bhfeidhm de chontroleacht ceanmhara straitéiseach agus scéim seirbhísí tar éis díol, chun cinntiú go mbeidh na custaiméirí ag foghlam pródachta is fearr agus réimse iomlán de sheirbhísí. Is rud atá againn brón ar eaglaíonn muid a thabhairt faoi láthair don chustaiméireacht agus ceanmhara is airde é sin atá againn fúm. Tá ár ngrúpa snaofa ina gcónaí ar fad chun cabhrú libh agus cinntiú go mbeidh tú ag foghlam an seirbhís is fearr go dtí do shuim is mó. Is é ár n-seirbhís 24X7 atá againn as toghadh. Táimid anseo chun cead a thabhairt duit gach lá, gach am.
Tá faich idirnáisiúnta leathan ag AGEM chun sceideal uafásacha a chaitheamh isteach i ngníomhaíochtaí téamach. Is féidir leo carbon díoxaid, niotrogen agus niotrous a choinneáil freisin. Úsáidimid ghearrthorlaí agus feidhmchláranna éagsúla atá ceangailte go héifeachtach as cúlraí eile chun tuarascál is fearr a fheabhsú. Tabhair faoi deara na hábhar gas a thabhairt ar ais agus cuir béim ar an úsáid chéanna den ghás ina réitigh túiscint san áireamh. Soláthraíonn mion-ghiorrthorlaí dhá-fheidhme bunúsach cinnteas don oibriú saor. Tugaimid faich idirnáisiúnta leathan chun líonta atá uafásacha a chaitheamh isteach i gcásanna beaga a bheadh ag teastáil i gcáschaint laethúil. Iomlán: 80L/100L/175L/195L/210L/232L/410L/500L/1000L Pléas Oibre: 1.37MPa/2.3MPa/2.88MPa/3.45MPa Teocht Dearmadán Inniu: +196 Teocht Dearmadán Cloiche: 20oC+50oC Cosc: Fadhbhac Vácuam le Líon Mór Sheanchuraithe Meán: LO2, LN2, LArLCO2, LNG
Tá AGEM ag obair in Taiwan le breis is 25 bliain. Tá spéiriú sna ranna seo againn faoi mhéid R agus D agus is féidir linn spéisiúlacht uinéireach a chur ar fáil i réimsí Gás Speisialta, Mórscála, agus Calibráid trí 6 réigiún éagsúla. Taiwan - Cathair Chaoxiong (Príomhshuíomh, Ionad R agus D) India - Mumbai, Vadodara, Coimbatore, Pune, Bengaluru, Delhi China - Wuhan An Aistear Mheánach - Dubai (EAU) & Ríocht na Sáuda Arabacha an Bhreatain Bheag - Cambridge Freastalaithe do ghnó atá againn ar fud na n-éileamh gas a bhaineann le Consalaidheacht Teicnioc. Luchtú agus Comhlachadh. Tástáil Sampl. Pacád agus Seoladh. Dízelchaint Dréachta. Iontráil.