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Correction visuelle au laser VISX Alcon Zeiss Nidex ArF Gaz Argon F2 Hélium Néon Gaz Laser Excimer
| Gaz excimère pour modèles partiels | |||
| Marque | Longueur d'onde | Cylindre | Vanne |
| Coherent | 193nm | 20 L | DIN 8 |
| B & L | 193nm | 20 L/50 L | DIN 8/ DIN 14 |
| Zeiss | 193nm | 10L/20 L | DIN 8 |
| VISX | 193nm | 16 L | CGA 679 |
| NIDEK | 193nm | 16 L | CGA 679 |
- Aperçu
- Demande d'information
- Produits connexes
Les mélanges de gaz laser excimer sont une combinaison de gaz rares (argon, krypton, xénon ou néon) et de gaz halogénés (fluor ou chlore). Le mélange de gaz détermine la longueur d'onde de la lumière DUV produite. Argon+fluor+néon (193nm) et Krypton+fluor+néon (248nm) sont les deux mélanges les plus couramment utilisés. En termes de volume ; le néon représente environ 96–97,5 % du mélange.
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Catégorie
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Composant (%)
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Gaz d'équilibre
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Mélange de gaz pour laser He-Ne
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2~8.3 Ne
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He
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Mélange de gaz pour laser CO2
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0.4H2 + 13.5CO2 + 4.5Kr
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/
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0.4 H2 + 13CO2 + 7Kr + 2CO
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0.4 H2 + 8CO2 + 8Kr + 4CO
|
||||
|
0.4 H2 + 6CO2 + 8Kr + 2CO
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||||
|
0.4 H2 + 16CO2 + 16Kr + 4CO
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||||
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0,4 H2+ 8~12CO2+ 8~12Kr
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Mélange de gaz pour laser au Kr-F2
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5 Kr+ 10 F2
|
/
|
||
|
5 Kr+ 1~0,2 F2
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|
Gaz pour laser à faisceau scellé
|
18,5N2+ 3Xe+ 2,5CO
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/
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|
Laser excimer
|
25,8Ne+ 9,8Ar+ 0,004N2+ 1F2
|
AR
|
||
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25,8Ne+ 9,8Ar+ 0,004N2+ 5F2
|
He
|
|||
|
25,8Ne+ 9,8Ar+ 0,004N2+ 0,2F2
|
He
|
|||
|
25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 5HCl
|
Une
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Gaz excimère pour modèles partiels
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Marque
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Longueur d'onde
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Cylindre
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Vanne
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Coherent
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193nm
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20 L
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DIN 8
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B & L
|
193nm
|
20 L/50 L
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DIN 8/ DIN 14
|
|||
|
Zeiss
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193nm
|
10L/20 L
|
DIN 8
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VISX
|
193nm
|
16 L
|
CGA 679
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NIDEK
|
193nm
|
16 L
|
CGA 679
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LASERSIGHT
|
193nm
|
10 L
|
CGA 679
|
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Alcon
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193nm
|
16 L
|
CGA 679
|
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SCHWIND
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193nm
|
20 L
|
DIN 8/ DIN 14
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SUMMIT
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193nm
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16 L
|
CGA 679
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D'autres applications du laser ArF incluent la production de circuits intégrés semi-conducteurs. Il permet également l'analyse in situ des échantillons minéraux basée sur le processus d'ablation.
AGEM
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