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Octafluorocyclopentène de la grande pureté 99.999% pour le gaz du semi-conducteur 4N C5F8
- Aperçu
- Objet de la demande
- Produits annexes
Gaz octafluorocyclopentène C5F8
Largement utilisé dans le processus de gravure de la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, en particulier pour la taille et la gravure sélective des plus petites caractéristiques géométriques (telles que la largeur des lignes d'interconnexion, des contacts, des tranchées, etc.)
