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Gaz C5F8 Octafluorocyclopentène
Widement utilisé dans le processus d'échantillonnage de la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, en particulier pour l'échantillonnage dimensionnel et sélectif des plus petites caractéristiques géométriques (telles que la largeur des lignes d'interconnexion, des contacts, des tranchées, etc.)