Les semi-conducteurs sont présents dans tout, de vos smartphones et ordinateurs personnels à tout autre type de gadget électronique. Ils doivent être fabriqués selon un processus spécifique et utiliser une multitude de gaz. Ce qui suit présente un compte rendu des nombreux types de gaz qu'une seule industrie utilise et comment ces substances de haute technologie sont destinées à créer les choses dont nous dépendons réellement. Les nombreux types de gaz utilisés dans le monde de la fabrication des semi-conducteurs Les semi-conducteurs sont formés à l'aide d'une série complexe de processus tels que la gravure, le dépôt et le nettoyage. Les diverses propriétés et applications de ces gaz varient selon les utilisations spécifiques ou les conditions atmosphériques, que ce soit auprès des fournisseurs de gaz industriels, des fournisseurs de gaz spéciaux pour semi-conducteurs réputés ou en laboratoire, offrant un spectre étendu adapté à chacun d'entre eux avec les caractéristiques critiques nécessaires. remplir la tâche comme intentionnellement satisfaisante. Pour cette raison, nous présentons aujourd’hui quelques-uns des principaux gaz utilisés dans les processus de fabrication de matériaux. Silane SiH4 : Ce gaz est incolore et également représenté comme un matériau électronique important à base de silicium. Il est connu pour être très dynamique et réagit rapidement avec l’oxygène et l’eau pour créer de l’oxyde de silicium SiO et de l’hydrogène gazeux. Le silane peut être utilisé pour placer le matériau à base de silicium, comme le SiNx, soit rapidement, soit à une température relativement basse. Élément azote N2 : Ce gaz est inerte et empêche l’oxydation. Il est fabriqué en continu et est nécessaire pour purger l'appareil lors du processus de maintenance afin d'éliminer la poussée d'O2 et d'humidité. Un tel gaz sera également utilisé pour faciliter et transporter les activités d'autres gaz, travailler comme gaz porteur dans le dépôt de nichrome en phase vapeur et le dépôt de nichrome en phase vapeur amélioré par plasma.
Hydrogène (H2) – L’hydrogène est utilisé comme gaz réducteur en éliminant les impuretés des matériaux. Dans la fabrication de semi-conducteurs, il s'agit d'une étape importante dans plusieurs processus tels que le recuit et le nettoyage. En outre, l'hydrogène fabrique des portes métalliques qui servent à la production de dispositifs CMOS avancés.
Oxygène stable (O2/O) - saisissez les délais de livraison des feuilles et des spécifications, etc. Gaz O Bien que l'oxygène soit utilisé dans de nombreux processus plasma tels que la gravure et le décapage/cendre o ]]>, il sert également de réactif pour l'oxydation des produits à base de silicium. matériaux au SiOx ou à la passivation des surfaces métalliques par oxydation.
Chlore (Cl2) : Le chlore est un liquide fumant jaune ou rouge, non métallique et d'odeur âcre. Ce gaz, très réactif avec les matériaux à base de silicium, le dioxyde de silicium et de nombreux métaux comme l'aluminium, a connu de nombreuses applications dans la gravure de structures semi-conductrices.
Le fait que des gaz soient utilisés dans la production de semi-conducteurs a conduit à la création d’électronique haute fidélité, produite par des capacités accrues de fabrication de semi-conducteurs. Les gaz présentent également plusieurs utilisations et avantages importants dans l’industrie des semi-conducteurs.
Des gaz comme le silane, l'ammoniac et l'azote sont utilisés pour déposer de l'oxyde ou du nitrure de silicium qui constitueront les films minces des semi-conducteurs. Déposition.
Gravure : elle est utilisée pour éliminer sélectivement les matériaux ou motifs indésirables des semi-conducteurs à l’aide de gaz comme le chlore, le fluor et l’oxygène.
Gaz de traitement : l'hydrogène et l'azote sont nécessaires au fonctionnement des équipements de nettoyage des semi-conducteurs (purification) afin de réduire les impuretés susceptibles d'avoir un impact sur les performances de l'appareil.
Purge : L'une de ses principales utilisations est celle où il agit comme gaz de purge lorsque des travaux de maintenance sur l'équipement sont en cours, ceci pour éliminer l'oxygène et l'humidité du système, gardant ainsi les matériaux libres dans la conduite.
En conséquence, la quête de matériaux et de procédés toujours plus sophistiqués ne voit pas de fin à mesure que l’industrie des semi-conducteurs progresse. Les gaz améliorés sont essentiels aux progrès à venir dans les semi-conducteurs. Voici quelques-uns de ces gaz de haute technologie utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs :
Fluorocarbures : La raison pour laquelle les gaz fluorés conviennent à la fabrication de conceptions de circuits de pointe est qu'ils réagissent de manière agressive et sélective à la fois à la gravure (retirer des pièces) et au dépôt (ajouter des pièces).
CO2 - Un gaz inerte utilisé pour des applications telles que la pulvérisation cathodique, le CVD et le nettoyage.
Bien que cela doive être considéré comme un pas en avant dans la fabrication de semi-conducteurs, simplement grâce aux nouveaux systèmes de livraison possibles aujourd'hui. Les fabricants sont toujours à la recherche de moyens d'améliorer l'efficacité, de réduire les déchets et d'augmenter la sécurité. Certains des systèmes de distribution de gaz et de produits chimiques avancés les plus récents disponibles actuellement sont répertoriés juste en dessous.
Système de distribution de gaz (pour les gaz qui contrôlent avec précision de petites quantités de produits chimiques gazeux/liquides nécessaires dans les semi-conducteurs)
Source : Advanced Wet Wafer Cleaning Systems au plasma d'ozone et au peroxyde d'hydrogène pour connaître les méthodes les plus efficaces pour nettoyer les impuretés des matériaux semi-conducteurs.
Les gaz semi-conducteurs peuvent stimuler la demande d’électronique plus efficace, mais constituent également de dangereuses menaces environnementales. Certains programmes sont en place pour réduire les déchets et recycler les gaz, entre autres, au sein de l'industrie des semi-conducteurs. Ce n’est pas différent de la façon dont les fabricants s’efforcent d’apaiser les inquiétudes environnementales liées aux gaz semi-conducteurs ;
Le premier et le plus direct est la réduction des déchets -> Les fabricants sont toujours à la recherche de réduire la quantité de déchets produits lors de la fabrication des semi-conducteurs. Des choses comme réduire les quantités de produits chimiques et de gaz utilisés, les recycler lorsque cela est possible ou créer des systèmes en boucle fermée.
Recycler - Le recyclage des gaz et des produits chimiques sera une autre méthode cruciale qui contribuera à réduire les conséquences environnementales. La production de déchets peut être très facilement minimisée par les fabricants qui autorisent la récupération, l’épuration et le recyclage des gaz ou des produits chimiques utilisés pendant la production.
Résumé : Les gaz sont essentiels à la fabrication de certains des meilleurs produits électroniques du marché. Les fabricants se consacrent à améliorer à la fois les gaz avancés et les solutions de livraison qui favorisent des processus optimaux, la réduction des déchets et la sécurité de la communauté. Le secteur des semi-conducteurs s'engagera également sur la voie de la consommation de gaz, et l'empreinte environnementale globale de ces gaz a déclenché de nombreuses campagnes de développement durable ces dernières années.
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AGEM opère à Taiwan depuis plus de 25 ans. Nous disposons d'une vaste expertise en R&D dans ce domaine et pouvons offrir une expertise unique dans les domaines des gaz spéciaux, en vrac et d'étalonnage dans 6 régions différentes.Taïwan - Kaohsiung City (siège social, centre de R&D)Inde - Mumbai, Vadodara, Coimbatore, Pune, Bengaluru, DelhiChine - WuhanMoyen-Orient - Dubaï (EAU) et Royaume d'Arabie SaouditeRoyaume-Uni - CambridgeLes solutions que nous proposons pour le gaz comprennent le conseil technique. Assemblage et mise en service. Test d’échantillon. Emballage et expédition. Conception de dessin. Fabrication.
AIR GAS ELECTRONIC Materials (AGEM) est une usine de fabrication de gaz et de R&D située à Taiwan, possédant une expertise inégalée dans le domaine des gaz spécialisés, électroniques, en vrac et d'étalonnage à travers le monde dans 6 régions différentes.
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